【摘要】：為使壓電微動(dòng)平臺(tái)定位速度快、定位精度高,采用復(fù)合控制方法來(lái)對(duì)其進(jìn)行定位控制�；诒ＷC模型精度并使精度在整個(gè)閾值區(qū)間變化盡量均勻的要求,來(lái)使閾值最優(yōu)化,進(jìn)而建立了壓電微動(dòng)平臺(tái)的遲滯模型�；谒ㄆ脚_(tái)遲滯模型,設(shè)計(jì)了其前饋控制器;為抑制平臺(tái)的超調(diào),在常規(guī)數(shù)字增量式PID中引入濾波器設(shè)計(jì)了其反饋控制器;將前饋控制與PID反饋控制相結(jié)合,設(shè)計(jì)了平臺(tái)的復(fù)合控制器。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:所建平臺(tái)遲滯模型僅有7個(gè)算子,且均為有效算子,在16.3μm的最大實(shí)測(cè)位移下,模型最大誤差為0.208μm;在復(fù)合控制作用下,平臺(tái)達(dá)到5μm目標(biāo)值的響應(yīng)時(shí)間為0.173 s,雖慢于前饋控制,但明顯快于PID反饋控制;在最大位移為17.155μm的參考輸入作用下,若不考慮傳感器噪聲,平臺(tái)的定位誤差幾乎為零。
[Abstract]:In order to make the piezoelectric micro-platform locate quickly and accurately, the compound control method is used to control the positioning. Based on the requirement of ensuring the precision of the model and making the precision change uniformly in the whole threshold range, the threshold value is optimized, and then the hysteresis model of the piezoelectric micro-platform is established. Based on the platform hysteresis model, the feedforward controller is designed, and the feedback controller is designed by introducing the filter into the conventional digital incremental PID to suppress the overshoot of the platform. Combined with feedforward control and PID feedback control, the composite controller of the platform is designed. The experimental results show that there are only seven operators in the platform hysteresis model, and all of them are effective operators. Under the maximum measured displacement of 16.3 渭 m, the maximum error of the model is 0.208 渭 m. Under the compound control, the response time of the platform reaching the target value of 5 渭 m is 0.173 s, which is slower than the feedforward control, but obviously faster than the PID feedback control. Under the reference input with the maximum displacement of 17.155 渭 m, the positioning error of the platform is almost zero without considering the sensor noise.
【作者單位】： 寧波大學(xué)機(jī)械工程與力學(xué)學(xué)院;浙江省零件軋制成型技術(shù)研究重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51175271) 教育部留學(xué)回國(guó)人員科研啟動(dòng)基金資助項(xiàng)目 浙江省高等學(xué)校中青年學(xué)科帶頭人學(xué)術(shù)攀登項(xiàng)目(Pd2013091) 浙江省自然科學(xué)基金(LY12E09001)
【分類號(hào)】：TH703.8

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2434284