本文關(guān)鍵詞：基于PMAC的直線驅(qū)動(dòng)氣浮精密定位平臺(tái)控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《廣東工業(yè)大學(xué)》 2013年

基于PMAC的直線驅(qū)動(dòng)氣浮精密定位平臺(tái)控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)

吳廣榮  

【摘要】：精密定位是精密機(jī)械中的關(guān)鍵部件之一,它為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、納米表面形貌測(cè)量等領(lǐng)域提供一個(gè)能夠?qū)崿F(xiàn)精密定位和精確運(yùn)動(dòng)的載物平臺(tái)�；跉飧≈С泻椭本�電機(jī)直線驅(qū)動(dòng)技術(shù)的精密氣浮定位平臺(tái)是近期國內(nèi)外高精密技術(shù)研究的一個(gè)熱點(diǎn)。 直線驅(qū)動(dòng)氣浮定位平臺(tái)是一個(gè)機(jī)電一體化系統(tǒng),它是集靜壓氣體導(dǎo)軌技術(shù)、直線驅(qū)動(dòng)技術(shù)、數(shù)控技術(shù)、動(dòng)靜態(tài)特性分析與優(yōu)化、自動(dòng)控制原理、測(cè)試與實(shí)驗(yàn)分析等多種技術(shù)于一體的綜合技術(shù),其中,控制系統(tǒng)是氣浮定位平臺(tái)能否實(shí)現(xiàn)高速精度定位的關(guān)鍵。本文為搭建大行程直線驅(qū)動(dòng)氣浮定位平臺(tái)閉環(huán)控制系統(tǒng)、提高定位平臺(tái)定位精度,在開放式PMAC控制器的基礎(chǔ)上,主要從氣浮定位平臺(tái)的閉環(huán)控制系統(tǒng)總體方案設(shè)計(jì)、上位機(jī)控制軟件開發(fā)、控制算法研究、定位精度測(cè)量與補(bǔ)償幾方面,對(duì)直線驅(qū)動(dòng)式氣浮定位平臺(tái)進(jìn)行研究與開發(fā)。主要研究?jī)?nèi)容包括： 1、研究國內(nèi)外直線驅(qū)動(dòng)氣浮定位平臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù),通過分析各控制技術(shù)的特點(diǎn),選擇適合本課題要求的方法并搭建氣浮定位平臺(tái)的閉環(huán)控制硬件系統(tǒng),為實(shí)現(xiàn)大行程下的精密定位奠定基礎(chǔ)。 2、根據(jù)本課題氣浮定位平臺(tái)的研究要求,基于VC++開發(fā)平臺(tái),采用模塊化設(shè)計(jì)思想,開發(fā)具有通訊、手動(dòng)、在線指令終端、程序編寫及下載執(zhí)行、參數(shù)整定及運(yùn)動(dòng)狀態(tài)監(jiān)控等功能的開放式精密定位平臺(tái)軟件控制系統(tǒng)。 3、分析PID控制算法中各運(yùn)動(dòng)參數(shù)對(duì)平臺(tái)的位置、速度、加速度等運(yùn)動(dòng)響應(yīng)特性的影響,為提高系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)特性和定位精度,建立具有速度前饋及加速度前饋的PID控制算法模型并應(yīng)用到控制器中,通過實(shí)驗(yàn)分析的方法對(duì)控制參數(shù)進(jìn)行整定。 4、設(shè)計(jì)定位精度測(cè)量實(shí)驗(yàn)方案,測(cè)試本定位平臺(tái)在傳統(tǒng)PID控制下及在PID-速度前饋加速度前饋控制算法下的運(yùn)動(dòng)特性及定位精度,并在對(duì)其定位誤差進(jìn)行分析基礎(chǔ)上,建立基于間隙補(bǔ)償與線性補(bǔ)償?shù)恼`差補(bǔ)償?shù)姆椒ㄒ约皩?duì)誤差補(bǔ)償后的定位精度進(jìn)行分析。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：廣東工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2013
【分類號(hào)】：TP273;TH703
【目錄】：

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5 鄭相周;王文進(jìn);盧生;熊潔;朱婷婷;忻尚軍;杜飛飛;萬偉;;基于Turbo PMAC2的全自動(dòng)平縫車數(shù)控技術(shù)研究[A];2010全國機(jī)械裝備先進(jìn)制造技術(shù)(廣州)高峰論壇論文匯編[C];2010年

