基于磁懸浮技術(shù)的精密定位平臺(tái)能夠完全消除傳統(tǒng)定位平臺(tái)由于組件接觸等原因而導(dǎo)致的摩擦、磨損、噪聲等缺點(diǎn),且具有低功耗、響應(yīng)速度快、轉(zhuǎn)速高等一系列優(yōu)點(diǎn),因此對(duì)現(xiàn)在制造業(yè)尤其是微電子制造業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步起到了重要作用,同時(shí)也在高速、高精運(yùn)動(dòng)的定位平臺(tái)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。相比于國(guó)外在磁懸浮定位平臺(tái)方面研究的深入開(kāi)展與豐碩成果,我國(guó)在這方面也開(kāi)展了相關(guān)研究并涌現(xiàn)一批可喜成果,然而隨著我國(guó)在微電子制造等高尖端應(yīng)用的飛速發(fā)展,對(duì)定位平臺(tái)等精度、響應(yīng)速度要求越來(lái)越高。在此背景下,本文開(kāi)展利用MAXWELL仿真軟件,對(duì)TU型多自由度磁懸浮定位平臺(tái)的電磁特性進(jìn)行仿真研究,主要研究?jī)?nèi)容如下:1、根據(jù)電磁場(chǎng)的基本理論,分析磁懸浮定位平臺(tái)的基本工作原理,對(duì)比分析LL型形結(jié)構(gòu)磁懸浮定位平臺(tái)與TU型多自由度磁懸浮定位平臺(tái)原理結(jié)構(gòu),重點(diǎn)分析TU型多自由度磁懸浮定位平臺(tái)的磁路特性與受力特性。2、根據(jù)磁路分析結(jié)果,結(jié)合對(duì)各種磁性材料的分析,參考現(xiàn)有的資料,確定TU型多由度磁懸浮定位平臺(tái)的尺寸以及材料特性,并在MAXWELL中建立仿真模型。3、利用MAXWELL仿真軟件分析平臺(tái)靜態(tài)磁場(chǎng)分析,平臺(tái)結(jié)構(gòu)中T型動(dòng)子與U型定子相對(duì)位置發(fā)生變化時(shí),整個(gè)平臺(tái)磁場(chǎng)分布變化規(guī)律;研究T型動(dòng)子與U型定子之間的氣隙高度對(duì)整個(gè)平臺(tái)磁場(chǎng)的影響規(guī)律。4、利用MAXWEL仿真軟件分析懸浮控制線(xiàn)圈的匝以及線(xiàn)圈中電流對(duì)平臺(tái)懸浮力影響規(guī)律;分析動(dòng)子平面位置變化對(duì)懸浮力的影響。
【學(xué)位單位】：吉林大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位年份】：2017
【中圖分類(lèi)】：TH703
【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 研究背景與研究意義
    1.2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
    1.3 論文的組織結(jié)構(gòu)
第2章 磁懸浮定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)與原理
    2.1 磁懸浮定位平臺(tái)的基本結(jié)構(gòu)
    2.2 磁懸浮定位平臺(tái)工作原理
    2.3 磁路計(jì)算
    2.4 本章小結(jié)
第3章 磁懸浮平臺(tái)的電磁計(jì)算方法
    3.1 電磁計(jì)算方法概述
    3.2 MAXWELL 有限元仿真軟件
    3.3 仿真模型的建立
    3.4 本章小結(jié)
第4章 磁懸浮平臺(tái)的電磁特性仿真
    4.1 靜態(tài)磁場(chǎng)仿真
    4.2 氣隙高度對(duì)漏磁的影響
    4.3 懸浮力與線(xiàn)圈匝流關(guān)系
    4.4 本章小結(jié)
第五章 總結(jié)和展望
    5.1 論文總結(jié)
    5.2 未來(lái)展望
參考文獻(xiàn)
致謝

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