磁控濺射氣體凝聚團(tuán)簇源及聚焦小尺寸納米顆?諝鈩恿W(xué)透鏡研究
發(fā)布時(shí)間:2020-03-30 07:35
【摘要】:納米實(shí)驗(yàn)裝置在核物理,原子分子物理,生物物理等領(lǐng)域有重要的應(yīng)用。磁控濺射團(tuán)簇源和空氣動力學(xué)透鏡是隨著納米技術(shù)的發(fā)展而產(chǎn)生的實(shí)驗(yàn)裝置。本人是蘭州大學(xué)和德國弗萊堡大學(xué)聯(lián)合培養(yǎng)的博士研究生,在利用德國弗萊堡大學(xué)磁控濺射團(tuán)簇源進(jìn)行相關(guān)研究過程中,發(fā)現(xiàn)該裝置存在一些不足;诖,本論文進(jìn)行了相關(guān)模擬研究,核心內(nèi)容是磁控濺射團(tuán)簇源的理論研究以及空氣動力學(xué)透鏡的設(shè)計(jì)與評估。主要研究的內(nèi)容如下:1.利用計(jì)算流體動力學(xué)(CFD)方法,研究磁控濺射管中入射氣流方向?qū)F(tuán)簇軌跡的影響。結(jié)果表明布朗運(yùn)動嚴(yán)重干擾粒子在磁控濺射管的運(yùn)動,角度為90°時(shí),團(tuán)簇的通過率最大,團(tuán)簇的通過率隨著粒子尺寸的增大而增大。2.利用CFD方法模擬團(tuán)簇在冷凝腔的軌跡。粒子所受之力為氣體的阻力和布朗力。在軸對稱結(jié)構(gòu)中,氦氣被認(rèn)定為穩(wěn)定的單向流體,用此可以模擬渦流對團(tuán)簇軌跡的影響。模擬結(jié)果顯示在氦氣中,布朗運(yùn)動嚴(yán)重影響了直徑小于50 nm的粒子的通過率,渦流增加了粒子沉積到腔內(nèi)壁的概率。為此,我們完善了團(tuán)簇源的結(jié)構(gòu),增加了一個緩沖區(qū),模擬了緩沖區(qū)對團(tuán)簇源的作用,結(jié)果表明,修正后的團(tuán)簇源性能明顯提高。3.利用CFD方法模擬噴嘴形狀的作用。模擬結(jié)果顯示噴嘴的形狀對團(tuán)簇的通過率和束流寬度影響。4.設(shè)計(jì)了一套用來聚焦直徑小于10 nm的納米粒子的空氣動力學(xué)透鏡。從模擬得到的粒子軌跡圖,可以得出大部分微小粒子由于擴(kuò)散作用沉積到了腔壁上。我們也研究了布朗運(yùn)動對粒子的輸出的影響。從模擬結(jié)果可以看到布朗運(yùn)動干擾了納米粒子的軌跡,從而提高了納米粒子沉淀到腔壁的概率。我們也研究了透鏡系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)對納米粒子的影響。結(jié)果顯示透鏡系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)影響了束流寬度和納米粒子的傳輸率。
【圖文】:
?邋???逡逑圖1.1團(tuán)簇的生長機(jī)制逡逑團(tuán)簇生長的第二種機(jī)制是凝聚(圖1.比)。凝聚被定義為兩個液滴接觸而導(dǎo)逡逑致單個液滴的形成twsi。逡逑Mn_m邋+邋Mm邋一邋Mn邐。'8)逡逑n和m是團(tuán)簇中的原子數(shù)目。考慮到在緩沖氣體中單個團(tuán)簇的運(yùn)動和兩個團(tuán)簇的逡逑相對運(yùn)動,兩種凝聚機(jī)制可W由運(yùn)動和擴(kuò)散來區(qū)分。圖1.2給出了兩種機(jī)制的差逡逑異:在運(yùn)動機(jī)制中,每次只有一個粒子與團(tuán)簇進(jìn)斤強(qiáng)作用,而對于擴(kuò)散機(jī)制,許逡逑多粒子與團(tuán)簇同時(shí)強(qiáng)作用。對于在氮?dú)庵械囊旱毋~團(tuán)簇凝聚,擴(kuò)散機(jī)制的臨界值逡逑如下逡逑3逡逑
邐(1.11)逡逑t是時(shí)間。逡逑聚合機(jī)制(圖1.1c)是指基于小團(tuán)簇蒸發(fā)的大團(tuán)簇生長過程tni。這個過程發(fā)生逡逑在超飽和度可W忽略的時(shí)候tni。聚合過程主要的參數(shù)為臨界團(tuán)簇尺寸ricf,或者逡逑臨界團(tuán)簇半徑r-er。當(dāng)71<71?>時(shí),,團(tuán)簇將蒸發(fā)。當(dāng)n>ricr時(shí),團(tuán)簇依附而增長UL逡逑Ai7’w。臨界半徑被定義為逡逑rcr邋=邋^邐(112)逡逑A為飽和度,Aa是一個參數(shù),由相之間的張量cTf、溶質(zhì)原子的體積Km、飽和溶液逡逑的濃度Cw和溫度r決定逡逑a邋=昔KmCm邐(1.巧逡逑作為一種溶液,我們認(rèn)為在緩沖氣體中金屬原子是一種蒸氣,把金屬銅或者逡逑銀原子作為溶質(zhì)。在液滴模型中tw,ntf和rtf之間的關(guān)系為逡逑4逡逑
【學(xué)位授予單位】:蘭州大學(xué)
【學(xué)位級別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2017
【分類號】:TB383.1;O35;TH73
本文編號:2607253
【圖文】:
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邐(1.11)逡逑t是時(shí)間。逡逑聚合機(jī)制(圖1.1c)是指基于小團(tuán)簇蒸發(fā)的大團(tuán)簇生長過程tni。這個過程發(fā)生逡逑在超飽和度可W忽略的時(shí)候tni。聚合過程主要的參數(shù)為臨界團(tuán)簇尺寸ricf,或者逡逑臨界團(tuán)簇半徑r-er。當(dāng)71<71?>時(shí),,團(tuán)簇將蒸發(fā)。當(dāng)n>ricr時(shí),團(tuán)簇依附而增長UL逡逑Ai7’w。臨界半徑被定義為逡逑rcr邋=邋^邐(112)逡逑A為飽和度,Aa是一個參數(shù),由相之間的張量cTf、溶質(zhì)原子的體積Km、飽和溶液逡逑的濃度Cw和溫度r決定逡逑a邋=昔KmCm邐(1.巧逡逑作為一種溶液,我們認(rèn)為在緩沖氣體中金屬原子是一種蒸氣,把金屬銅或者逡逑銀原子作為溶質(zhì)。在液滴模型中tw,ntf和rtf之間的關(guān)系為逡逑4逡逑
【學(xué)位授予單位】:蘭州大學(xué)
【學(xué)位級別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2017
【分類號】:TB383.1;O35;TH73
【參考文獻(xiàn)】
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3 盧希庭,沈定予,王雪梅,趙強(qiáng),趙子強(qiáng),鄭濤,沈毅雄,夏宗璜,江棟興;MeV微集團(tuán)束與物質(zhì)的相互作用[J];原子核物理評論;1998年03期
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7 王廣厚,韓民;納米微晶材料的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)[J];物理學(xué)進(jìn)展;1990年03期
本文編號:2607253
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