發(fā)布時(shí)間：2018-11-23 07:48

【摘要】：針對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域中橫向加載單向變形靜電微驅(qū)動(dòng)器存在位移過小或驅(qū)動(dòng)電壓過大的問題,提出一種縱橫彎曲硅基大位移低電壓靜電微驅(qū)動(dòng)器.分析了靜電調(diào)節(jié)力、溫度應(yīng)力和擠壓力對(duì)微梁變形的影響.基于縱橫彎曲理論,推導(dǎo)出位移放大系數(shù)δ.仿真結(jié)果發(fā)現(xiàn),縱橫彎曲微驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)機(jī)理實(shí)質(zhì)是通過位移放大系數(shù)δ,放大單向加載橫向驅(qū)動(dòng)器變形量,從而實(shí)現(xiàn)大位移、低電壓驅(qū)動(dòng)目的;5V驅(qū)動(dòng)電壓可實(shí)現(xiàn)高達(dá)17.5μm的位移,遠(yuǎn)大于目前傳統(tǒng)橫向加載單向變形微驅(qū)動(dòng)器的變形量.
[Abstract]:In order to solve the problem that the displacement is too small or the driving voltage is too large in the field of microelectromechanical system, a low voltage electrostatic microactuator with large displacement and large displacement is proposed. The influence of electrostatic force, temperature stress and extrusion pressure on the deformation of microbeam is analyzed. Based on the theory of longitudinal and transverse bending, the displacement magnification factor 未 is derived. The simulation results show that the driving mechanism of longitudinal and transverse bending microactuators is to amplify the deformation of the lateral actuators under unidirectional loading by means of displacement magnification factor 未, so as to achieve the purpose of large displacement and low voltage driving. The displacement of 5V driving voltage can be up to 17.5 渭 m, which is much larger than that of traditional unidirectional microactuators loaded in transverse direction.
【作者單位】： 西安電子科技大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61176130)
【分類號(hào)】：TH703

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2350826