隨著超精密光學(xué)元器件廣泛應(yīng)用在各行各業(yè)的同時(shí),人們對(duì)光學(xué)元件表面質(zhì)量的要求越來(lái)越高�，F(xiàn)代拋光技術(shù)作為一種加工方法被廣泛應(yīng)用于超精密的制造過(guò)程中。目前拋光技術(shù)存在一些問(wèn)題,如何在提高拋光效率的同時(shí),獲得穩(wěn)定優(yōu)良的表面精度,如何精確的控制材料去除率,使拋光工具自適應(yīng)的與工件表面貼合。針對(duì)于拋光技術(shù)的局限性,本文基于負(fù)壓縮性酒架結(jié)構(gòu)探究了一種新型拋光方法,以酒架結(jié)構(gòu)為晶胞,構(gòu)建了酒架結(jié)構(gòu)負(fù)壓縮性的理論模型,設(shè)計(jì)了負(fù)壓縮性的拋光裝置,探究負(fù)壓縮性在拋光技術(shù)中的作用機(jī)理和拋光思路,深入開(kāi)展負(fù)壓縮性拋光試驗(yàn)的研究。具體研究?jī)?nèi)容及結(jié)論如下:1.基于負(fù)壓縮性的概念,提出了負(fù)壓縮性拋光的加工原理。設(shè)計(jì)了一種壓電驅(qū)動(dòng)裝置驗(yàn)證負(fù)壓縮性拋光機(jī)制的可行性。針對(duì)于壓電驅(qū)動(dòng)模塊、柔性鉸鏈導(dǎo)向單元模塊、預(yù)緊模塊等進(jìn)行了選擇設(shè)計(jì)。采用ANSYS有限元的方法對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行了仿真分析,對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行了靜力學(xué)、動(dòng)力學(xué)測(cè)試試驗(yàn),驗(yàn)證了結(jié)構(gòu)的剛度、行程、固有頻率、運(yùn)動(dòng)分辨率滿(mǎn)足裝置的設(shè)計(jì)要求。在此基礎(chǔ)上,開(kāi)展了負(fù)壓縮性壓電驅(qū)動(dòng)裝置對(duì)K9玻璃的拋光試驗(yàn)。與正常拋光機(jī)制相比,負(fù)壓縮性機(jī)制拋光后的表面輪廓算術(shù)平均偏差Sa由18... 

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【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 課題提出
        1.1.1 課題來(lái)源
        1.1.2 課題的背景及意義
    1.2 超精密拋光技術(shù)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 計(jì)算機(jī)控制表面成型技術(shù)
        1.2.2 磁流變拋光技術(shù)
        1.2.3 液體射流拋光技術(shù)
        1.2.4 離子束拋光技術(shù)
        1.2.5 氣囊拋光技術(shù)
    1.3 現(xiàn)代拋光技術(shù)亟待解決的問(wèn)題
    1.4 負(fù)壓縮性的研究現(xiàn)狀
        1.4.1 負(fù)壓縮性的概念
        1.4.2 負(fù)壓縮性的研究現(xiàn)狀
        1.4.3 負(fù)壓縮性的應(yīng)用前景
    1.5 本文的研究?jī)?nèi)容
第2章 負(fù)壓縮性拋光原理的驗(yàn)證及驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)計(jì)
    2.1 負(fù)壓縮性拋光的原理
    2.2 驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)計(jì)的要求
    2.3 壓電陶瓷的選擇
    2.4 柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)和計(jì)算
    2.5 驅(qū)動(dòng)裝置的有限元仿真分析
        2.5.1 驅(qū)動(dòng)裝置的剛度分析
        2.5.2 驅(qū)動(dòng)裝置的應(yīng)力分析
    2.6 驅(qū)動(dòng)裝置的離線性能測(cè)試
        2.6.1 測(cè)試系統(tǒng)的構(gòu)成
        2.6.2 剛度測(cè)試
        2.6.3 行程測(cè)試
        2.6.4 動(dòng)力學(xué)性能測(cè)試
    2.7 拋光試驗(yàn)驗(yàn)證
    2.8 本章小結(jié)
第3章 負(fù)壓縮性酒架結(jié)構(gòu)的建模及設(shè)計(jì)
    3.1 理想鉸接機(jī)制下酒架模型的建立
    3.2 綜合變形機(jī)制下酒架模型的建立
        3.2.1 鉸接機(jī)制
        3.2.2 拉伸機(jī)制
        3.2.3 彎曲機(jī)制
        3.2.4 綜合變形機(jī)制
    3.3 負(fù)壓縮性酒架結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)
    3.4 負(fù)壓縮性酒架結(jié)構(gòu)的仿真與測(cè)試
    3.5 本章小結(jié)
第4章 負(fù)壓縮性拋光裝置的設(shè)計(jì)及性能測(cè)試
    4.1 負(fù)壓縮性拋光裝置的設(shè)計(jì)
        4.1.1 負(fù)壓縮性拋光裝置的構(gòu)型
        4.1.2 負(fù)壓縮性拋光裝置的作用原理
    4.2 負(fù)壓縮性拋光裝置的仿真分析
    4.3 負(fù)壓縮性拋光裝置的性能測(cè)試
    4.4 本章小結(jié)
第5章 拋光試驗(yàn)與結(jié)果分析
    5.1 試驗(yàn)條件
        5.1.1 拋光機(jī)床
        5.1.2 測(cè)量系統(tǒng)
        5.1.3 工件材料的選取
        5.1.4 拋光頭及拋光劑的選取
    5.2 拋光參數(shù)對(duì)拋光質(zhì)量的影響及分析
        5.2.1 拋光工具的轉(zhuǎn)速和拋光時(shí)間
        5.2.2 拋光劑粒度的選擇
    5.3 上機(jī)試驗(yàn)結(jié)果與分析
        5.3.1 正常機(jī)制下的拋光試驗(yàn)
        5.3.2 負(fù)壓縮機(jī)制下的拋光試驗(yàn)
    5.4 本章小節(jié)
第6章 全文總結(jié)與展望
    6.1 全文總結(jié)
    6.2 展望
參考文獻(xiàn)
作者簡(jiǎn)介及碩士期間的研究成果
    1. 作者簡(jiǎn)介
    2. 學(xué)術(shù)成果
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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[3]曲面光學(xué)零件氣囊拋光工藝參數(shù)優(yōu)化及其相關(guān)技術(shù)研究[D]. 宋劍鋒.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2009
[4]磁流變液裝置研究及其在非球面研拋中的應(yīng)用[D]. 崔治.吉林大學(xué) 2009
[5]確定性磁流變拋光的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 彭小強(qiáng).國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2004

碩士論文
[1]氣囊拋光磨粒場(chǎng)形態(tài)與溫度特性研究[D]. 沈亞琦.浙江工業(yè)大學(xué) 2009
[2]機(jī)器人輔助模具氣囊拋光運(yùn)動(dòng)控制和軌跡規(guī)劃研究[D]. 張銀東.浙江工業(yè)大學(xué) 2009
[3]曲面光學(xué)零件氣囊拋光工藝實(shí)驗(yàn)研究[D]. 龔金成.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2008
[4]氣囊式拋光機(jī)床電主軸的研制[D]. 鄧偉平.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2006
[5]氣囊拋光機(jī)床數(shù)控代碼生成與檢驗(yàn)技術(shù)的研究[D]. 龔小玲.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2006



本文編號(hào)：2904406