本文選題：測量 + 干涉測量�。� 參考：《光學學報》2016年11期

【摘要】：計算全息元件(CGH)可實現光學非球面的零位干涉高精度檢測,但深度非球面的非球面度以及非球面度梯度均較大,使檢測所需CGH的局部空間頻率偏大,加工困難。提出一種用組合CGH檢測深度非球面的方法,該方法通過組合兩個低空間頻率CGH,實現深度非球面檢測時所需的單個高空間頻率CGH的功能。由一維線性光柵模型推導組合CGH與傳統單個CGH空間頻率的關系,并由此給出組合CGH初始相位,逐步優(yōu)化可求得最佳相位。以最大非球面度193.434μm、最大非球面度梯度75.788μm/mm的深度非球面為測試樣例,設計了單個CGH和組合CGH,殘留波前誤差均小于λ/250,組合CGH最大空間頻率約為單個CGH的50%。設計了輔助裝調CGH減小裝調誤差的影響,并分析了組合CGH之間俯仰傾斜偏差、中心偏差以及軸向定位偏差對檢測精度的影響。
[Abstract]:CGH) can be used to detect the optical aspherical surface with high precision, but the asphericity and the asphericity gradient of the deep aspherical surface are large, which makes the local space frequency of CGH larger and the processing difficult. A method of detecting deep aspherical surface with combined CGH is proposed. By combining two low spatial frequency CGH, the function of single high spatial frequency CGH is realized when detecting deep aspheric surface. Based on the one-dimensional linear grating model, the relationship between the combined CGH and the traditional single CGH spatial frequency is derived, and the initial phase of the combined CGH is given, and the optimum phase can be obtained by step optimization. Taking the deep aspherical surface with the maximum asphericity of 193.434 渭 m and the maximum aspherical gradient of 75.788 渭 m/mm as an example, a single CGH and a combined CGH are designed. The residual wavefront errors are less than 位 / 250, and the maximum spatial frequency of the combined CGH is about 50 times of that of a single CGH. The influence of auxiliary assembly CGH to reduce the installation error is designed, and the influence of pitch tilt deviation, center deviation and axial positioning deviation between composite CGH on the detection accuracy is analyzed.
【作者單位】： 南京理工大學電子工程與光電技術學院;
【基金】：國家自然科學基金(61377015,61505080) 江蘇省自然科學基金(BK20150788)
【分類號】：TH74;O436.1

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本文編號：2007445