【摘要】：衍射光柵機械刻劃過程是指利用金剛石刻劃刀對光柵鋁膜材料進行耕犁、熨壓作用,使其在刻劃刀具的作用下產(chǎn)生塑性變形進而形成所需要的光柵槽形。為解決衍射光柵機械刻劃過程中由于殘余應(yīng)力及回彈變形導(dǎo)致槽形質(zhì)量的問題,本文以79g/mm中階梯衍射光柵為例,首先根據(jù)新型滑移線場理論、彈塑性力學原理,建立刻劃刃鈍圓、槽面應(yīng)力以及回彈變形的數(shù)值解析模型,并通過分析刻劃過程中應(yīng)力分布特點,建立殘余應(yīng)力數(shù)值模型,得出殘余應(yīng)力大小與材料參數(shù)、刻劃參數(shù)、刀具參數(shù)以及刀具安裝參數(shù)之間的影響關(guān)系。采用Deform-3D有限元模擬仿真,分析成槽過程中槽面應(yīng)力分布以及各點位移變化情況,得出殘余應(yīng)力及回彈變形對槽面質(zhì)量的作用關(guān)系,并分析刀具參數(shù)、刻劃參數(shù)以及刀具安裝參數(shù)對殘余應(yīng)力及回彈變形的影響規(guī)律,得出殘余應(yīng)力及回彈變形是影響槽形質(zhì)量的重要因素。結(jié)合Deform-3D有限元模擬仿真結(jié)果,進行刻劃試驗研究以驗證槽面損傷與槽面殘余應(yīng)力分布之間的關(guān)系,同時利用原子力顯微鏡觀察對衍射光柵進行多道槽刻劃時槽面回彈情況,總結(jié)規(guī)律并對理論分析加以校正,為提高槽形質(zhì)量提供理論及試驗依據(jù)。
【圖文】：

刻劃刀對光柵鋁膜材料的耕犁、熨壓作用，光柵鋁膜在刻劃刀具的作用下產(chǎn)生塑性形進而形成所需要的光柵槽形。在衍射光柵刻劃過程中，大多情況下采用的刻劃刀具體結(jié)構(gòu)及參數(shù)如圖 1.1 和圖 1.2 所示。其刻劃過程是利用金剛石刻刀對光柵鋁膜材進行多線順序耕犁-擠壓（無屑）成槽的一種復(fù)合成形方式，，這種加工方式在制作大積、低密度的原刻母版衍射光柵方面具有重要的地位[8]。

刻劃刀對光柵鋁膜材料的耕犁、熨壓作用，光柵鋁膜在刻劃刀具的作用下產(chǎn)生塑性形進而形成所需要的光柵槽形。在衍射光柵刻劃過程中，大多情況下采用的刻劃刀具體結(jié)構(gòu)及參數(shù)如圖 1.1 和圖 1.2 所示。其刻劃過程是利用金剛石刻刀對光柵鋁膜材進行多線順序耕犁-擠壓（無屑）成槽的一種復(fù)合成形方式，這種加工方式在制作大積、低密度的原刻母版衍射光柵方面具有重要的地位[8]。
【學位授予單位】：長春理工大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2017
【分類號】：TH74

【參考文獻】

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本文編號：2593266