本文關(guān)鍵詞：工件臺(tái)激光干涉儀測(cè)量誤差模型研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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激光干涉儀使用技巧
Ｐｒｅｃｉｓｅ

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Ｌａｓｅｒ

Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ

魏純
（廣州市計(jì)最檢測(cè)技術(shù)研究院

，廣東廣州５１００３０）
瓣萎：本文討論了激光予涉儀在使用巾的準(zhǔn)直等技礴，用戶在實(shí)際使用中增加葺芒件以及維護(hù)巾邋薊的同舔。 燕鍵詞：激光平涉儀；準(zhǔn)直

ｌ引言

先探測(cè)器的強(qiáng)度滿足測(cè)量對(duì)對(duì)光強(qiáng)的要求，準(zhǔn)妻激光 光路往往需要很長(zhǎng)時(shí)間。 根據(jù)作者長(zhǎng)期使用的經(jīng)驗(yàn)，按照“離處動(dòng)尾部，低處 動(dòng)整體”的調(diào)整方法，將會(huì)大大縮短漆直時(shí)聞。（“尾 部”是指ＭＬｌ０激光器電源接口邊上的傾斜度調(diào)蹩旋鈕 和三兔架云臺(tái)上的旋轉(zhuǎn)微調(diào)控制旋鋰，“整體”是指三
具體調(diào)整方法如下：ｚ軸置于低處，利用ＭＬｌ０激

高性能激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu) 點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精 度及線性指標(biāo)最常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器，弦者所在單位使用 的是英國(guó)ＲＥＮＩＳＨＡＷ公閉生產(chǎn)的ＭＬｌ０激光干涉儀， 具有性能穩(wěn)定，使罱方便等特點(diǎn)。 慮環(huán)境、溫度、原理等影響測(cè)量的常規(guī)因素外，掌握一 些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。
２原理介紹

通過(guò)較長(zhǎng)時(shí)闖使用，作者認(rèn)為測(cè)量人員除了要考 。角架云龠酶平移控制旋鋰和三角架的商度調(diào)整曲柄。） 光器外斃中部的瞄準(zhǔn)槽，正對(duì)ｚ軸放置分光鏡，左右 移開Ｚ輔，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行
于ｚ軸，左右移回ｚ軸放置線性反射鏡及光靶（可以

ＭＬｌ０激光干涉儀是根據(jù)光學(xué)千涉基本原理設(shè)計(jì) 磊成酌。從ＭＬｌ０激光器射出的激光束有單一頻率， 其標(biāo)稱波長(zhǎng)雋０．６３３ｐＬＩｎ，且其長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定�。ㄕ婵� 狀態(tài)）要高于０．１ｐｐｍ。當(dāng)此光束抵達(dá)偏振分光鏡時(shí)， 會(huì)被分為兩道光束一一道反射光糯一道透射光。這 兩道光射向其反光鏡，然后透過(guò)分光鏡反射圈去，在 激光頭內(nèi)的探測(cè)器形成一道干涉光束。若光程差沒(méi) 有任俺變訖，探測(cè)器會(huì)在樵長(zhǎng)性秘楣潢性于涉的兩極 找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差確實(shí)有變化，探測(cè)器會(huì)在
每一次光程改變時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的弼極找

蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的 靶），激光打在反射鏡光靶上。 初步調(diào)整后，圍定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶， 通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光韉，將 ｚ軸升離，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時(shí)透 過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過(guò)程中 醫(yī)“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，嬲將ｚ 軸停止上升西到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對(duì)準(zhǔn)反 射鏡光靶。緊接著再升ｚ軸，繼續(xù)調(diào)整“尾部”，觀察激 光在反光鏡光靶上德離程度。重復(fù)整個(gè)過(guò)程，往德凡次 即可達(dá)封準(zhǔn)直要求。需要注意的是“整體”和“尾部”不 能同時(shí)調(diào)整，一定按照“高處動(dòng)尾部，低處動(dòng)整體”的方 法分另《諼整，否財(cái)溺整過(guò)程很容易混亂。 ３．２輔助工具的選擇 雖然ＭＬｌ０激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在 實(shí)際使瘸過(guò)程孛逐是需要另外配置一些轅助工輿：
３．２．１

