【摘要】：微加速度計(jì)用于測(cè)量載體的加速度,并提供相關(guān)的速度和位移信息。該文主要對(duì)一種硅基壓阻式高加速度g(g=9.8m/s2)值微加速度計(jì)在沖擊加速度環(huán)境下進(jìn)行有限元仿真分析。分析結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的壓阻式高g值微加速度傳感器在15×104 g量程內(nèi)可正常并有效工作,且可承受40×104 g高速?zèng)_擊,當(dāng)加速度超過(guò)40.8×104 g時(shí),加速度計(jì)發(fā)生失效變形。分析了加速度計(jì)在沖擊環(huán)境下的主要失效模式及失效機(jī)理,得出了壓阻式加速度計(jì)在沖擊環(huán)境下的失效主要從梁與邊框和質(zhì)量塊連接處開始,隨著沖擊時(shí)間(即沖擊強(qiáng)度)的增加,結(jié)構(gòu)應(yīng)力逐漸達(dá)到屈服極限,材料發(fā)生屈服效應(yīng),然后發(fā)生斷裂。
[Abstract]:Microaccelerometers are used to measure the acceleration of the carrier and provide information about velocity and displacement. In this paper, a silicon-based piezoresistive accelerometer with g (g=9.8m/s2) value is simulated and analyzed by finite element method under impact acceleration. The analysis results show that the designed piezoresistive micro accelerometer with high g value can work normally and effectively in the range of 15 脳 10 ~ 4 g, and can withstand 40 脳 10 ~ 4 g high speed shock. When the acceleration exceeds 40.8 脳 10 ~ 4 g, the accelerometer will deform. The main failure modes and failure mechanism of accelerometer in impact environment are analyzed. The failure of piezoresistive accelerometer in impact environment is mainly from the connection between beam and frame and mass block. With the increase of impact time (I. e., impact strength), the stress of the structure gradually reaches the yield limit, the yield effect of the material occurs, and then the fracture occurs.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)計(jì)算機(jī)與控制工程學(xué)院;
【分類號(hào)】：TH824.4

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2344741