【摘要】：Fe-IX/X(λ=17.1nm)和He-II(λ=30.4nm)是太陽輻射的兩條重要譜線,極紫外(EUV)空間太陽望遠(yuǎn)鏡通常選擇這兩條譜線對日冕進(jìn)行觀測。為了實現(xiàn)在同一塊反射鏡對上述兩條譜線同時具有較高的反射率,設(shè)計了多層膜膜系結(jié)構(gòu)。首先根據(jù)極紫外波段選材原則選擇了Si、B4C和Mo 3種材料,構(gòu)成B4C/Si和Mo/Si疊加的兩種周期結(jié)構(gòu),優(yōu)化其周期數(shù)、膜層厚度等,計算了反射率曲線,并從理論驗證了其可行性;然后利用磁控濺射鍍膜機(jī),在Si片上鍍制了多層膜;最后用激光等離子體反射率計檢測了樣片的反射率,結(jié)果顯示,在波長17.1nm和30.4nm處的反射率分別達(dá)到19.9%和20.2%。通過選擇不同濾光片,如Mg、Al/Zr濾光片,可以獲得17.1nm或30.4nm單一譜線的反射,實現(xiàn)了設(shè)計目標(biāo)。
[Abstract]:Fe-IX/X (位 = 17.1nm) and He-II (位 = 30.4nm) are two important spectral lines of solar radiation. Extremely ultraviolet (EUV) space solar telescopes usually select these two lines to observe the corona. In order to realize the high reflectivity of the same mirror to the above two lines at the same time, a multi-layer film system structure is designed. Firstly, according to the principle of extreme ultraviolet band material selection, three kinds of materials, Si,B4C and Mo, were selected to form two kinds of periodic structures superimposed by B4C/Si and Mo/Si, their period number and film thickness were optimized, and the reflectivity curve was calculated and verified theoretically, and then the multi-layer films were deposited on Si sheets by magnetron sputter coating machine. Finally, the reflectivity of the sample was measured by laser plasma reflectivity meter. The results show that the reflectivity at wavelength 17.1nm and 30.4nm is 19.9% and 20.2%, respectively. By selecting different filters, such as Mg,Al/Zr filter, the reflection of 17.1nm or 30.4nm single spectral line can be obtained, and the design goal can be realized.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(60478035)資助項目
【分類號】：TH743

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本文編號：2507565