本文關(guān)鍵詞：高分辨率的紫外微型光纖光譜儀研制，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《浙江大學(xué)》 2015年

高分辨率的紫外微型光纖光譜儀研制

吳瑾  

【摘要】：近年來,隨著MEMS微機電(micro-electromechanical-system)技術(shù)的發(fā)展,光譜儀的微型化成為可能。無論是在實驗級還是工業(yè)應(yīng)用級的光譜儀的研發(fā)方面,國內(nèi)外都取得了較大的成果,尤其是基于CCD的微型光纖光譜儀,由于結(jié)構(gòu)簡單、體積微小,適應(yīng)野外作業(yè)和實時檢測,已經(jīng)廣泛運用于環(huán)境監(jiān)測、藥品制作、LED照明分析、工業(yè)監(jiān)測、空間探索等多個重要領(lǐng)域。由于大部分的電子光譜處于近紫外區(qū)域,而目前紫外光譜儀普遍存在分辨率較低、體積較為龐大的問題,本文分別制備了基于交叉型切爾尼-特納結(jié)構(gòu)和平場凹面全息光柵結(jié)構(gòu)的近紫外光柵光譜儀樣機,并且比較了兩臺樣機的主要性能參數(shù)。最終基于C-T結(jié)構(gòu)的光譜儀光譜范圍為192nm-389nm,分辨率達到0.25nm左右,符合高分辨率紫外光譜檢測的要求。本文主要探討便攜式光纖光譜儀的光學(xué)結(jié)構(gòu)的設(shè)計,比較不同光學(xué)結(jié)構(gòu)光譜儀的工作光譜范圍及分辨率,并且使用ZEMAX軟件進行優(yōu)化,確定光譜儀的光學(xué)結(jié)構(gòu),根據(jù)原理性樣機的機械結(jié)構(gòu)和相關(guān)的調(diào)節(jié)裝置,再結(jié)合實驗室自主開發(fā)的電路系統(tǒng)和軟件系統(tǒng),進行光譜儀調(diào)節(jié),最后采用標(biāo)準光源定標(biāo)得到符合要求的近紫外高分辨率微型光纖光譜儀。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TH744.1
【目錄】：

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本文編號：237651