【摘要】：采用有限元熱分析方法,構(gòu)建宏微運(yùn)動平臺的熱-結(jié)構(gòu)耦合分析模型,對宏微運(yùn)動平臺的連接架及柔性鉸鏈平臺開展熱特性分析。耦合場分析結(jié)果發(fā)現(xiàn),相比無溫度場載荷條件,連接架及柔性鉸鏈平臺的變形量增大。對運(yùn)動平臺的關(guān)鍵部件連接架進(jìn)行尺寸優(yōu)化,尺寸優(yōu)化后的連接架最大變形量減少15.2%,總質(zhì)量減少12.6%,最大應(yīng)力減少20.3%。補(bǔ)充了傳統(tǒng)的僅考慮結(jié)構(gòu)載荷影響的方法,為運(yùn)動平臺的超精密定位和穩(wěn)定運(yùn)行提供更為全面的分析。
[Abstract]:The thermal-structural coupling analysis model of the macro-micro motion platform is established by using the finite element thermal analysis method. The thermal characteristics of the joints and flexure hinge platforms of the macro-micro motion platform are analyzed. After dimension optimization, the maximum deformation, total mass and maximum stress of the joint frame are reduced by 15.2%, 12.6% and 20.3%, respectively. The traditional method which only considers the effect of structural load is supplemented to provide a more comprehensive analysis for Ultra-precision positioning and stable operation of the moving platform.
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué);東莞華中科技大學(xué)制造工程研究院;哈爾濱工業(yè)大學(xué)深圳研究生院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(NSFC)-廣東聯(lián)合基金重點(diǎn)資助項(xiàng)目(U1134004) 廣東省重大科技專項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(2011A0808010004) 廣東省引進(jìn)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)計(jì)劃基金資助項(xiàng)目(2009010051) 廣東省省部產(chǎn)學(xué)研合作專項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(2012B091100022) 東莞市高等院�？蒲袡C(jī)構(gòu)資金資助項(xiàng)目(2012108102023) 深圳市基礎(chǔ)研究項(xiàng)目(JC201105160586A,JCY201110066)
【分類號】：TH703

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 田俊;張憲民;;基于柔順機(jī)構(gòu)的兩自由度微動精密定位平臺的分析與設(shè)計(jì)[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;2009年05期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 何學(xué)明;超精密氣浮定位工作臺的動力學(xué)研究[D];華中科技大學(xué);2007年

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 張晉芳;趙人達(dá);;基于ANSYS的漸進(jìn)結(jié)構(gòu)拓?fù)鋬?yōu)化方法比較[J];四川建筑科學(xué)研究;2009年02期

2 韓同彬;劉潔瑜;汪立新;秦偉偉;;基于虛擬儀器轉(zhuǎn)動平臺自動化控制系統(tǒng)[J];兵工自動化;2009年03期

3 張曉青,馮麗爽;三相步進(jìn)電動機(jī)PWM驅(qū)動器設(shè)計(jì)[J];北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院學(xué)報;2001年01期

4 原立家;祝連慶;董明利;;高精度的步進(jìn)電機(jī)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J];北京機(jī)械工業(yè)學(xué)院學(xué)報;2006年01期

5 張秦嶺;李艷明;郭宏;;一種高性能兩相步進(jìn)電動機(jī)細(xì)分驅(qū)動器的設(shè)計(jì)[J];北京航空航天大學(xué)學(xué)報;2006年09期

6 馬利娥;張海燕;李偉;武吉梅;郭會元;;新型紙張定位系統(tǒng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)及其控制器的設(shè)計(jì)[J];北京印刷學(xué)院學(xué)報;2010年06期

7 宋鴻飛;佟首峰;孟凡濤;宋延嵩;;步進(jìn)電機(jī)閉環(huán)細(xì)分驅(qū)動控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2008年02期

8 朱新連,張海燕,趙慶海;卷筒紙紙帶跑偏檢測與糾正系統(tǒng)[J];傳感器技術(shù);2005年07期

9 潘雪;高國偉;王超;趙瑜;張軍;;自校準(zhǔn)電子水平儀的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[J];傳感器與微系統(tǒng);2008年01期

10 何峰;鄭勇;黨力明;紀(jì)文亮;;動態(tài)測量技術(shù)精度檢測系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J];測繪科學(xué);2009年02期

相關(guān)會議論文 前10條

1 李偉;郝志明;;漸進(jìn)結(jié)構(gòu)優(yōu)化在離心機(jī)吊籃結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用[A];中國計(jì)算力學(xué)大會'2010（CCCM2010）暨第八屆南方計(jì)算力學(xué)學(xué)術(shù)會議（SCCM8）論文集[C];2010年

2 張贛波;趙耀;;基于靈敏度分析的船舶閥組單元修改[A];中國鋼結(jié)構(gòu)協(xié)會海洋鋼結(jié)構(gòu)分會2010年學(xué)術(shù)會議暨第六屆理事會第三次會議論文集[C];2010年

