【摘要】：由于大型衍射光柵刻劃機刻劃系統(tǒng)的雙拉桿結(jié)構(gòu)不能使其滿足精度指標(biāo)要求,本文設(shè)計了一套單拉桿結(jié)構(gòu)。討論了石英導(dǎo)軌分度方向彎曲誤差產(chǎn)生的原因及其減小該誤差的方法,分析和比較了兩種拉桿結(jié)構(gòu)的鞍型滑塊的受力情況。基于材料力學(xué)彎曲變形理論,建立了石英導(dǎo)軌分度方向彎曲誤差模型。在該模型的基礎(chǔ)上仿真了雙、單拉桿結(jié)構(gòu)下刻劃系統(tǒng)的石英導(dǎo)軌在分度方向上的彎曲變形誤差。最后,使用雙頻激光干涉儀對石英導(dǎo)軌上的兩個特征測量點進(jìn)行了測量。測量結(jié)果顯示:改進(jìn)后的拉桿結(jié)構(gòu)使得石英導(dǎo)軌在兩特征測量點處的位移誤差由50.36nm降低到小于10nm,滿足大型衍射光柵刻劃機刻劃系統(tǒng)在分度方向上5~10nm的精度指標(biāo)要求。
[Abstract]:Because the double tension bar structure of the large diffraction grating engraving system can not meet the requirement of precision, a set of single pull bar structure is designed in this paper. This paper discusses the causes of the bending error in the indexing direction of quartz guideway and the methods to reduce the error, and analyzes and compares the stress of the saddle-shaped sliders with two kinds of pull-bar structures. Based on the bending deformation theory of material mechanics, the bending error model of quartz guideway in indexing direction is established. On the basis of this model, the bending deformation error of quartz guideway in the indexing direction is simulated under the double and single pull bar structure. Finally, two characteristic measurement points on quartz guideway are measured by dual-frequency laser interferometer. The measurement results show that the displacement error of quartz guideway at two characteristic measuring points is reduced from 50.36nm to less than 10 nm with the improved strut structure, which meets the precision requirement of 5~10nm in the indexing direction of large-scale diffraction grating engraving system.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所;
【基金】：國家重大科研裝備研制項目(No.ZBY2008-1) 國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項資助項目(No.11YQ120023) 吉林省重大科技攻關(guān)項目(No.09ZDGG005) 國家973重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃資助項目(No.2014CB049500) 長春市科技計劃資助項目(No.Y3B43HU140)
【分類號】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2460976