【摘要】：針對光學反射鏡在精磨向初拋光過渡階段時面形與理想面形存在較大偏差的問題,采用輪廓儀和普通干涉儀檢測無法滿足加工檢測需求的問題,提出采用動態(tài)范圍大且準確度高的條紋反射法來檢測光學反射鏡.研究分析了條紋反射檢測系統(tǒng)的原理及系統(tǒng)誤差,運用光線追跡軟件對條紋反射檢測100mm口徑反射鏡面形進行建模仿真,并對已經(jīng)加工完成的100mm口徑旋轉(zhuǎn)對稱球面反射鏡進行了檢測,測量得到的面形誤差峰谷值及均方根值分別為0.523μm和0.086μm,滿足該過渡階段的檢測需求.
[Abstract]:In view of the problem that there is a big deviation between the shape of the plane and the shape of the ideal surface in the transition stage of the optical mirror from grinding to initial polishing, it is difficult to use profilometer and common interferometer to meet the needs of processing inspection. In this paper, a high accuracy and wide dynamic range fringe reflection method is proposed to detect the optical reflector. The principle and system error of the fringe reflection detection system are studied and analyzed. The ray tracing software is used to model and simulate the fringe reflection detection of 100mm aperture reflection mirror. The surface error peak and valley value and root mean square value are 0.523 渭 m and 0.086 渭 m, respectively, which meet the needs of the transition phase.
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所中國科學院光學系統(tǒng)先進制造技術(shù)重點實驗室;中國科學院大學;
【基金】：國家自然科學基金項目(No.61036015)資助~~
【分類號】：TH74

【參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前5條

1 張金平;張學軍;張忠玉;鄭立功;;Shack-Hartmann波前傳感器檢測大口徑圓對稱非球面反射鏡[J];光學精密工程;2012年03期

2 劉元坤;蘇顯渝;吳慶陽;;基于條紋反射的類鏡面三維面形測量方法[J];光學學報;2006年11期

3 趙文川;范斌;伍凡;蘇顯渝;陳文靜;;基于PMD的反射鏡面檢測實驗分析[J];光學學報;2013年01期

4 王華榮;李彬;王志峰;朱會賓;;基于條紋反射術(shù)的槽式拋物面單元鏡面形測量[J];光學學報;2013年01期

5 張于北;唐佳;楊黨綱;;對某金屬件反光表面缺陷的反射條紋檢測[J];計測技術(shù);2013年S1期

【共引文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 劉元坤;蘇顯渝;張啟燦;;相位測量偏折術(shù)中基于亞像素相移的噪聲抑制算法[J];光學與光電技術(shù);2009年04期

2 姜宏志;趙慧潔;李旭東;李冬;;用于強反射表面形貌測量的投影柵相位法[J];光學精密工程;2010年09期

3 張鵬;張元;金光;鐘興;張雷;姚勁松;;應用條紋投影法測量薄膜反射鏡的成形[J];光學精密工程;2011年06期

4 譚凡教;喬彥峰;李耀彬;高慧斌;劉旨春;;光電經(jīng)緯儀主鏡面形變化的有限元分析[J];光學學報;2008年04期

5 唐燕;蘇顯渝;劉元坤;荊海龍;;基于條紋反射的非球面鏡三維面形測量[J];光學學報;2009年04期

6 肖永亮;蘇顯渝;陳文靜;;基于光束法平差的相位測量偏折術(shù)鏡面面形測量[J];光學學報;2011年12期

7 宋雷;岳慧敏;吳雨祥;劉永;劉永智;;條紋反射法測量鏡面手機外殼多尺度三維形貌[J];光電子.激光;2012年11期

8 魏f;范定寰;劉南生;魏義慶;艾孝譜;胡仙;;傅里葉變換輪廓術(shù)的小電流鎢極氬弧焊熔池表面高度測量[J];光電工程;2013年03期

9 朱碩;張曉輝;;Ritchey角精度對平面鏡檢測的影響的分析與驗證[J];光學學報;2013年06期

10 朱碩;張曉輝;;高精度瑞奇-康芒檢測法研究及測試距離精度影響分析[J];光學學報;2014年01期

相關(guān)博士學位論文 前5條

1 張鵬;空間薄膜反射鏡成形控制及實驗研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

2 張金平;夏克—哈特曼波前傳感器檢測大口徑非球面應用研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

3 李彬;北京市低碳能源綜合評價模型與2030年能源戰(zhàn)略研究[D];北京工業(yè)大學;2014年

4 李艷杰;空間光學成像與激光數(shù)傳共口徑技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院(長春光學精密機械與物理研究所);2015年

