本文選題：高階諧振 + 輕敲模式�。� 參考：《低溫與超導(dǎo)》2014年05期

【摘要】：動(dòng)態(tài)原子力顯微鏡微懸臂為無(wú)限自由度系統(tǒng),具有多個(gè)諧振模態(tài)的振動(dòng)特性。微懸臂的工作振動(dòng)頻率是影響動(dòng)態(tài)原子力顯微鏡系統(tǒng)的測(cè)量特性的關(guān)鍵參數(shù)之一,為了提高微懸臂的諧振頻率,結(jié)合懸臂的高階諧振特性,研制了基于高階諧振懸臂的輕敲式動(dòng)態(tài)原子力顯微鏡,可實(shí)現(xiàn)對(duì)微觀表面的測(cè)量,并且明顯改善了動(dòng)態(tài)原子力顯微鏡系統(tǒng)的測(cè)量靈敏度、測(cè)量速度等測(cè)量特性。
[Abstract]:The dynamic atomic force microscope (DAFM) microcantilever is an infinite degree of freedom system with multiple resonant modes. The working vibration frequency of the micro cantilever is one of the key parameters affecting the measurement characteristics of the dynamic atomic force microscope system. In order to improve the resonant frequency of the micro cantilever, the high order resonance characteristic of the cantilever is combined. A light knock dynamic atomic force microscope based on high-order resonant cantilever is developed, which can realize the measurement of micro surface, and obviously improve the measuring sensitivity and measuring speed of dynamic atomic force microscope system.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;安徽建筑大學(xué)電子與信息工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(50975075)資助
【分類號(hào)】：TH742

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 黃強(qiáng)先;王祥;;基于DDS的輕敲式原子力顯微鏡探針驅(qū)動(dòng)方法研究[J];工具技術(shù);2010年05期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 鄭宇;王月明;吳芳;毛杰;;底部框架—抗震墻結(jié)構(gòu)在平穩(wěn)隨機(jī)干擾下的響應(yīng)[J];四川建筑科學(xué)研究;2008年01期

2 郝婷s，

本文編號(hào)：1914172