近年來(lái)三維微納米測(cè)量技術(shù)受到了很大關(guān)注。由于超精密加工技術(shù)的迅速發(fā)展,出現(xiàn)了很多微尺寸構(gòu)件,精密光學(xué)器件等零部件,它們的加工精度要求在微米和亞微米級(jí)別,這就要求檢驗(yàn)這些零部件的三維測(cè)量設(shè)備的測(cè)量精度要在亞微米以下�；诋�(dāng)前的環(huán)境下,具有微納米級(jí)精度的微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)由此而生。在原來(lái)實(shí)驗(yàn)室三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)程序模塊的基礎(chǔ)上,本論文對(duì)程序的改進(jìn)工作如下:（1）之前的軟件運(yùn)動(dòng)控制算法沒(méi)有優(yōu)化好導(dǎo)致機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中軟件有時(shí)會(huì)出現(xiàn)報(bào)錯(cuò)現(xiàn)象,這樣對(duì)軟件穩(wěn)定性造成一定影響,這個(gè)問(wèn)題非常影響實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行。首要解決軟件的穩(wěn)定性問(wèn)題,采用常規(guī)PID控制機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng).通過(guò)合適的參數(shù),準(zhǔn)確的控制AB2驅(qū)動(dòng)器,使機(jī)臺(tái)最后達(dá)到微納米級(jí)精度的定位。（2）完成SIOS激光干涉儀位移和各軸位移的比較程序,通過(guò)直線擬合的方法消除定位誤差,提高了測(cè)量精度。同時(shí)之前機(jī)臺(tái)軟件的測(cè)量功能比較單一,只能測(cè)量Z軸方向的階高和平面度。目前添加了X、Y軸方向上的厚度和平面度程式,對(duì)軟件測(cè)量功能進(jìn)一步開(kāi)發(fā)。（3）為提高測(cè)試效率,開(kāi)發(fā)了機(jī)臺(tái)自動(dòng)化測(cè)量程序。合理規(guī)劃好測(cè)量路徑,一次實(shí)驗(yàn)可以計(jì)算出X、Y和Z軸三軸方向上的平面度、階高和厚度結(jié)果。（4）完成編... 

【文章來(lái)源】：合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：69 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

測(cè)量領(lǐng)域劃分

圖 1.2 傳統(tǒng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)與微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的比較Fig 1.2 The comparison of Conventional CMM and Nano-CMM英國(guó)國(guó)家物理實(shí)驗(yàn)室 National Physical Laboratory(NPL)[5,6]也在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)研究領(lǐng)域有著重大貢獻(xiàn)，其設(shè)計(jì)出來(lái)的特殊小型的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(Small CMM)如下圖 1.3 所示，該測(cè)量機(jī)具備傳統(tǒng)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的功能，即在進(jìn)行測(cè)量時(shí)工件臺(tái)保持不動(dòng)，通過(guò)探頭座實(shí)現(xiàn)三軸的運(yùn)動(dòng)，它的測(cè)量行程為 50 x 50 x 50 mm3，測(cè)量不確定度< 50 nm,并且該機(jī)臺(tái)的探頭方便拆卸。

1.2 傳統(tǒng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)與微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的比較.2 The comparison of Conventional CMM and Nano-CM實(shí)驗(yàn)室 National Physical Laboratory(NPL)[5,6]也貢獻(xiàn)，其設(shè)計(jì)出來(lái)的特殊小型的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(量機(jī)具備傳統(tǒng)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的功能，即在進(jìn)頭座實(shí)現(xiàn)三軸的運(yùn)動(dòng)，它的測(cè)量行程為 50 x 50 且該機(jī)臺(tái)的探頭方便拆卸。


本文編號(hào)：2962040