到變動(dòng)的信號(hào)。這些變化（援格）會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè) 量?jī)蓚�(gè)光程聞的差異變化。測(cè)量的光程就是柵格數(shù) 乘以光束大約一半的波長(zhǎng)。 值褥注意的是，激光束的波長(zhǎng)取決于所通過(guò)敖空 氣折射率。由于空氣折射率會(huì)隨著溫度、壓力和相對(duì) 濕度而變化，用來(lái)計(jì)算測(cè)蹩值的波長(zhǎng)值可能需要加以 李｝償，以配合這魍環(huán)境參數(shù)豹改變。實(shí)際上就測(cè)量準(zhǔn) 確度而言，此類補(bǔ)償在進(jìn)行線性位移（定位精度）測(cè) 量，特別是量程較大時(shí)，非常重要。 ３激光干涉儀使用技巧
３．１

自己研制低高度云螽支架

部分機(jī)床工作臺(tái)高度與地面是基本相平的，那么 測(cè)量Ｚ軸器重，如果使黑激光干涉儀原裝三角架及云臺(tái) 安放激光器于地面，，則肯定會(huì)因?yàn)槿羌鼙旧淼母?br />度，損失ｌｍ左右的測(cè)量范圍。作者是采用自己研制

Ｚ軸激光光路快速準(zhǔn)直方法 用激光干涉儀進(jìn)行線性測(cè)量時(shí)，無(wú)論是數(shù)字機(jī)

床、還是坐標(biāo)測(cè)燮楓，ｚ軸測(cè)量酵激光光路的礁童榻對(duì) Ｘ、Ｙ軸準(zhǔn)直來(lái)說(shuō)，要困難的多。尤其是在ｚ軸距離較 長(zhǎng)的情況下，要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激

低的高度云臺(tái)支架，焉機(jī)床的遁蔫緊逶裝置露緊在槐 床平臺(tái)上或利用藏物緊圃，將云臺(tái)裝在上面，仍然利 用手柄鎖緊，整個(gè)裝置高３０ｃｍ左右，則最大程度的保

萬(wàn) 　 方數(shù)據(jù)

魏純：激光干涉僅使用技巧

雹
作者曾經(jīng)在一臺(tái)大型銑床位置準(zhǔn)確度檢測(cè)過(guò)程 中，遇到測(cè)量中電腦無(wú)端重啟，導(dǎo)致之前測(cè)量過(guò)程中 的數(shù)據(jù)全部丟失的情況。過(guò)后檢查該電腦，沒(méi)有發(fā)現(xiàn) 病毒或其他問(wèn)題，但確實(shí)長(zhǎng)時(shí)間用于激光干涉儀測(cè)量 中，會(huì)出現(xiàn)重啟的現(xiàn)象。 電腦專屬專用，利于測(cè)量數(shù)據(jù)長(zhǎng)期保存，方便測(cè) 量人員進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、問(wèn)題查找。
３．５

證ｚ軸的測(cè)量范圍。 ３．２．２選擇磁性表座 磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時(shí) 需要注意，表座工作面上需有Ｍ８的螺孔以配合安裝 鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選
擇兩個(gè)（實(shí)驗(yàn)室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底 面的表座），在測(cè)量時(shí)，往往側(cè)面吸的表座更利于激光 干涉儀鏡組的安裝。

日常維護(hù)

在現(xiàn)場(chǎng)使用是激光干涉儀廣泛應(yīng)用的一個(gè)特點(diǎn)，
但往往現(xiàn)場(chǎng)工作條件比較差，裝夾具不一定全。作為

ＭＬＩＯ激光干涉儀使用中日常維護(hù)也同樣重要，
要注意以下幾點(diǎn)：

校準(zhǔn)測(cè)試人員，提前較好較全地選擇配套輔助工具， 根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況，合理使用輔助工具，是順利、高效完成
測(cè)量任務(wù)的重要一環(huán)。 ３．３鏡組的靈活使用

