針對共聚焦顯微鏡檢測系統(tǒng)光學(xué)成像中物鏡成像質(zhì)量不穩(wěn)定,要求定位精度高、安裝空間小等問題,設(shè)計了一個基于倒圓角直梁型柔性鉸鏈的壓電Z軸物鏡定位平臺。采用帶有應(yīng)變片傳感器的壓電陶瓷作為動力驅(qū)動,單平行四桿機構(gòu)為放大機構(gòu)對壓電陶瓷產(chǎn)生的位移進行高線性放大。通過計算出倒圓角直梁型柔性鉸鏈的剛度,推導(dǎo)出物鏡定位平臺的輸出位移以及系統(tǒng)容許設(shè)計最大剛度,利用ANSYS對物鏡定位平臺進行了靜力學(xué)、模態(tài)分析驗證。文中選用PZT壓電陶瓷規(guī)格5 mm×5 mm×36 mm,利用壓電控制器BP-303檢測陶瓷實時位移以及提供0～150 V電壓斜坡信號,物鏡定位平臺輸出端位移由傳感器測得,實際輸出位移與理論計算結(jié)果、仿真分析結(jié)果分別相差2.02%、3.8%,定位臺輸出端最大輸出位移為101.4μm,最小調(diào)節(jié)分辨率為0.33 nm,系統(tǒng)諧振頻率為618.84 Hz,滿足物鏡的快速聚焦和定位需求。 

【文章來源】：儀表技術(shù)與傳感器. 2020,(04)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 物鏡定位平臺的設(shè)計
    1.1 倒圓角直梁型柔性鉸鏈的剛度計算
    1.2 物鏡定位平臺的輸出位移計算
    1.3 物鏡定位平臺的系統(tǒng)剛度設(shè)計
2 微動平臺的靜力學(xué)/動力學(xué)仿真分析
    2.1 有限元靜力學(xué)分析
    2.2 有限元模態(tài)學(xué)分析
3 實驗測試
4 結(jié)束語


【參考文獻(xiàn)】：
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本文編號：3055947