本文關(guān)鍵詞：高分辨率的紫外微型光纖光譜儀研制，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《浙江大學》 2015年

高分辨率的紫外微型光纖光譜儀研制

吳瑾  

【摘要】：近年來,隨著MEMS微機電(micro-electromechanical-system)技術(shù)的發(fā)展,光譜儀的微型化成為可能。無論是在實驗級還是工業(yè)應(yīng)用級的光譜儀的研發(fā)方面,國內(nèi)外都取得了較大的成果,尤其是基于CCD的微型光纖光譜儀,由于結(jié)構(gòu)簡單、體積微小,適應(yīng)野外作業(yè)和實時檢測,已經(jīng)廣泛運用于環(huán)境監(jiān)測、藥品制作、LED照明分析、工業(yè)監(jiān)測、空間探索等多個重要領(lǐng)域。由于大部分的電子光譜處于近紫外區(qū)域,而目前紫外光譜儀普遍存在分辨率較低、體積較為龐大的問題,本文分別制備了基于交叉型切爾尼-特納結(jié)構(gòu)和平場凹面全息光柵結(jié)構(gòu)的近紫外光柵光譜儀樣機,并且比較了兩臺樣機的主要性能參數(shù)。最終基于C-T結(jié)構(gòu)的光譜儀光譜范圍為192nm-389nm,分辨率達到0.25nm左右,符合高分辨率紫外光譜檢測的要求。本文主要探討便攜式光纖光譜儀的光學結(jié)構(gòu)的設(shè)計,比較不同光學結(jié)構(gòu)光譜儀的工作光譜范圍及分辨率,并且使用ZEMAX軟件進行優(yōu)化,確定光譜儀的光學結(jié)構(gòu),根據(jù)原理性樣機的機械結(jié)構(gòu)和相關(guān)的調(diào)節(jié)裝置,再結(jié)合實驗室自主開發(fā)的電路系統(tǒng)和軟件系統(tǒng),進行光譜儀調(diào)節(jié),最后采用標準光源定標得到符合要求的近紫外高分辨率微型光纖光譜儀。

【關(guān)鍵詞】：
【學位授予單位】：浙江大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2015
【分類號】：TH744.1
【目錄】：

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