（１）避免現(xiàn)場(chǎng)與儀器箱內(nèi)溫差較大時(shí)，直接開箱 使用； （２）運(yùn)輸、使用中避免劇烈碰撞； （３）儀器線纜要防止碾、壓，線纜接口防止變形；
（４）多塵的環(huán)境中，要注意光學(xué)鏡組放塵，測(cè)量間

ＭＬｌ０激光干涉儀配備有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)
量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)

隙較長(zhǎng)時(shí)，注意將激光光閘關(guān)閉，防止灰塵進(jìn)入激光器； （５）清洗光學(xué)鏡組要使用高質(zhì)量的擦拭紙、清洗
液。
參考文獻(xiàn)

量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等，實(shí)際使用中，有些不
同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測(cè)量需 要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性 測(cè)量鏡組中的反射鏡；激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以
１９８２．

［１】楊靖岳，邵蔭梅，張仁岱，周明家．白準(zhǔn)直儀．機(jī)械工業(yè)出版杜， ［２］計(jì)量測(cè)試技術(shù)手冊(cè)編委．計(jì)量測(cè)試技術(shù)手冊(cè)第二卷．中國(guó)計(jì)
量出版社，１９９７．

減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。 同時(shí)，激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)

量工作中使用，常見(jiàn)的利用分光鏡或者光學(xué)直角器， 達(dá)到改變光路，方便測(cè)量的目的。這需要，測(cè)量人員
了解設(shè)備性能、掌握測(cè)量技巧，在滿足測(cè)量準(zhǔn)確度的 前提下活學(xué)活用。 ３．４配備專用電腦的重要性
１９８０．

［３］Ｆ．Ｔ．阿雷克Ｅ．Ｏ．舒爾茨一杜波依斯．激光器．科學(xué)出版社， 【４】葉聲華．激光在精密計(jì)量的應(yīng)用．機(jī)械工業(yè)出版社，１９８２．
［５］ＲＥＮＩＳＨＡＷ ＭＬｌ０激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)說(shuō)明書．

作者簡(jiǎn)介：魏純，男，助理工程師。工作單位：廣州市計(jì)量檢測(cè)技術(shù)研究

ＭＬｌ０激光干涉儀常配合筆記本電腦使用，但如 果不注意專用的問(wèn)題，無(wú)論是軟件沖突、抑或是電腦 病毒，往往會(huì)影響到測(cè)量和使用。
（上接第３７頁(yè)）

院。通訊地址：５１００３０廣州市廣仁路１１號(hào)。 收稿時(shí)問(wèn)－＇２００７—０６一加
。

的銅箔如果沒(méi)有用普通打印紙也可以。將銅箔塞到 齒條與主尺接觸的間隙中，然后擰緊固定螺釘。注 意．不要讓銅箔高出齒條表面�？ǔ叩氖局嫡`差在整 個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)有正有負(fù)時(shí)的修理。見(jiàn)表２。修理方法 基本同上。不同之處是要擰松８１．６ｍｍ附近固定齒條
單位：ｍｉｌｌ

不要用力過(guò)猛，同時(shí)不能使齒輪與齒條脫離嚙合。調(diào) 整好嚙合間隙后將三個(gè)安裝螺釘擰緊。 （７）修理示值誤差�？ǔ叩氖局嫡`差在整個(gè)測(cè)量
范圍內(nèi)為負(fù)時(shí)的修理。見(jiàn)表ｌ。
表１

的螺釘，將銅箔塞到８１．６ｍｍ處齒條與主尺接觸的間 隙中，然后擰緊固定螺釘。 用此方法修理帶表卡尺示值誤差效果明顯，只是 在修理時(shí)要根據(jù)示值誤差的大小選用不同厚度的銅 箔（或紙張）。
作者簡(jiǎn)介：張軍生，男，高級(jí)技師。工作單位：中國(guó)航天科工集團(tuán)７８０１

研究所。（湖南國(guó)防區(qū)域計(jì)量站４１０２校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室）。通訊地址：４１０２０５

將主尺背面固定齒條靠近測(cè)量面第一個(gè)螺釘松

湖南省長(zhǎng)沙市５８５信箱３分箱。 收稿時(shí)聞：２００７—０５—２９

開，裁剪一條長(zhǎng)度１０ｍｍ寬度３ｍｍ厚度０．０６ｍｍ左右

萬(wàn) 　 方數(shù)據(jù)

