【摘要】：針對特殊場合的高g值加速度測試需求,提出了一種叉齒電容式高量程微機(jī)械加速度計的結(jié)構(gòu)形式,采用面內(nèi)敏感的變面積差動電容變化方式,并針對傳感器固有頻率、橫向效應(yīng)、量程和加速度靈敏度進(jìn)行了設(shè)計分析。仿真結(jié)果表明:該加速度計量程200 000 g,固有頻率266.2 k Hz,模態(tài)分離比大于2.5,0~10 k Hz通頻帶內(nèi)加速度分辨率優(yōu)于60 g.基于硅-玻璃微機(jī)械工藝進(jìn)行了加速度計微結(jié)構(gòu)的流片加工、鏡檢測試和傳感器的初步?jīng)_擊實驗驗證。相比已有的高量程微機(jī)械加速度計,該設(shè)計具有線性度好、橫向效應(yīng)小、加速度靈敏度高和抗高過載能力強(qiáng)等特點(diǎn)。
[Abstract]:In order to meet the requirement of high g value acceleration measurement in special occasions, a new structure of fork tooth capacitive high range micro mechanical accelerometer is proposed, which adopts a sensitive variable area differential capacitance change mode in plane, and aims at the natural frequency of the sensor. Transverse effect, range and acceleration sensitivity are designed and analyzed. The simulation results show that the acceleration resolution of the accelerometer is better than 60 g in the frequency range of 200000 g, the natural frequency of 266.2 k Hz, mode separation ratio is greater than 2.5% and the 10 k Hz passband acceleration resolution is better than 60 g. Based on the silicon-glass micromachined technology, the flow sheet of accelerometer microstructure was processed, the microscopic test and the initial shock test of the sensor were carried out. Compared with the existing high-range micro-mechanical accelerometers, this design has the advantages of good linearity, small transverse effect, high acceleration sensitivity and strong anti-overload ability.
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系;
【分類號】：TH824.4

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號：2316856