發(fā)布時間：2018-10-08 20:37

【摘要】：為了完成所研制的MEMS氣體流量傳感器樣品的流量測試與標(biāo)定,設(shè)計制作了一種由標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生器和傳感器信號讀出與數(shù)據(jù)采集電路組成的簡易流量測試裝置。標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生器由注射器和可更換的砝碼組成,利用不同的砝碼配重,在注射器出氣口產(chǎn)生合適的恒定氣體流速。通過理論分析和Ansys有限元數(shù)值仿真,驗證了簡易標(biāo)準(zhǔn)流量發(fā)生器的可行性。傳感器信號讀出與數(shù)據(jù)采集電路基于內(nèi)建多路A/D轉(zhuǎn)換器的單片機(jī)實現(xiàn),具有傳感器加熱電阻器的恒溫控制、流量信號的數(shù)字檢測和顯示的功能。采用該簡易流量測試裝置對自行研制的MEMS氣體流量傳感器進(jìn)行了流量測試與標(biāo)定,獲得了待測器件的標(biāo)定參數(shù)、傳感器流量測量的絕對誤差和相對誤差。
[Abstract]:In order to complete the flow test and calibration of the MEMS gas flow sensor, a simple flow test device composed of standard flow generator and sensor signal readout and data acquisition circuit is designed and manufactured. The standard flow generator is composed of syringes and replaceable weights. Using different weights and counterweights, a suitable constant gas flow rate is generated at the air outlet of the syringe. The feasibility of the simple standard flow generator is verified by theoretical analysis and Ansys finite element numerical simulation. The sensor signal readout and data acquisition circuit is based on a single-chip microcomputer with multi-channel A / D converter. It has the functions of constant temperature control of sensor heating resistor, digital detection and display of flow signal. The flow measurement and calibration of the self-developed MEMS gas flow sensor are carried out by using the simple flow test device. The calibration parameters of the device to be tested and the absolute and relative errors of the sensor flow measurement are obtained.
【作者單位】： 中國工程物理研究院電子工程研究所;重慶大學(xué)光電技術(shù)及系統(tǒng)教育部重點實驗室;西南科技大學(xué)信息工程學(xué)院;
【基金】：中國工程物理研究院超精密加工技術(shù)重點實驗室基金資助項目(2012CJMZZ00009) 重慶大學(xué)新型微納器件與系統(tǒng)技術(shù)國防重點學(xué)科實驗室訪問學(xué)者基金資助項目(2013MS04) 西南科技大學(xué)制造過程測試技術(shù)省部共建教育部重點實驗室開放課題(11ZXZK03) 西南科技大學(xué)研究生創(chuàng)新基金資助項目(13YCJJ31,13YCJJ36)
【分類號】：TH814

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前8條

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【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

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【二級參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

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相關(guān)博士學(xué)位論文 前2條

1 張世榮;熱式氣體質(zhì)量流量測量及補(bǔ)償算法研究[D];華中科技大學(xué);2007年

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相關(guān)碩士學(xué)位論文 前1條

1 薛寧;硅基熱溫差式氣體流量傳感器的研究[D];大連理工大學(xué);2007年

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：2258180