本文關(guān)鍵詞：納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評(píng)定，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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太原理工大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評(píng)定摘要納米壓痕力學(xué)測(cè)量技術(shù)具有操作靈活簡(jiǎn)單、測(cè)量分辨力高、對(duì)樣品無損或微損等優(yōu)點(diǎn),廣泛用于金屬、微機(jī)電系統(tǒng)、復(fù)合材料、生物材料、薄膜涂層等材料力學(xué)性能的測(cè)試。商用的納米壓痕儀的位移和載荷傳感器都存在測(cè)量誤差,壓頭面積函數(shù)和理論模型也會(huì)有所偏差,這些誤差都會(huì)導(dǎo)致測(cè)量準(zhǔn)確度的下降,因此需要對(duì)商用的納米壓痕儀進(jìn)行校準(zhǔn)。本文在位移因子已經(jīng)完成校準(zhǔn)的基礎(chǔ)上,對(duì)納米壓痕儀的壓頭面積函數(shù)和載荷因子進(jìn)行了校準(zhǔn),并對(duì)納米壓痕力學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的硬度和折合模量的測(cè)量不確定度進(jìn)行了評(píng)定。主要研究工作及結(jié)果如下:1.玻式壓頭面積函數(shù)的校準(zhǔn)與溯源。針對(duì)玻式壓頭由于制造精度和磨損鈍化所導(dǎo)致幾何形狀的偏差對(duì)納米壓痕力學(xué)測(cè)量的影響,采用兩種方法對(duì)玻式壓頭面積函數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn):一種是通過熔融石英標(biāo)準(zhǔn)樣塊測(cè)量的間接校準(zhǔn)法,在該方法中首先校準(zhǔn)機(jī)架柔度,然后在熔融石英上進(jìn)行一系列不同壓入深度的壓痕實(shí)驗(yàn),最后通過迭代方法得出壓頭面積函數(shù)。另一種方法是基于原子力顯微鏡的直接校準(zhǔn)法,在該方法采用了0.2Hz、0.5Hz和1Hz三種不同的掃描頻率對(duì)玻式壓頭尖端進(jìn)行了掃描,通過擬合壓頭截面積與高度的關(guān)系得出與針尖高度... 內(nèi)容來自轉(zhuǎn)載請(qǐng)標(biāo)明出處.

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