本文關(guān)鍵詞：叉指式微加速度計(jì)的系統(tǒng)仿真分析，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】： 叉指式微加速度計(jì)是一種典型的微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)品，由于它的高靈敏度、好的直流響應(yīng)、低噪聲、低漂移、對(duì)溫度的敏感性低、低能耗、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)，使其有著廣泛的應(yīng)用前景，也是目前國(guó)內(nèi)外攻關(guān)的熱點(diǎn)之一。 微加速度計(jì)涉及到多學(xué)科領(lǐng)域的相互作用，如何用模型來(lái)較為準(zhǔn)確地反映各個(gè)領(lǐng)域間的相互作用關(guān)系以及如何實(shí)現(xiàn)機(jī)電混合系統(tǒng)的接口，是設(shè)計(jì)的關(guān)鍵，一直是比較難于解決的問(wèn)題。論文采用了一種新的建模仿真法，即原理級(jí)描述仿真法，建立了叉指式微加速度計(jì)的參數(shù)化機(jī)電混合系統(tǒng)模型，，對(duì)其進(jìn)行分析研究。 本文研究了彈性梁參數(shù)對(duì)加速度計(jì)結(jié)構(gòu)諧振頻率、靈敏度、交叉耦合誤差的影響趨勢(shì)，在此基礎(chǔ)上給出了一組優(yōu)化了的彈性梁參數(shù)；分別研究了開(kāi)環(huán)和閉環(huán)系統(tǒng)檢測(cè)方式下靜電力作用對(duì)加速度計(jì)性能的影響、吸附現(xiàn)象及彈簧的靜電軟化現(xiàn)象，在此基礎(chǔ)上給出了偏置電壓、檢測(cè)激勵(lì)信號(hào)的取值規(guī)則；研究了叉指式微加速度計(jì)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性，在此基礎(chǔ)上優(yōu)化了電路結(jié)構(gòu)及參數(shù)。論文的主要研究結(jié)論與實(shí)驗(yàn)結(jié)果一致。
【關(guān)鍵詞】：叉指式微加速度計(jì) 原理級(jí)描述仿真 微機(jī)電系統(tǒng)
【學(xué)位授予單位】：中國(guó)工程物理研究院北京研究生部
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2003
【分類(lèi)號(hào)】：TH824.4
【目錄】：

• 第一章 引言6-9
• 1.1 選題背景6
• 1.2 研究動(dòng)態(tài)6-7
• 1.3 研究的目的和意義7-8
• 1.4 研究的內(nèi)容和方法8-9
• 第二章 叉指式微加速度計(jì)的工作原理9-14
• 2.1 叉指式微加速度計(jì)原理和結(jié)構(gòu)9-11
• 2.2 叉指式微加速度計(jì)的檢測(cè)系統(tǒng)11-14
• 2.2.1 開(kāi)環(huán)檢測(cè)系統(tǒng)11-12
• 2.2.2 靜電反饋系統(tǒng)(力平衡加速度計(jì))12-14
• 第三章 叉指式微加速度計(jì)的建模14-24
• 3.1 原理級(jí)描述仿真方法和COVENTORWARE軟件14-16
• 3.2 用原理級(jí)描述仿真法建立叉指式微加速度計(jì)結(jié)構(gòu)模型16-24
• 3.2.1 微電容加速度計(jì)模型所需元件單元16-21
• 3.2.2 微電容加速度計(jì)材料參數(shù)和尺寸參數(shù)21-22
• 3.2.3 微電容加速度計(jì)結(jié)構(gòu)模型22-24
• 第四章 叉指式微加速度計(jì)結(jié)構(gòu)分析及結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化24-39
• 4.1 折疊梁參數(shù)對(duì)表頭的影響24-31
• 4.1.1 仿真分析折疊梁尺寸對(duì)加速度計(jì)模態(tài)頻率的影響25-27
• 4.1.2 確定折疊梁尺寸參數(shù)27-31
• 4.2 靜電力對(duì)加速度計(jì)的影響31-35
• 4.2.1 開(kāi)環(huán)系統(tǒng)31-33
• 4.2.2 閉環(huán)系統(tǒng)33-35
• 4.3 彈簧的靜電軟化35-36
• 4.4 阻尼系數(shù)36-37
• 4.5 小結(jié)37-39
• 第五章 叉指式微加速度計(jì)檢測(cè)電路分析39-46
• 5.1 加速度計(jì)測(cè)量方案的確定39-41
• 5.2 伺服反饋電路分析41-45
• 5.2.1 電荷放大器42-43
• 5.2.2 差動(dòng)運(yùn)算放大器43-44
• 5.2.3 同步解調(diào)器44-45
• 5.2.4 增益放大環(huán)節(jié)45
• 5.2.5 反饋環(huán)節(jié)45
• 5.3 小結(jié)45-46
• 第六章 叉指式微加速度計(jì)系統(tǒng)分析46-57
• 6.1 系統(tǒng)分析理論基礎(chǔ)46-50
• 6.1.1 時(shí)域性能指標(biāo)46-49
• 6.1.2 頻域性能指標(biāo)49
• 6.1.3 時(shí)域與頻域兩類(lèi)性能指標(biāo)的關(guān)系49-50
• 6.2 叉指式微加速度計(jì)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性分析50-55
• 6.2.1 叉指式微加速度計(jì)系統(tǒng)建模50-51
• 6.2.2 微電容加速度計(jì)的幅頻特性分析51-54
• 6.2.3 微電容加速度計(jì)的瞬態(tài)特性分析54-55
• 6.3 小結(jié)55-57
• 第七章 總結(jié)與展望57-60
• 7.1 工作總結(jié)57-58
• 7.2 工作展望58-60
• 致謝60-61
• 參考文獻(xiàn)61-63

【相似文獻(xiàn)】

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6 劉曉e

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