SiC主鏡氣壓主動(dòng)支撐中硬點(diǎn)定位機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)研究
【學(xué)位授予單位】:中國科學(xué)院大學(xué)(中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2019
【分類號(hào)】:TH743
【相似文獻(xiàn)】
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本文編號(hào):2718543
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