研究MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）器件的動(dòng)力學(xué)特性對(duì)促進(jìn)MEMS的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展有重要的意義。本課題采用實(shí)驗(yàn)物理學(xué)的方法,設(shè)計(jì)和制作了一種電容式MEMS加速度計(jì),搭建了 MEMS加速度計(jì)測(cè)試平臺(tái),分別使用電測(cè)法和光測(cè)法對(duì)該MEMS加速度計(jì)的動(dòng)力學(xué)特性進(jìn)行了測(cè)試研究。該研究成果將會(huì)對(duì)研究MEMS器件的設(shè)計(jì)、加工制作及其動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試方法起到一定的推動(dòng)作用。論文的工作從以下四個(gè)方面展開(kāi):首先設(shè)計(jì)了 "雙端四梁"結(jié)構(gòu)的電容式MEMS加速度計(jì),使用牛頓力學(xué)建立了該MEMS加速度計(jì)的模型并分析了其剛度、阻尼、固有頻率等參數(shù),并在ABaqus有限元分析軟件中進(jìn)行了相關(guān)參數(shù)的仿真驗(yàn)證。然后采用光刻、顯影、剝離、磁控濺射、干法刻蝕等微納加工技術(shù),完成加速度計(jì)微結(jié)構(gòu)加工制造;并完成了器件的測(cè)試準(zhǔn)備工作。其次搭建了 MEMS加速度計(jì)動(dòng)態(tài)特性測(cè)試平臺(tái),該平臺(tái)可以維持、調(diào)節(jié)并顯示器件所處環(huán)境的溫度和氣壓,是研究外界環(huán)境變化對(duì)MEMS加速度計(jì)動(dòng)力學(xué)特性影響的實(shí)驗(yàn)臺(tái)。最后將制作的MEMS加速度計(jì)放置于動(dòng)態(tài)特性測(cè)試平臺(tái)內(nèi),采用壓電片對(duì)加速度計(jì)進(jìn)行激振,調(diào)節(jié)器件所處環(huán)境的溫度和... 

【文章來(lái)源】：北方工業(yè)大學(xué)北京市

【文章頁(yè)數(shù)】：65 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 課題背景簡(jiǎn)介
    1.2 MEMS加速度計(jì)發(fā)展和應(yīng)用現(xiàn)狀
    1.3 國(guó)內(nèi)外MEMS動(dòng)力學(xué)特性測(cè)試的研究現(xiàn)狀
    1.4 論文的研究?jī)?nèi)容和意義
第二章 MEMS加速度計(jì)的設(shè)計(jì)及其性能參數(shù)的計(jì)算、仿真
    2.1 加速度計(jì)振動(dòng)分析
    2.2 加速度計(jì)剛度、固有頻率分析
    2.3 加速度計(jì)阻尼分析
    2.4 加速度計(jì)有限元仿真分析
    2.5 本章小結(jié)
第三章 MEMS加速度計(jì)的制作工藝研究
    3.1 MEMS加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)和版圖設(shè)計(jì)
        3.1.1 MEMS加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
        3.1.2 MEMS加速度計(jì)的版圖設(shè)計(jì)
    3.2 MEMS加速度計(jì)的工藝流程設(shè)計(jì)
    3.3 MEMS加速度計(jì)的制作工藝
        3.3.1 硅片的準(zhǔn)備
        3.3.2 上電極Cu的制作
        3.3.3 刻蝕
        3.3.4 下電極W的制作
        3.3.5 鍵合
        3.3.6 焊接引線
    3.4 本章小結(jié)
第四章 MEMS加速度計(jì)動(dòng)力學(xué)特性測(cè)試平臺(tái)的搭建
    4.1 測(cè)試平臺(tái)的搭建
        4.1.1 測(cè)試平臺(tái)的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
        4.1.2 測(cè)試平臺(tái)的搭建
    4.2 本章小結(jié)
第五章 MEMS加速度計(jì)的動(dòng)力學(xué)特性測(cè)試分析
    5.1 測(cè)試原理及方法
    5.2 電測(cè)法測(cè)試
    5.3 激光多普勒測(cè)試分析
        5.3.1 常溫常壓下加速度計(jì)的動(dòng)力學(xué)特性測(cè)試分析
        5.3.2 變氣壓下加速度計(jì)的動(dòng)力學(xué)特性測(cè)試分析
        5.3.3 變溫度下加速度計(jì)的動(dòng)力學(xué)特性測(cè)試分析
    5.4 本章小結(jié)
第六章 結(jié)論與展望
    6.1 主要結(jié)論
    6.2 研究展望
參考文獻(xiàn)
申請(qǐng)學(xué)位期間的研究成果及發(fā)表的學(xué)術(shù)論文
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[2]基于單一敏感質(zhì)量的三軸電容加速度計(jì)的設(shè)計(jì)[J]. 陳立國(guó),袁飛,陳濤,孫立寧.  振動(dòng).測(cè)試與診斷. 2015(05)
[3]孔縫雙橋結(jié)構(gòu)高性能壓阻式加速度傳感器[J]. 趙玉龍,劉巖,孫祿,蔣莊德.  機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2013(06)
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[5]利用多普勒原理測(cè)量微機(jī)電系統(tǒng)中微結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)特性[J]. 白金鵬,史鐵林,劉勝,謝勇君.  航空制造技術(shù). 2008(17)
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[7]基于AD7745的微電容加速度計(jì)測(cè)量電路設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[J]. 何維瑋,趙新,李毅堂,盧桂章.  傳感技術(shù)學(xué)報(bào). 2008(03)
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博士論文
[1]微機(jī)械電容式傳感器及其相關(guān)特性研究[D]. 董林璽.浙江大學(xué) 2004



本文編號(hào)：2914750