3 劉寶志;;基于PIC16F878單片機(jī)的步進(jìn)電機(jī)控制系統(tǒng)[A];2009年研究生學(xué)術(shù)交流會通信與信息技術(shù)論文集[C];2009年

4 王云偉;竇滿峰;韓英桃;;步進(jìn)電機(jī)自適應(yīng)細(xì)分驅(qū)動的實(shí)現(xiàn)方法[A];第十一屆中國小電機(jī)技術(shù)研討會論文集[C];2006年

5 朱文;諶發(fā)坤;袁冬梅;劉飛;;一種新型步進(jìn)電機(jī)及其在數(shù)控機(jī)床中的應(yīng)用[A];第十四屆全國機(jī)構(gòu)學(xué)學(xué)術(shù)研討會暨第二屆海峽兩岸機(jī)構(gòu)學(xué)學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2004年

6 高廣華;時瑞軍;;基于航空發(fā)動機(jī)的步進(jìn)電動機(jī)的控制及應(yīng)用研究[A];2012航空試驗(yàn)測試技術(shù)學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2012年

7 榮志娟;王學(xué)明;嚴(yán)立新;呂寶華;張陵;;基于統(tǒng)計(jì)分析的鋼管塔環(huán)板節(jié)點(diǎn)有限元模型修正[A];第21屆全國結(jié)構(gòu)工程學(xué)術(shù)會議論文集第Ⅱ冊[C];2012年

8 彭愛民;王廣祥;曾衛(wèi)華;;基于AVR單片機(jī)的連續(xù)送樣系統(tǒng)[A];第十七屆全國測控計(jì)量儀器儀表學(xué)術(shù)年會（MCMI'2007）論文集（下冊）[C];2007年

9 陳功;熊天齊;錢若軍;;結(jié)構(gòu)動力學(xué)中模型的修正的研究概述[A];第五屆全國現(xiàn)代結(jié)構(gòu)工程學(xué)術(shù)研討會論文集[C];2005年

10 陳功;王義芳;錢若軍;;結(jié)構(gòu)中模型的修正的研究綜述[A];第七屆全國現(xiàn)代結(jié)構(gòu)工程學(xué)術(shù)研討會論文集[C];2007年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 王紅云;單根多楔帶附件驅(qū)動系統(tǒng)動態(tài)特性建模與仿真技術(shù)的研究[D];華南理工大學(xué);2010年

2 沈春根;高速加工工具系統(tǒng)的動力學(xué)特性及應(yīng)用基礎(chǔ)研究[D];江蘇大學(xué);2011年

3 宗靖國;紅外成像光譜數(shù)據(jù)獲取及其在場景仿真中的應(yīng)用[D];西安電子科技大學(xué);2011年

4 丁北斗;基于環(huán)境激勵網(wǎng)架結(jié)構(gòu)的模態(tài)分析與損傷識別研究[D];中國礦業(yè)大學(xué);2010年

5 浦棟麟;高加速度氣浮運(yùn)動系統(tǒng)的快速抑振精確定位控制[D];上海交通大學(xué);2011年

6 趙群;復(fù)合材料翼面結(jié)構(gòu)布局優(yōu)化設(shè)計(jì)方法研究[D];南京航空航天大學(xué);2010年

7 王學(xué)軍;大型離心壓縮機(jī)產(chǎn)品精益設(shè)計(jì)研究與應(yīng)用[D];東北大學(xué);2009年

8 史涔（氵山一幾攵）;新型半導(dǎo)體換流低速磁阻電動機(jī)的研究[D];浙江大學(xué);2002年

9 盧蘭光;柴油機(jī)中壓共軌綜合系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及其控制策略的研究[D];武漢理工大學(xué);2002年

10 李彬華;低緯子午環(huán)控制系統(tǒng)及數(shù)據(jù)預(yù)處理系統(tǒng)的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（云南天文臺）;2002年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 吳定柱;多孔質(zhì)氣體靜壓止推軸承關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國工程物理研究院;2010年

2 李偉;基于ANSYS平臺的拓?fù)鋬?yōu)化方法研究及其在離心機(jī)吊籃結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用[D];中國工程物理研究院;2010年

3 呂新昱;水下機(jī)器人舵機(jī)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D];哈爾濱工程大學(xué);2010年

4 李曉磊;基于環(huán)境激勵高墩大跨連續(xù)剛構(gòu)橋模態(tài)分析及應(yīng)用研究[D];長沙理工大學(xué);2010年

5 張鐵鋒;疊圖機(jī)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)與開發(fā)[D];天津理工大學(xué);2010年

6 蓋光江;嵌入式智能打標(biāo)機(jī)[D];天津理工大學(xué);2010年

7 唐雁彬;三極管自動分選機(jī)硬件電路及其軟件系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D];電子科技大學(xué);2010年