5 肖君;太陽能熱發(fā)電曲面反光鏡面形檢測技術(shù)研究[D];中國科學院研究生院(長春光學精密機械與物理研究所);2015年

相關(guān)碩士學位論文 前9條

1 林浩亮;強背景光的高頻目標物頻譜分析及信息提取研究[D];南昌大學;2007年

2 謝佩;基于正交條紋反射的膜基反射鏡三維面形測量[D];蘇州大學;2012年

3 宋雷;基于條紋投影和條紋反射的三維形貌測量[D];電子科技大學;2012年

4 盧文川;SHWS檢測大口徑離軸非球面的應用研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

5 季莉栓;基于相位偏折的高反射物體三維測量中相位展開技術(shù)研究[D];天津大學;2012年

6 洪磊;激光光斑圖像空間多尺度特性分析[D];長春理工大學;2013年

7 王旭穎;強反射表面編碼光測量的高光修復與抑制方法研究[D];哈爾濱理工大學;2013年

8 黃瑛;基于夏克—哈特曼波前傳感的膜基反射鏡面形檢測[D];蘇州大學;2014年

9 段錚昱;精密注塑制件表面缺陷圖像檢測算法研究與系統(tǒng)設(shè)計[D];華南理工大學;2015年

【二級參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 羅智慧;龍新峰;;槽式太陽能熱發(fā)電技術(shù)研究現(xiàn)狀與發(fā)展[J];電力設(shè)備;2006年11期

2 荊海龍;蘇顯渝;劉元坤;伍凡;;基于條紋反射的鏡面測量及三維重建算法分析[J];光電工程;2008年10期

3 劉元坤;蘇顯渝;姜美花;李澤仁;;基于相移和非相干成像的反射鏡面形測量方法[J];光電子·激光;2006年04期

4 曹正林;廖文和;沈建新;;Zernike多項式擬合人眼波前像差的一種新算法[J];光學精密工程;2006年02期

5 李華強;宋賀倫;饒長輝;饒學軍;;增大夏克-哈特曼波前傳感器動態(tài)測量范圍的方法[J];光學精密工程;2008年07期

6 夏明亮;李抄;劉肇南;李大禹;胡立發(fā);宣麗;;Shack-Hartmann波前傳感器圖像自適應閾值的選取[J];光學精密工程;2010年02期

7 程少園;曹召良;胡立發(fā);穆全全;李鵬飛;宣麗;;用夏克-哈特曼探測器測量人眼波前像差[J];光學精密工程;2010年05期

8 唐健冠,伍凡,吳時彬;大口徑非球面精磨表面形狀檢測技術(shù)研究[J];光學技術(shù);2001年06期

9 劉春陽;朱秋東;;自基準哈特曼波前測量裝置的研制[J];光學技術(shù);2008年01期

10 李萬松,蘇禮坤,蘇顯渝;相位檢測面形術(shù)在大尺度三維面形測量中的應用[J];光學學報;2000年06期

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 朱建堂;609激光全息和其他光學檢測術(shù)在航空、航天工業(yè)中的應用[J];激光雜志;1995年05期

2 趙旭輝,曲興華,葉聲華,何瀅,宋麗梅;ME MS的光學檢測方法和儀器[J];光學技術(shù);2003年02期

3 楊杰;趙曉芳;;安全玻璃缺陷光學檢測系統(tǒng)中的電路設(shè)計[J];科技視界;2012年22期

4 趙勇;李波睿;莫方政;牛曉偉;涂敏;;高精度光學糖濃度測量技術(shù)研究[J];清華大學學報(自然科學版);2006年04期

5 肖堯;劉鴻飛;;利用CCD構(gòu)建LED分揀機光學檢測系統(tǒng)[J];機械工程與自動化;2006年04期

6 金畢青;賈德民;;氧濃度光學檢測方法及其新應用[J];現(xiàn)代儀器;2008年06期

7 周圍;張思祥;冉多鋼;張英;;基于LabVIEW的血液凝結(jié)光學檢測系統(tǒng)的研制[J];分析儀器;2007年02期

8 曾旭輝;;牙髓功能的光學檢測法[J];國外醫(yī)學.生物醫(yī)學工程分冊;1991年06期

9 何煒;耐火材料爐襯的激光—光學檢測系統(tǒng)[J];上海金屬;1994年02期

10 于水利,尚慶海,李圭白,宋波;懸濁顆粒光學檢測裝置的研制[J];哈爾濱建筑大學學報;2001年02期

相關(guān)會議論文 前4條

1 朱亞平;王紅葉;;淺論血球計數(shù)儀近期的發(fā)展[A];首屆全國醫(yī)療器械學術(shù)與產(chǎn)業(yè)論壇論文集[C];2002年

2 王孟;顧寧;;細胞光學散射特性的FDTD模擬[A];第六屆全國光生物學學術(shù)研討會論文集[C];2004年

3 潘君驊;;談?wù)劰鈱W檢測的指導思想[A];第十屆全國光學測試學術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2004年

4 ;安捷倫Cary7000在光學檢測中的應用[A];“廣東省光學學會2013年學術(shù)交流大會”暨“粵港臺光學界產(chǎn)學研合作交流大會”會議手冊論文集[C];2013年

相關(guān)博士學位論文 前2條

1 常敏;牛奶質(zhì)量光學檢測的作用機理及影響因素研究[D];天津大學;2007年

2 李威;基于化學計量學的危險有害物質(zhì)光學檢測技術(shù)的研究[D];中國科學技術(shù)大學;2012年

相關(guān)碩士學位論文 前2條

1 徐輝;天津三星LED產(chǎn)品外觀的光學檢測系統(tǒng)的性能改善[D];天津大學;2012年

2 史增輝;鋼軌表面擦傷光學檢測方法的研究[D];北京交通大學;2009年

，

本文編號：2199635