本文關(guān)鍵詞：硅微電容式、隧道式加速度計(jì)檢測技術(shù)研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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圖書分類號UDC3’密級韭窒碩士學(xué)位論文硅微電容式、隧道式加速度計(jì)檢測技術(shù)研究王玲指導(dǎo)教師(姓名、職稱).型焦塾攫申請學(xué)位級別王主亟±專業(yè)名稱疆蜜堡噩廈塑煎論文提交日期一!旦!!年璺月!!日論文答辯El期2111年一生月一21日學(xué)位授予El期——年——月——日論文評閱人答辯委員會主席2007年4月23日中北大學(xué)學(xué)位論文硅微電容式、隧道式加速度計(jì)檢測技術(shù)研究摘要隨著硅微加工技術(shù)的不斷成熟,硅微加速度計(jì)已經(jīng)在傳感器市場占據(jù)著越來越重要的地位。傳感器技術(shù)的發(fā)展也對其外圍檢測電路提出了越來越高的要求,對硅微傳感器敏感元件輸出的微弱信號的檢測是目前研究的熱點(diǎn)之一。微小型化的傳感器敏感元件必然也要求微小型化的外圍電路與之相匹配,電路的集成化是必然的趨勢a本文對硅微加速度計(jì)研究中的熱點(diǎn)——電容式加速度計(jì)和隧道式加速度計(jì)的微弱信號檢測電路進(jìn)行了設(shè)計(jì)、測試及標(biāo)定,并對電容式加速度計(jì)及所設(shè)計(jì)的檢測電路進(jìn)行了厚膜混合集成。在了解梳齒式電容加速度計(jì)檢測原理的基礎(chǔ)上,完成了其差分檢測電路的設(shè)計(jì),為保證其線性度和提高量程,采用了閉環(huán)反饋控制電路。測試了所設(shè)計(jì)電路的分辨率,己達(dá)10。6F。與電容式加速度計(jì)進(jìn)行了聯(lián)調(diào),并進(jìn)行了傳感器的靜態(tài)及動態(tài)測試,各項(xiàng)測試均... 內(nèi)容來自轉(zhuǎn)載請標(biāo)明出處.

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