激光干涉儀使用技巧
作者： 作者單位： 刊名： 英文刊名： 年，卷(期)： 引用次數(shù)： 魏純 廣州市計(jì)量檢測(cè)技術(shù)研究院,廣東,廣州,510030 計(jì)量與測(cè)試技術(shù) METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE 2007，34(10) 0次

參考文獻(xiàn)(5條) 1.楊靖岳.邵蔭梅.張仁岱.周明家 自準(zhǔn)直儀 1982 2.《計(jì)量測(cè)試技術(shù)手冊(cè)》編委會(huì) 計(jì)量測(cè)試技術(shù)手冊(cè) 1997 3.F T 阿雷克.E O 舒爾茨-杜波依斯 激光器 1980 4.葉聲華 激光在精密計(jì)量的應(yīng)用 1982 5.RENISHAW ML10激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)說(shuō)明書

相似文獻(xiàn)(10條) 1.會(huì)議論文 曹利波 利用激光干涉儀對(duì)機(jī)床定位精度的快速檢測(cè) 2008
簡(jiǎn)要介紹了雙頻激光干涉儀的組成和工作原理,并介紹了一種快速調(diào)整激光干涉儀準(zhǔn)直的方法以及檢測(cè)機(jī)床定位精度時(shí)的注意事項(xiàng)。

2.期刊論文 于迎紅 激光干涉儀線性光束準(zhǔn)直的快速調(diào)整方法 -計(jì)量技術(shù)2006(9)
本文介紹了在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)激光干涉儀光束準(zhǔn)直的快速調(diào)整方法,掌握技巧可提高工作效率.

3.學(xué)位論文 成相印 激光準(zhǔn)直測(cè)量中幾個(gè)基礎(chǔ)性問(wèn)題的研究 1994
該文綜述了當(dāng)前激光準(zhǔn)直測(cè)量方法,通過(guò)比較分析,認(rèn)為下面三個(gè)問(wèn)題帶有一定普遍性,值得仔細(xì)研究:1)激光的穩(wěn)頻;2)光學(xué)、光路的自適應(yīng);3)結(jié)構(gòu) 分析.該文提出了一種用雙頻激光干涉儀測(cè)量直線度的新方法.從激光頭出射的激光,通過(guò)第一個(gè)渥拉斯屯棱鏡變成兩束夾一小角度的光束,再通過(guò)第二個(gè) 渥拉斯屯棱鏡變成兩束平行光,經(jīng)直角體反射回激光頭,通過(guò)對(duì)測(cè)量光束和參考光束比相,就可獲得直線度偏差.

4.學(xué)位論文 陳慶 基于信號(hào)調(diào)制的二維微小角度傳感器的設(shè)計(jì) 2007
角度測(cè)量在現(xiàn)代企業(yè)的質(zhì)量保證體系中具有非常重要的地位，也是幾何量計(jì)量技術(shù)的重要組成部分。隨著納米測(cè)試技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，高精度、高 分辨率小角度測(cè)量方法的研究成為此領(lǐng)域研究的一項(xiàng)重要內(nèi)容�，F(xiàn)階段由于運(yùn)用了各種先進(jìn)的測(cè)量手段和儀器，使得測(cè)量準(zhǔn)確度和精度達(dá)到了很高的水 平。但是，傳統(tǒng)的小角度測(cè)量?jī)x器如激光干涉儀，光電自準(zhǔn)直儀等，由于具有體積大、系統(tǒng)復(fù)雜、造價(jià)昂貴、對(duì)測(cè)量環(huán)境要求高、較難組成多維測(cè)角系 統(tǒng)等特點(diǎn)而很難用于工業(yè)高精度在線測(cè)量。 本課題就是在這樣的背景下提出來(lái)的。為了解決上述問(wèn)題，本課題基于光學(xué)內(nèi)反射效應(yīng)，設(shè)計(jì)并試制 了一種新型二維微小角度傳感器，實(shí)現(xiàn)二維角度的測(cè)量，為下一步設(shè)計(jì)組建小型化多自由度位移檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)精密加工機(jī)床或坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的運(yùn)動(dòng)姿 態(tài)及誤差的測(cè)量奠定基礎(chǔ)。本系統(tǒng)采用基于MSP430高性能單片機(jī)檢測(cè)電路進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，提高系統(tǒng)的響應(yīng)速度；使用光源調(diào)制方法，提高信號(hào)的測(cè)量精 度。 以下是本論文的主要研究?jī)?nèi)容： 1.論述了本文研究的目的和意義，查閱了大量的國(guó)內(nèi)外有關(guān)技術(shù)資料，綜合評(píng)述了微小角度測(cè)量技術(shù) 的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。 2.從理論上系統(tǒng)的分析了基于光學(xué)內(nèi)反射效應(yīng)測(cè)角法的原理。 3.設(shè)計(jì)制作了一種可調(diào)制半導(dǎo)體激光器，包括準(zhǔn)直系統(tǒng) 和調(diào)制驅(qū)動(dòng)電路。 4.設(shè)計(jì)制作了基于單片機(jī)系統(tǒng)的處理電路，對(duì)其技術(shù)性能、工作特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。 5.提出該傳感器的評(píng)價(jià)方法，對(duì) 影響檢測(cè)準(zhǔn)確度的誤差因素進(jìn)行了比較系統(tǒng)地分析。