6 張俊萍;吳玉厚;李頌華;張珂;;非圓輪廓形零件的高速高精密磨削研究[A];制造業(yè)與未來中國——2002年中國機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集[C];2002年

7 李麗娜;孫宏昌;戴怡;;基于PMAC的雕刻機(jī)開放式數(shù)控系統(tǒng)開發(fā)[A];第八屆全國設(shè)備與維修工程學(xué)術(shù)會(huì)議、第十三屆全國設(shè)備監(jiān)測(cè)與診斷學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2008年

8 孫希威;張飛虎;董申;張龍江;;KDP晶體加工專用超精密機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)開發(fā)[A];全國生產(chǎn)工程第九屆年會(huì)暨第四屆青年科技工作者學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（二）[C];2004年

9 朱俊華;孔建益;楊金堂;;基于PMAC運(yùn)動(dòng)控制器的五桿機(jī)構(gòu)的初步研究[A];2005年十二省區(qū)市機(jī)械工程學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集（湖北專集）[C];2005年

10 曹陽;李林;李卓;;紅外動(dòng)態(tài)圖像投影隨動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 王澤華 施洪文;[N];中國企業(yè)報(bào);2005年

2 本報(bào)記者 史芳;[N];中國經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報(bào);2005年

3 武漢 楊維中;[N];電子報(bào);2000年

4 程子;[N];政府采購信息報(bào);2005年

5 楊莉 胡善聯(lián);[N];醫(yī)藥經(jīng)濟(jì)報(bào);2003年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張珂;基于PMAC-PC下高速磨削實(shí)驗(yàn)及其關(guān)鍵技術(shù)研究[D];東北大學(xué);2007年

2 武傳宇;基于PC+DSP模式的開放式機(jī)器人控制系統(tǒng)及其應(yīng)用研究[D];浙江大學(xué);2002年

3 鄭魁敬;新型五自由度并聯(lián)機(jī)床機(jī)構(gòu)學(xué)分析與控制系統(tǒng)開發(fā)[D];燕山大學(xué);2004年

4 姜永成;空間曲面往復(fù)走絲線切割智能制造系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2008年

5 高東強(qiáng);基于層合速凝原理的陶瓷件快速制造設(shè)備及材料成型研究[D];陜西科技大學(xué);2012年

6 向紅標(biāo);開放式伺服系統(tǒng)的摩擦建模與補(bǔ)償研究[D];天津大學(xué);2010年

7 傅秀清;球形陰極數(shù)控電解加工關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京農(nóng)業(yè)大學(xué);2010年

8 胡旭東;基于網(wǎng)絡(luò)的異構(gòu)工業(yè)機(jī)器人集成技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2004年

9 趙富;低頻線振動(dòng)臺(tái)的重復(fù)控制研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

10 趙富;低頻線振動(dòng)臺(tái)的重復(fù)控制研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李志波;小麥—冰草易位系5112-4中抗白粉病基因PmAc的遺傳及定位[D];河北農(nóng)業(yè)大學(xué);2010年

2 張學(xué)成;基于PMAC運(yùn)動(dòng)控制器的開放式數(shù)控系統(tǒng)研究[D];中國人民解放軍國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2002年

3 龐文卓;基于PMAC的卷簧機(jī)數(shù)控系統(tǒng)[D];河南科技大學(xué);2011年

4 郭愛華;受控五桿機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)動(dòng)力學(xué)分析及控制系統(tǒng)研究[D];武漢科技大學(xué);2004年

5 王斌;基于PMAC的軋輥磨床數(shù)控系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D];蘭州理工大學(xué);2005年

6 唐小會(huì);基于PC的開放式數(shù)控系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D];電子科技大學(xué);2003年

7 劉華珍;基于PMAC的微細(xì)電火花成形加工數(shù)控系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)控制研究[D];上海交通大學(xué);2011年

8 羅華安;基于PMAC的滾筒式絲網(wǎng)印刷機(jī)數(shù)控系統(tǒng)研究[D];西安科技大學(xué);2005年

9 田相克;PMAC多軸運(yùn)動(dòng)控制器研究[D];蘭州理工大學(xué);2004年

10 呂元元;基于STEP-NC的開放式數(shù)控系統(tǒng)的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2005年

  本文關(guān)鍵詞：基于PMAC的直線驅(qū)動(dòng)氣浮精密定位平臺(tái)控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：222200