本文選題：電化學(xué)加速度傳感器 + ACCA四電極陣列��； 參考：《傳感器與微系統(tǒng)》2014年01期

【摘要】：基于溶液相對于電極的運動會使電極附近因電勢差作用而產(chǎn)生的離子濃度梯度發(fā)生改變,從而使電極電流發(fā)生變化等電化學(xué)原理,建立一種置于碘(I2)和碘化鉀(KI)混合水溶液環(huán)境中的陽極—陰極—陰極—陽極(ACCA)四電極陣列傳感單元模型。通過理論分析,該傳感單元可以局部電解液為慣性質(zhì)量,利用電解液中帶電離子相對于電極的運動來產(chǎn)生并輸出附加電流;進(jìn)一步的建模仿真證明:在一定的加速度范圍內(nèi)(0a x0.149 m/s2),附加電流的大小同加速度呈正比關(guān)系,故可以將此電流放大輸出,從而實現(xiàn)對加速度大小的表征。可利用MEMS工藝制作,并封裝此傳感單元成為加速度傳感器。
[Abstract]:Based on the motion of the solution relative to the electrode, the ion concentration gradient near the electrode caused by the potential difference is changed, and the electrode current changes, such as the electrochemical principle of the electrode current, and an anode cathode cathode anode anode (ACCA) four electrode array is set up in the mixed solution environment of iodine (I2) and potassium iodide (KI). By theoretical analysis, the sensor unit can be an inertial mass in a local electrolyte and use the motion of the charged ion in the electrolyte to produce and output an additional current. Further modeling and simulation prove that the magnitude of the additional current is proportional to the acceleration in a certain range of acceleration (0A x0.149 m/s2). The output of the current is amplified and the magnitude of acceleration is represented. It can be fabricated by MEMS technology and encapsulated as a acceleration sensor.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(41074129) 國家“863”計劃資助項目(2012AA061102)
【分類號】：TH824.4

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本文編號：1922966