【摘要】：為了實(shí)現(xiàn)工業(yè)中較大直線位移上的滾轉(zhuǎn)角快速測量,設(shè)計(jì)了一種基于激光外差干涉技術(shù)的幾何空間對稱四光路滾轉(zhuǎn)角測量系統(tǒng),并針對缺少滾轉(zhuǎn)參數(shù)的較大行程位移臺,進(jìn)行了滾轉(zhuǎn)特性測量試驗(yàn)。試驗(yàn)證明,幾何空間對稱四光路滾轉(zhuǎn)角測量系統(tǒng)穩(wěn)定性好,抗干擾能力強(qiáng),不僅有效消除了其它自由度誤差的串?dāng)_,還能夠高效地測出不同精度直線位移臺的滾轉(zhuǎn)特性,并靈敏地再現(xiàn)了直線位移臺工作條件發(fā)生改變時(shí)工作臺滾轉(zhuǎn)角變化。使用常用的2π/512細(xì)分的相位計(jì)和寬度為120mm的楔面反射鏡,系統(tǒng)角測量分辨率為0.8″,最大可測行程達(dá)到6m。若將相位計(jì)細(xì)分提高100倍,滾轉(zhuǎn)角的測量分辨率將達(dá)到0.008″。當(dāng)楔面反射鏡寬度提高1倍,最大可測行程超過10m。
[Abstract]:In order to realize the rapid measurement of roll angle on large linear displacement in industry, a geometric symmetry four light path roll angle measurement system based on laser heterodyne interference technique is designed, and aiming at the larger stroke displacement table without rolling parameters, the paper presents a method for measuring the roll angle of geometric space symmetrical four light path based on laser heterodyne interferometry. The rolling characteristic measurement test was carried out. The test results show that the measuring system has good stability and anti-interference ability. It can not only eliminate crosstalk of other degrees of freedom errors, but also can efficiently measure the rolling characteristics of linear displacement stations with different accuracy. The rolling angle of the table is changed sensitively when the working conditions of the linear displacement table are changed. Using the commonly used 2 蟺 / 512 subdivision phasor and wedge reflector with the width of 120mm, the system angle measurement resolution is 0.8 ", and the maximum measurable stroke is 6 m. If the subdivision of the phasemeter is increased by 100 times, the measuring resolution of the roll angle will reach 0.008 ". When the width of the wedge reflector is doubled, the maximum measurable travel is more than 10 m.
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;
【基金】：滬江基金資助項(xiàng)目(項(xiàng)目編號:C14002)
【分類號】：TH744.3

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本文編號：2438044