本文關(guān)鍵詞：MIMU標(biāo)定及誤差補(bǔ)償技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

Ph．M．Dissertation 1h ● l●1 J● 1 KeSearCn0nCallDratlonannerror ofMIMU technology compensation H伍nxu by uXinHua SupervisedPr吐Zh LecturerYu Wang of NanjingUniversity January,2014 聲 明 本學(xué)位論文是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下取得的研究成果，盡我所知，，在本學(xué) 位論文中，除了加以標(biāo)注和致謝的部分外，不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或公布 過的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過的 材料。與我一同工作的同事對(duì)本學(xué)位論文做出的貢獻(xiàn)均己在論文中作了明 確的說明。 研究生簽名：牛 冽妒年3月彤日 學(xué)位論文使用授權(quán)聲明 南京理工大學(xué)有權(quán)保存本學(xué)位論文的電子和紙質(zhì)文檔，可以借閱或上 網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部?jī)?nèi)容，可以向有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交并授權(quán) 其保存、借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部?jī)?nèi)容。對(duì)于保密論文， 按保密的有關(guān)規(guī)定和程序處理。 研究生簽名：?jiǎn)?汐f壚年鄉(xiāng)月壚日 碩士學(xué)位論文 MIMU標(biāo)定及誤差補(bǔ)償技術(shù)研究 摘 要 微機(jī)械慣性器件 硅微機(jī)械陀螺儀和硅微電容加速度計(jì) 具有體積小、成本低、集成 度高、抗過載能力強(qiáng)等特點(diǎn)，在導(dǎo)航制導(dǎo)、智能彈藥領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。在現(xiàn)有 MEMS慣性器件及MIMU基礎(chǔ)上進(jìn)行誤差建模及標(biāo)定補(bǔ)償技術(shù)研究，是提高其精度行 之有效的方法之一。 首先，針對(duì)硅微機(jī)械陀螺儀和硅微電容加速度計(jì)，闡述其溫度誤差和隨機(jī)誤差的產(chǎn) 生機(jī)理，以測(cè)試方法為依據(jù)，對(duì)國(guó)內(nèi)研制的慣性器件，開展了溫度誤差和隨機(jī)誤差的相 關(guān)測(cè)試和試驗(yàn)，為后續(xù)誤差建模與補(bǔ)償研究奠定理論基礎(chǔ)和數(shù)據(jù)支撐。 接著，對(duì)MEMS慣性器件溫度漂移和滯回現(xiàn)象進(jìn)行了分析，并在慣性器件溫度試 驗(yàn)過程中運(yùn)用相應(yīng)的測(cè)試方法減小溫度滯回對(duì)傳感器

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