本文關(guān)鍵詞：應(yīng)變測微儀開發(fā)及測量系統(tǒng)設(shè)計，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

應(yīng)變測微儀開發(fā)及測量系統(tǒng)設(shè)計 重慶大學碩士學位論文 （專業(yè)學位） 學生姓名：徐正昭 指導(dǎo)教師：唐一科 教 授 兼職導(dǎo)師：駱 力 高 工 學位類別：工程碩士（機械工程領(lǐng)域） 重慶大學機械工程學院 O 二 一四年五月 The Design of Strain Micrometer Sensor’s Measurement System A Thesis Submitted to Chongqing University in Partial Fulfillment of the Requirement for the Professional Degree By Xu Zhengzhao Supervised by Prof. Tang Yike Pluralistic Supervised by Sen.Eng. Luo Li Specialty: ME Mechanical Engineering Filed College of Mechanical Engineering of Chongqing University, Chongqing, China May, 2014 中文摘要 摘 要 隨著科技的發(fā)展在制造加工行業(yè)中，對產(chǎn)品的精度和質(zhì)量要求越來越高，因 此對精密檢測儀器的要求不斷提高。目前用于小位移精密測量的儀器主要有電感 測微儀、千分表、扭簧表、氣動量儀、容柵表、光柵測微儀、電容測微儀等進行 比較測量。電感比較儀精度很高能達到十分之一微米級，但是價格昂貴，難以得 到推廣；千分表和扭簧表是目前市場上用得最為廣泛的一種微型測量儀，，經(jīng)過多 年的發(fā)展，它們性能穩(wěn)定，價格低廉，但是精度都在十個微米以上，并且不能實 現(xiàn)數(shù)字化；氣動量儀、容柵表，氣動測量和電容測微儀是新發(fā)展起來的一些小位 移測量儀器，在計算機接口電路中的精度低，且電容測微儀的測量范圍小。

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