發(fā)布時(shí)間：2018-05-19 23:20

  本文選題：光學(xué)檢測(cè) + 子孔徑拼接　； 參考：《紅外與激光工程》2014年04期

【摘要】：基于最小二乘擬合的傳統(tǒng)干涉子孔徑拼接方法實(shí)現(xiàn)了小口徑干涉儀對(duì)大口徑光學(xué)元件的檢測(cè),然而在子孔徑測(cè)試過程中,由于干涉儀上的參考面存在面形誤差,將使獲得的各子孔徑的面形數(shù)據(jù)偏離真實(shí)值,所以在進(jìn)行高精度面形測(cè)量時(shí),獲得參考面的面形誤差并將其補(bǔ)償?shù)羰欠浅１匾摹Ｒ虼?提出了一種在拼接過程中用Zernike項(xiàng)對(duì)子孔徑間重疊區(qū)域數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合的方法來求得參考面面形。首先在傳統(tǒng)的目標(biāo)函數(shù)上加入一系列Zernike項(xiàng)表征待求參考面,然后按照最小二乘法對(duì)函數(shù)進(jìn)行求解得到各項(xiàng)系數(shù),從而得到擬合的參考面。對(duì)平面和球面分別進(jìn)行了子孔徑拼接實(shí)驗(yàn),擬合得到的參考面面形與QED拼接干涉儀計(jì)算得到的參考面面形的PV值偏差小于5nm,RMS值偏差小于0.2nm,拼接后的重疊區(qū)域不匹配誤差值小于10nm。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在子孔徑拼接過程中可以補(bǔ)償參考面誤差而得到更真實(shí)的拼接面形。
[Abstract]:This paper presents a method of fitting a small aperture interferometer to the large aperture optical element based on the least square fitting method . However , in the process of sub - aperture test , the surface shape data of each sub - aperture obtained is deviated from the true value .
【作者單位】： 浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61007001)
【分類號(hào)】：TH741

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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7 鄭婉U，

本文編號(hào)：1912145