【摘要】：高功率固體激光裝置中所使用光學(xué)元件的中頻段小尺度制造誤差將嚴(yán)重影響整個光學(xué)系統(tǒng)的性能。目前,光學(xué)元件中頻誤差主要用干涉儀來測量,而評價干涉儀系統(tǒng)本身性能的基本量是系統(tǒng)的傳遞函數(shù)�，F(xiàn)有的干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)主要用標(biāo)準(zhǔn)臺階相位比較法測量,此法需要一塊高精度臺階板。首先,根據(jù)干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的測試原理,制定了臺階相位比較法測量干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的實驗方案,編寫計算程序,測試了不同型號干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù)。另外分析了實驗過程中不同截取波前大小、調(diào)焦程度和干涉腔的距離對傳遞函數(shù)測量結(jié)果的影響。其次,提出了兩種測量干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的新方法,鍍膜臺階法和條紋法,其中鍍膜臺階法基于臺階相位比較法,創(chuàng)新地提出了運用鍍膜的方法來制作高精度臺階板,此法方便快捷,能克服國內(nèi)制作臺階板技術(shù)的短缺；條紋法則通過調(diào)節(jié)條紋數(shù)量來確定頻率,利用調(diào)制度的比值來表征不同頻率對應(yīng)的傳遞函數(shù)的大小,此法不需要制備臺階板,大大降低了測試成本,尤其適用于計算大口徑干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù)。兩種新方法與傳統(tǒng)的臺階相位比較法測量傳遞函數(shù)結(jié)果相差均不超過5%,證實了新方法的可行性。最后,由于強激光系統(tǒng)中的光學(xué)元件具有體積大的特點,因此,如何測量大口徑干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù)是當(dāng)今研究的熱點。本文利用等暈區(qū)法和條紋法近似測量了600mm口徑干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù),對大口徑干涉儀傳遞函數(shù)的測量有較強的借鑒意義。
【學(xué)位授予單位】：南京理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TH744.3

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本文編號：2582895