本文選題：柔性鉸鏈 + 壓電陶瓷驅(qū)動器�。� 參考：《機械設(shè)計與研究》2016年04期

【摘要】：根據(jù)橋式放大機構(gòu)和平行四邊形導(dǎo)向機構(gòu)相結(jié)合設(shè)計了一種新型的垂直運動精密微定位平臺。利用卡式定理推導(dǎo)了微定位平臺的最大行程、剛度及放大比,利用拉格朗日方程推導(dǎo)了微定位平臺的動力學(xué)模型及其固有頻率。采用有限元仿真軟件分析微定位平臺的動靜力學(xué)特性,并與理論分析結(jié)果進(jìn)行對比,兩者結(jié)果吻合良好。制造了微定位平臺的原型樣機,并進(jìn)行了實驗驗證,實驗結(jié)果表明:垂直運動精密微定位平臺的行程可達(dá)112.9μm,閉環(huán)分辨率為10 nm,可以用于顯微鏡聚焦系統(tǒng)的微調(diào)等垂直定位精度較高的場合。
[Abstract]:According to the bridge magnification mechanism and the parallelogram guiding mechanism, a new vertical motion precision micro positioning platform is designed. The maximum stroke, stiffness and magnification ratio of the micro-positioning platform are derived by using the card theorem, and the dynamic model and the natural frequency of the micro-positioning platform are derived by using Lagrange equation. The finite element simulation software is used to analyze the dynamic and dynamic characteristics of the micro-positioning platform, and the results are compared with the theoretical results. The results are in good agreement with each other. The prototype of the micro-positioning platform is manufactured and verified by experiments. The experimental results show that the precision micro-positioning platform with vertical motion can travel up to 112.9 渭 m, with a closed-loop resolution of 10 nm, and can be used in situations with high vertical positioning accuracy, such as fine tuning of the focusing system of a microscope.
【作者單位】： 上海交通大學(xué)機械與動力工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51135009)
【分類號】：TH703

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本文編號：2082387