8 易華波;TO220自動測試分選機(jī)軟件研發(fā)及人機(jī)界面設(shè)計(jì)[D];電子科技大學(xué);2010年

9 李雙林;50t/28m龍門起重機(jī)主梁有限元分析及結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)[D];中南林業(yè)科技大學(xué);2009年

10 馬世龍;晶振自動粗精磨機(jī)的研究和開發(fā)[D];東華大學(xué);2010年

【二級參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 邊新孝,李謀渭;靜壓空氣軸承的動剛度和阻尼分析[J];軸承;2004年12期

2 田陸屏;0.5μm分步光刻機(jī)關(guān)鍵參數(shù)測量與分析[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2000年02期

3 朱煜,尹文生,段廣洪;光刻機(jī)超精密工件臺研究[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2004年02期

4 盧維美;高精度激光干涉儀定位系統(tǒng)[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;1999年01期

5 田陸屏;0.50μm步進(jìn)光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)設(shè)計(jì)[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;1999年02期

6 陳海斌,鐘先信,程雪梅;空氣靜壓軸承的優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];重慶大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1997年01期

7 唐小萍;亞微米i線投影曝光機(jī)三維精密定位工件臺控制系統(tǒng)研究[J];光電工程;1998年03期

8 李志來;超高剛度自主式空氣靜壓支承發(fā)展現(xiàn)狀[J];光機(jī)電信息;1998年01期

9 董吉洪,田興志,李志來,王明哲;100nm步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)工件臺、掩模臺的發(fā)展[J];光機(jī)電信息;2004年05期

10 孫麟治;李鳴鳴;程維明;;精密定位技術(shù)研究[J];光學(xué)精密工程;2005年S1期

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 盧清華;張憲民;范彥斌;;基于計(jì)算機(jī)微視覺的魯棒多尺度平面微運(yùn)動測量[J];機(jī)械工程學(xué)報;2009年02期

2 盧清華;張憲民;范彥斌;;一種考慮精度和效率的微運(yùn)動測量算法[J];中國機(jī)械工程;2010年11期

3 盧清華;張憲民;范彥斌;;基于梯度濾波器的多尺度高精度微運(yùn)動測量[J];測試技術(shù)學(xué)報;2008年03期

4 陳超;張冬仙;劉超;章海軍;;微型光熱驅(qū)動機(jī)構(gòu)及其顯微運(yùn)動測量研究[J];中國機(jī)械工程;2009年08期

5 盧清華;張憲民;范彥斌;;計(jì)算機(jī)微視覺微運(yùn)動測量系統(tǒng)圖像噪聲分析[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;2008年04期

6 盧清華;張憲民;范彥斌;;一種測量微運(yùn)動的多尺度高精度方法[J];制造業(yè)自動化;2008年06期

7 周云生;;目標(biāo)微運(yùn)動與寬帶雷達(dá)散射特性[J];南京理工大學(xué)學(xué)報;2012年02期

8 張璐凡;隆志力;念龍生;方記文;;基于頻率靈敏度方法的宏微運(yùn)動平臺連接架結(jié)構(gòu)優(yōu)化[J];納米技術(shù)與精密工程;2014年03期

9 郭彤;胡春光;胡曉東;栗大超;傅星;胡小唐;;利用微運(yùn)動分析儀研究MEMS器件的運(yùn)動特性[J];光電子·激光;2006年04期

10 郭彤,胡春光,胡曉東,栗大超,金翠云,傅星,胡小唐;利用光切方法測量微結(jié)構(gòu)的三維微運(yùn)動[J];光學(xué)技術(shù);2005年04期

相關(guān)會議論文 前1條

1 金翠云;靳世久;馮亞林;彭柯;郝一龍;;基于機(jī)器微視覺的MEMS平面微運(yùn)動測試技術(shù)[A];全球化、信息化、綠色化提升中國制造業(yè)——2003年中國機(jī)械工程學(xué)會年會論文集（微納制造技術(shù)應(yīng)用專題）[C];2003年

相關(guān)重要報紙文章 前1條

1 記者 洪光豫;“高薪”以絕對優(yōu)勢擊敗“自由”[N];杭州日報;2011年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 黃贊;基于計(jì)算機(jī)微視覺的微運(yùn)動測量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];華南理工大學(xué);2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前3條

1 劉喜濤;高加速宏微運(yùn)動平臺的動力學(xué)分析與測試[D];廣東工業(yè)大學(xué);2014年

2 張世華;單自由度磁懸浮微運(yùn)動系統(tǒng)的對稱性理論和最優(yōu)控制[D];浙江理工大學(xué);2013年

3 黃特生;面向電子制造的高速精密宏微運(yùn)動平臺減振研究與測試[D];廣東工業(yè)大學(xué);2015年

，

本文編號：2236891