5.期刊論文 高媛.郭麗莎 激光干涉儀測(cè)角系統(tǒng)的精度補(bǔ)償方法 -計(jì)量技術(shù)2003(1)
提出一種新的準(zhǔn)直方法,對(duì)HP5528A激光干涉儀測(cè)角實(shí)現(xiàn)了精密計(jì)量.

6.期刊論文 黃天喜.嚴(yán)禎.曾韜.HUANG Tian-xi.YAN Zhen.ZENG Tao 幾種測(cè)量機(jī)床導(dǎo)軌直線度誤差的方法 -機(jī)械工 程與自動(dòng)化2008(2)
介紹了3種測(cè)量機(jī)床導(dǎo)軌直線度的方法,闡述了其基本原理,并對(duì)其進(jìn)行了分析和比較.

7.期刊論文 張立新.黃玉美.王峰.ZHANG Li-xin.HUANG Yu-mei.WANG Feng 干涉測(cè)量的誤差分析與并聯(lián)機(jī)床的準(zhǔn)確 度測(cè)量 -光子學(xué)報(bào)2008,37(6)
對(duì)雷尼紹激光干涉儀的線性測(cè)量原理進(jìn)行了詳細(xì)探討,分析了干涉儀在線性測(cè)量中的主要影響因素和誤差誘因;作出了線性測(cè)量的準(zhǔn)直誤差特性曲線 和阿貝誤差特性曲面,并利用最小二乘法擬合得到了干涉儀準(zhǔn)直測(cè)量誤差的數(shù)學(xué)模型和沿u、v方向離散的阿貝誤差特性曲線方程;給出了一種建立誤差數(shù) 學(xué)模型的方法采用激光干涉儀檢測(cè)了并聯(lián)數(shù)控機(jī)床直線軸的運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確度,并提出了一種適合于并聯(lián)機(jī)床直線軸定位準(zhǔn)確度測(cè)量的干涉測(cè)量方法.

