本文關(guān)鍵詞：壓阻式壓力傳感器溫度補償方法實現(xiàn)的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《天津大學》 2010年

壓阻式壓力傳感器溫度補償方法實現(xiàn)的研究

劉鵬  

【摘要】：壓阻式壓力傳感器具有精度高,靈敏度高,穩(wěn)定性好、頻率響應范圍寬、易于小型化,便于批量生產(chǎn)與使用方便等特點,是一種發(fā)展迅速,應用廣泛的新型傳感器。但是由于半導體的溫度特性,壓阻式壓力傳感器會發(fā)生溫度漂移,在相當程度上限制了壓阻式壓力傳感器的應用。 論文針對壓阻式壓力傳感器在測量當中易發(fā)生溫度漂移的缺點,研制了一種智能化的壓阻式傳感器溫度補償系統(tǒng)。該方法利用現(xiàn)代信號調(diào)理技術(shù),以溫度調(diào)理芯片為核心元件,采用計算機通過三次樣條插值法對采集的溫度補償參數(shù)進行擬合,從而實現(xiàn)了對壓阻式壓力傳感器溫度漂移的高精度補償。而且由于引入了 高性能的單片機控制模塊,使得此系統(tǒng)一次性可對多個壓阻式壓力傳感器進行溫度補償。論文的主要工作如下: 1.對壓阻式壓力傳感器產(chǎn)生溫度漂移原理進行了分析,深入分析了國內(nèi)外對擴散硅壓力傳感器溫度補償?shù)姆椒?總結(jié)利弊,確定了以數(shù)字化的溫度調(diào)理芯片為主體的補償方案。 2.深入研究了MAX1452溫度調(diào)理芯片的補償原理,制定了系統(tǒng)的設(shè)計方案,完成傳感器補償原理的推導論證工作。 3.根據(jù)總體設(shè)計要求劃分溫度補償系統(tǒng)的各個功能模塊,并確定各個模塊的具體實現(xiàn)方案,以及繪制硬件電路板。 4.針對MAX1452的補償原理進行軟件開發(fā),設(shè)計傳感器溫度漂移的補償流程。通過VC+ACCESS數(shù)據(jù)庫的方式實現(xiàn)了高效的用戶界面,并采用三次樣條曲線對補償參數(shù)進行擬合。 5.針對單片機控制模塊,在MPLAB8.30開發(fā)環(huán)境下,完成程序的開發(fā),實現(xiàn)了對多路傳感器補償模塊的控制。 6.利用此補償系統(tǒng)對傳感器進行補償并對其溫度漂移測試,實驗表明,補償后的傳感器非線性誤差小于0.8%F.S,輸出信號的溫度漂移比補償之前降低了一個數(shù)量級。

【關(guān)鍵詞】：
【學位授予單位】：天津大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2010
【分類號】：TH812
【目錄】：

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