【摘要】：電容式微加速度計具有檢測靈敏、結(jié)構(gòu)簡單、易于集成等顯著優(yōu)點(diǎn),在各種傳感器中電容式微加速度計發(fā)展最快而且商業(yè)應(yīng)用最廣。工作溫度的變化導(dǎo)致微加速度計的零位溫漂嚴(yán)重影響加速度計的檢測精度,制約其應(yīng)用于高端精密領(lǐng)域。在施膠過程中,粘接膠的不均勻性及空洞等將不可避免的發(fā)生,工作溫度的變化導(dǎo)致微加速度計結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非對稱性的熱應(yīng)力及熱變形,從而產(chǎn)生零位輸出和零位溫漂。隨著對檢測精度要求越來越高,粘接膠的不均勻性對微加速度計零位溫漂的影響不能忽略。國內(nèi)外對粘接膠不均勻性對微加速度計零位溫漂的研究非常少,因此研究粘接膠的不均勻性對微加速度計的影響具有重要的工程意義。本文主要內(nèi)容為:1.簡化電容式微加速度計為三層結(jié)構(gòu),通過理論推導(dǎo)了中間層均勻三層結(jié)構(gòu)玻璃上表面的軸向位移變形,以及中間層不均勻三層結(jié)構(gòu)粘接層與玻璃接觸處的軸向位移和切應(yīng)力,并與有限元仿真分析進(jìn)行對比。通過仿真分析粘接膠不均勻?qū)ξ⒓铀俣扔嬃阄粶仄挠绊?零位溫漂并不是隨著粘接膠傾斜角度變化呈線性變化。另外還分析在粘接膠不均勻性下折疊梁不對稱對微加速度計零位溫漂的影響,此時折疊梁不對稱性對微加速度計零位溫漂的影響顯著。2.分析粘接膠不均勻性下粘接膠中空洞位置分布及空洞大小對微加速度計零位輸出的影響,空洞在不同位置對微加速度計零位輸出不同;當(dāng)空洞位于粘接膠左右兩側(cè)對稱分布時,左右兩側(cè)的零位輸出規(guī)律相同,但空洞位于粘接膠厚度較小一側(cè)零位輸出數(shù)值越大;空洞大小的變化對微加速度計零位輸出影響比較復(fù)雜,空洞位于支撐折疊梁的錨點(diǎn)相對應(yīng)粘接膠處對微加速度計零位輸出比較敏感。3.分析粘接膠彈性模量不同對微加速度計零位輸出的影響,考慮了粘接膠不均勻、粘接膠不均勻及折疊梁不對稱、粘接膠不均勻及空洞三種情形。粘接膠彈性模量不同使得微加速度計結(jié)構(gòu)變形不同,導(dǎo)致微加速度計零位輸出。
【學(xué)位授予單位】：電子科技大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：TH824.4

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 周銘;徐大誠;郭述文;;硅微電容式加速度計熱致封裝效應(yīng)的層合分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2015年07期

2 戴強(qiáng);蘇偉;張德;彭勃;蔣剛;;三明治型微加速度計溫度漂移封裝膠關(guān)系研究[J];太赫茲科學(xué)與電子信息學(xué)報;2015年01期

3 趙正平;;典型MEMS和可穿戴傳感技術(shù)的新發(fā)展[J];微納電子技術(shù);2015年01期

4 張霞;;微機(jī)械加速度計的研究現(xiàn)狀綜述[J];功能材料與器件學(xué)報;2013年06期

5 技術(shù)宅;;鎖住你的秘密 iPhone 5s Touch ID探秘[J];電腦愛好者;2013年21期

6 蔣明霞;王磊;唐潔影;;芯片粘接對MEMS結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的影響[J];中國機(jī)械工程;2012年18期

7 游俠飛;吳昌聚;鄭陽明;金仲和;;基于有限元法的MEMS加速度計熱應(yīng)力分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2012年02期

8 李平;石云波;郭濤;劉俊;張曉明;;MEMS高g加速度傳感器封裝熱應(yīng)力的研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2010年12期

9 劉曉為;王超;譚曉昀;董長春;;體硅電容式雙軸微加速度計的信號檢測新方法[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2008年03期

10 施芹;蘇巖;裘安萍;朱欣華;;硅微機(jī)械陀螺儀封裝應(yīng)力研究[J];電子器件;2007年06期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前3條

1 何江波;電容式微加速度計的熱穩(wěn)定性研究[D];西南交通大學(xué);2016年

2 代剛;MEMS-IMU誤差分析補(bǔ)償與實(shí)驗(yàn)研究[D];清華大學(xué);2011年

3 周吳;微加速度計的機(jī)電耦合特性及關(guān)鍵技術(shù)研究[D];西南交通大學(xué);2010年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前3條

1 賴柳山;封裝粘接層空洞對微加速度計溫漂的影響[D];電子科技大學(xué);2016年

2 游俠飛;MEMS加速度計溫度場及殘余應(yīng)力模型研究[D];浙江大學(xué);2012年

3 胡雪梅;微機(jī)械電容式加速度計的系統(tǒng)分析[D];西安電子科技大學(xué);2006年

本文編號：2719981