8.學(xué)位論文 嚴(yán)琴 落體法等效原理實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)中的激光干涉測(cè)量系統(tǒng) 2002
等效原理是物理學(xué)的基本假設(shè)之一.它最基本的表述是在局域慣性系中,作用在物體上的引力和慣性力是無(wú)法通過(guò)實(shí)驗(yàn)加以區(qū)分的.人們已經(jīng)采用了許 多種方法來(lái)檢驗(yàn)這一原理.不過(guò)所有已完成和正在進(jìn)行的等效原理實(shí)驗(yàn)都是檢驗(yàn)非旋轉(zhuǎn)物體的等效性.張?jiān)俚热耸状翁岢鰴z驗(yàn)宏觀旋轉(zhuǎn)物體的等效性.分 析表明可以通過(guò)測(cè)量旋轉(zhuǎn)物體在自由下落過(guò)程中受到的加速度差來(lái)檢驗(yàn)旋轉(zhuǎn)物體的等效性.該文對(duì)激光干涉等效原理實(shí)驗(yàn)中光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的調(diào)試工作進(jìn)行 了介紹,如準(zhǔn)直系統(tǒng)、干涉系統(tǒng)和角度校準(zhǔn)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)等等;對(duì)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)引進(jìn)的系統(tǒng)誤差進(jìn)行分析和計(jì)算主要包括高斯光束引入的誤差,光線與測(cè)線不 平行引入的誤差.結(jié)果表明,該實(shí)驗(yàn)中光學(xué)系統(tǒng)所帶來(lái)的相對(duì)誤差為Δg/g~10<'-8>量級(jí).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明宏觀旋轉(zhuǎn)物體的等效性在10<'-7>的相對(duì)精度上是成 立的.

9.學(xué)位論文 程吉水 工件臺(tái)激光干涉儀測(cè)量誤差模型研究 2008
多自由度精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)是集成電路設(shè)備、精密加工機(jī)床等的關(guān)鍵部件，具有速度大、精度高的特性，其運(yùn)動(dòng)精度直接影響整機(jī)的性能，因此多自由度 精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高速高精運(yùn)動(dòng)控制十分關(guān)鍵。實(shí)現(xiàn)多自由度精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高精度運(yùn)動(dòng)控制，需要建立準(zhǔn)確的測(cè)量模型。在這些模型和算法中存在大量的參 數(shù)需要辨識(shí)與校準(zhǔn)，參數(shù)辨識(shí)與校準(zhǔn)直接影響光刻機(jī)工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。本文以工件臺(tái)測(cè)量系統(tǒng)中的6軸雙頻激光干涉儀為對(duì)象，定量分析各種測(cè)量誤差 ，對(duì)阿貝誤差和余弦誤差進(jìn)行了數(shù)學(xué)建模。 阿貝誤差和余弦誤差模型通過(guò)分區(qū)的方式計(jì)算工件臺(tái)與雙頻激光干涉儀之間每個(gè)光軸的四條光束在各區(qū)間

的光程，再結(jié)合權(quán)重因子得到X、Y向6個(gè)光軸的光程。以在工件臺(tái)傾斜和工件臺(tái)旋轉(zhuǎn)下的X、Y向6個(gè)光軸光程為基礎(chǔ)，計(jì)算出干涉儀光束傾斜時(shí)工件臺(tái)同 時(shí)傾斜和干涉儀光束旋轉(zhuǎn)時(shí)工件臺(tái)同時(shí)旋轉(zhuǎn)的X、Y向6個(gè)光軸光程，通過(guò)疊加換算得到含有機(jī)器常數(shù)的誤差模型。 根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)擬合出誤差模型中的各 個(gè)機(jī)器常數(shù)，對(duì)該誤差模型的正確性和有效性進(jìn)行驗(yàn)證，在光刻機(jī)的樣機(jī)上被證實(shí)取得良好效果：由模型前Y向的位置誤差100nm降低到運(yùn)用該模型后的 10nm，顯著提高了工件臺(tái)的定位精度。該模型可用于其它多自由度運(yùn)動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制中。

10.期刊論文 樊鳳杰.孟宗 基于雙頻激光干涉原理的大尺寸直徑測(cè)量的研究 -計(jì)量技術(shù)2008(2)
提出了一種基于雙頻激光干涉原理的大尺寸直徑測(cè)量的新方法,采用激光準(zhǔn)直儀出射的高穩(wěn)定光線瞄準(zhǔn)和定位固定在被測(cè)工件直徑兩端點(diǎn)上的光電接 收器,同時(shí)使用雙頻激光干涉儀測(cè)量?jī)蓚�(gè)光電接收器中心間的距離,通過(guò)幾何計(jì)算得到被測(cè)直徑尺寸.實(shí)驗(yàn)表明,該方法有較高的測(cè)量準(zhǔn)確度,測(cè)量系統(tǒng)的相 對(duì)誤差小于5×10-6.

本文鏈接： 下載時(shí)間：2010年1月15日



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