鏡組內(nèi)各透鏡間的軸向間隙是光學(xué)系統(tǒng)裝配中的一個(gè)重要參數(shù)。為精確測(cè)量鏡組內(nèi)各透鏡間的軸向間隙,提出了一種激光共焦鏡組間隙測(cè)量方法。該方法利用共焦光強(qiáng)響應(yīng)曲線的峰值點(diǎn)對(duì)應(yīng)系統(tǒng)物鏡聚焦焦點(diǎn)這一特性,使用環(huán)形激光共焦層析定焦技術(shù)對(duì)裝配后鏡組內(nèi)各透鏡表面的頂點(diǎn)位置進(jìn)行高精度定位,并結(jié)合光學(xué)追跡方法精確計(jì)算各個(gè)透鏡表面頂點(diǎn)之間的距離,繼而得到鏡組的軸向間隙。初步的實(shí)驗(yàn)表明該方法的重復(fù)性可達(dá)到0.3μm。
【文章目錄】：
1引言
2共焦透鏡間隙測(cè)量原理
    2.1 鏡組內(nèi)球面精確定焦
    2.2 環(huán)形光闌參數(shù)選擇
    2.3 透鏡軸向間隙的計(jì)算
3實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
4結(jié)論

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 畢無(wú)忌;;共焦檢查技術(shù)[J];長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械學(xué)院學(xué)報(bào);1980年02期

2 張建寰,譚久彬;應(yīng)用共焦顯微鏡原理測(cè)量?jī)A斜工程表面[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2003年04期

3 涂龍;余錦;樊仲維;邊強(qiáng);葛文琦;劉洋;張雪;黃科;聶樹(shù)真;李晗;貊澤強(qiáng);;并行共焦顯微檢測(cè)技術(shù)及其研究進(jìn)展[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2012年08期

4 余卿;余曉芬;崔長(zhǎng)彩;葉瑞芳;范偉;;并行共焦測(cè)量中的并行光源技術(shù)綜述[J];中國(guó)光學(xué);2013年05期

5 涂龍;余錦;樊仲維;邱基斯;趙天卓;王治昊;吳權(quán);葛文琦;郭廣妍;王昊成;;基于數(shù)字微鏡的并行激光共焦顯微檢測(cè)技術(shù)研究[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2013年10期

6 李明周,王昭,趙宏;點(diǎn)掃描激光共焦測(cè)量研究[J];工具技術(shù);2003年06期

7 余卿;余曉芬;畢美華;;并行共焦顯微探測(cè)高精度表面坐標(biāo)信息獲取方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2009年11期

8 官志超;張運(yùn)波;侯文玫;;基于數(shù)字微鏡的共焦顯微系統(tǒng)的光路設(shè)計(jì)[J];光學(xué)儀器;2011年03期

9 張平，陳德，吳震，黃俊;共焦激光掃描熒光顯微鏡的掃描系統(tǒng)研究[J];應(yīng)用光學(xué);1994年06期

10 張平，陳德，吳震，黃俊;共焦激光掃描熒光顯微鏡的掃描系統(tǒng)研究[J];應(yīng)用光學(xué);1995年03期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 趙晨光;同步移相干涉共焦顯微成像技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 尹哲;差動(dòng)共焦顯微探測(cè)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

2 王睿;差動(dòng)共焦顯微成像理論及畸變校正方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

3 唐建波;基于光束掃描的共焦顯微三維測(cè)量技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

4 高曉斌;提高并行共焦探測(cè)精度的方法研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2005年

5 朱加興;對(duì)稱(chēng)離焦的共焦微位移傳感方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

6 陳剛義;用于自由曲面檢測(cè)的外差共焦顯微系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

7 高興宇;線結(jié)構(gòu)光共焦掃描顯微系統(tǒng)的研究[D];桂林電子科技大學(xué);2006年

8 杜立輝;激光共焦掃描熒光顯微內(nèi)窺鏡研究[D];浙江大學(xué);2012年

9 黃久榮;曲面基底衍射元件共焦掃描輪廓提取方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

10 王彤;橢球反射式共焦成像像差及三維傳遞函數(shù)理論研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

本文編號(hào)：2886874