本文選題：測量 + 光學(xué)檢測��； 參考：《中國激光》2015年12期

【摘要】：由于非共光路誤差是菲索干涉儀進(jìn)行高精度檢測中最重要的誤差因素之一,而非共光路誤差是由于非理想的光學(xué)系統(tǒng)即干涉儀的出射波前不理想造成的,所以為了測量干涉儀的出射波前來評(píng)估干涉儀非共光路誤差的大小,提出一種利用干涉儀貓眼位置絕對(duì)測量干涉儀出射波前的方法。該方法基于干涉儀自身的面形測量功能,操作非常簡單,只需要一塊反射鏡就能夠?qū)崿F(xiàn)干涉儀出射波前的測量。該方法通過至少三個(gè)貓眼位置的測量得到干涉儀出射波前的自身剪切數(shù)據(jù),然后通過基于旋轉(zhuǎn)平移的絕對(duì)檢測算法直接得到干涉儀的出射波前的二維波前數(shù)據(jù)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該方面能夠?qū)崿F(xiàn)不包括Power在內(nèi)均方根(RMS)值約為15 nm的測量精度。該方法能夠準(zhǔn)確測量干涉儀出射波前,從而評(píng)估干涉儀非共光路誤差。
[Abstract]:Because the non-common optical path error is one of the most important error factors in the high-precision detection of Fizo interferometer, and the non-common optical path error is caused by the non-ideal optical system, I. E. the non-ideal wavefront of the interferometer. So in order to measure the output wave of interferometer to evaluate the error of non-common optical path of interferometer, a method of absolute measurement of interferometer output wavefront by using the position of cat's eye of interferometer is proposed. The method is based on the surface shape measurement function of the interferometer itself, and the operation is very simple. Only one mirror is needed to measure the wavefront of the interferometer. In this method, at least three cat's eye positions are measured to obtain the self-shear data of the interferometer's outgoing wavefront, and then the two-dimensional wavefront data of the interferometer's outgoing wavefront are directly obtained by the absolute detection algorithm based on rotation translation. The experimental results show that the RMS value of RMS, which does not include Power, can be achieved with an accuracy of about 15 nm. This method can accurately measure the wavefront of interferometer and evaluate the non-common optical path error of interferometer.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密工程研究中心;
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)(2009ZX02205)
【分類號(hào)】：TH744.3

【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2049283