本文選題：原子力顯微鏡 + 輕敲模式　； 參考：《實驗室研究與探索》2014年07期

【摘要】：基于針尖和樣品之間的各種相互作用力,原子力顯微鏡(AFM)可用于樣品表面形貌、摩擦力等各種物理特性的研究,它是納米科技研究中一個重要工具。影響AFM測量圖像質(zhì)量的因素很多,如振幅參數(shù)、積分增益I、比例增益P、衰減增益和掃描速度等,而探針同樣是提高樣品表面形貌像成像質(zhì)量的關(guān)鍵。通過采用控制變量法,并以均方根粗糙度Rq作為評判標(biāo)準(zhǔn),用不同參數(shù)的探針測量同一樣品。實驗結(jié)果表明,探針的共振頻率f、彈性系數(shù)k、曲率半徑Rh等對測量樣品粗糙度均有較大影響,可選擇合適的探針,提高成像質(zhì)量。同時,針對儀器使用中出現(xiàn)的一些常見現(xiàn)象及故障,作出了解釋和解答。
[Abstract]:Based on the interaction between the tip and the sample, AFM (Atomic Force microscope) can be used to study the surface morphology, friction and other physical properties of the sample, which is an important tool in the research of nanotechnology. There are many factors that affect the image quality of AFM, such as amplitude parameter, integral gain I, proportional gain P, attenuation gain and scanning speed, etc. The probe is also the key to improve the imaging quality of surface topography image. By using the control variable method and RQ as the criterion, the same sample was measured with the probe of different parameters. The experimental results show that the resonance frequency f, elastic coefficient k and curvature radius Rh of the probe have great influence on the measurement of the roughness of the sample. The appropriate probe can be selected to improve the imaging quality. At the same time, some common phenomena and faults in the use of the instrument are explained and solved.
【作者單位】： 暨南大學(xué)物理系思源實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金項目(61106093);國家自然科學(xué)基金面上項目(51072236)
【分類號】：TH742.9

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本文編號：1972130