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子孔徑拼接干涉檢測非球面光學(xué)元件

發(fā)布時間:2017-04-03 18:03

  本文關(guān)鍵詞:子孔徑拼接干涉檢測非球面光學(xué)元件,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。


【摘要】: 隨著光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,非球面光學(xué)元件以其優(yōu)越的光學(xué)特性被應(yīng)用于多個領(lǐng)域,然而非球面光學(xué)元件在加工和檢測方面存在的困難一定程度上影響了其廣泛應(yīng)用。環(huán)形子孔徑拼接檢測技術(shù)是一項(xiàng)新的光學(xué)測試技術(shù),拓展了干涉儀的測試范圍,給大口徑非球面的高精度檢驗(yàn)提供了有效手段,其關(guān)鍵技術(shù)在于子孔徑的劃分、孔徑數(shù)目的計算和子孔徑擬合拼接的數(shù)據(jù)處理方法。 首先介紹了非球面光學(xué)元件和環(huán)形子孔徑拼接技術(shù),結(jié)合非球面光學(xué)元件的光學(xué)特性建立了適用的環(huán)形子孔徑拼接模型,在此基礎(chǔ)上推導(dǎo)了孔徑計算的相關(guān)公式,并通過構(gòu)造不同情況的算例分析了影響拼接精度和拼接效率的子孔徑劃分模式、孔徑邊緣數(shù)值的問題。其次對拼接算法中的串、并行拼接進(jìn)行了討論,選取了合適的拼接算法模式及拼接目標(biāo)函數(shù),構(gòu)造了拼接程序編寫的思想。接著通過對環(huán)形子孔徑拼接模型進(jìn)行仿真,驗(yàn)證了環(huán)形子孔徑拼接的可行性,詳細(xì)地分析了影響拼接精度的多種誤差因素,給出了降低誤差的解決方法,并提出了對現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)平臺進(jìn)行改造的技術(shù)要求。
【關(guān)鍵詞】:非球面光學(xué)元件 環(huán)形子孔徑拼接 拼接模型 子孔徑劃分模式 拼接精度
【學(xué)位授予單位】:南京理工大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2008
【分類號】:TH74
【目錄】:
  • 摘要3-4
  • Abstract4-7
  • 1 緒論7-10
  • 1.1 課題的研究背景7-9
  • 1.2 論文的主要研究工作9-10
  • 2 非球面光學(xué)元件10-21
  • 2.1 國內(nèi)外非球面零件的超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀10-13
  • 2.1.1 非球面零件超精密切削加工技術(shù)10-11
  • 2.1.2 非球面零件超精密磨削加工技術(shù)11-12
  • 2.1.3 非球面零件超精密拋光技術(shù)12-13
  • 2.1.4 非球面零件復(fù)制技術(shù)13
  • 2.2 非球面光學(xué)元件的分類13-14
  • 2.2.1 按非球面對稱軸數(shù)目分類13-14
  • 2.2.2 按外形尺寸分類14
  • 2.2.3 按制造精度分類14
  • 2.3 二次非球面的分析14-20
  • 2.3.1 二次非球面的數(shù)學(xué)表達(dá)式14-15
  • 2.3.2 二次曲線的光學(xué)特性15-18
  • 2.3.3 最接近比較球面18-20
  • 2.4 非球面的選擇20-21
  • 3 子孔徑拼接21-28
  • 3.1 子孔徑拼接的概述21-23
  • 3.2 子孔徑拼接的分類23-25
  • 3.2.1 圓形子孔徑23-24
  • 3.2.2 矩形子孔徑24-25
  • 3.2.3 環(huán)形子孔徑25
  • 3.3 子孔徑拼接的原理25-26
  • 3.4 子孔徑拼接的應(yīng)用26-27
  • 3.5 子孔徑的選擇27-28
  • 4 環(huán)形子孔徑拼接28-50
  • 4.1 環(huán)型子孔徑的劃分28-34
  • 4.1.1 劃分的數(shù)學(xué)模型28-33
  • 4.1.2 影響子孔徑劃分幾個的因素33-34
  • 4.2 子孔徑數(shù)目的確定34-36
  • 4.3 算例分析36-43
  • 4.4 拼接算法的研究43-48
  • 4.4.1 拼接模式43
  • 4.4.2 串行拼接43-45
  • 4.4.3 多孔徑拼接45-46
  • 4.4.4 局部均化誤差46-47
  • 4.4.5 拼接算法程序47-48
  • 4.5 實(shí)驗(yàn)平臺的技術(shù)要求48-50
  • 5 實(shí)驗(yàn)?zāi)M和誤差分析50-58
  • 5.1 實(shí)驗(yàn)?zāi)M50-55
  • 5.2 誤差分析55-58
  • 5.2.1 測量誤差55-57
  • 5.2.2 模型誤差57
  • 5.2.3 拼接誤差57-58
  • 總結(jié)58-59
  • 致謝59-60
  • 參考文獻(xiàn)60-63
  • 附錄63

【引證文獻(xiàn)】

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 駱永潔;非球面部分補(bǔ)償干涉檢測方法的誤差分析及系統(tǒng)優(yōu)化研究[D];浙江大學(xué);2011年


  本文關(guān)鍵詞:子孔徑拼接干涉檢測非球面光學(xué)元件,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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本文編號:284727

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