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  本文關(guān)鍵詞：雙頻激光干涉儀非線性誤差測(cè)量技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《哈爾濱工業(yè)大學(xué)》 2012年

雙頻激光干涉儀非線性誤差測(cè)量技術(shù)研究

孫志猛  

【摘要】：雙頻激光干涉測(cè)量技術(shù)由于非接觸、精度高、可溯源等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于量規(guī)檢定、車床校準(zhǔn)以及納米傳感器標(biāo)定等超精密測(cè)量領(lǐng)域，但由于外差干涉測(cè)量系統(tǒng)自身固有的光學(xué)非線性誤差，其測(cè)量分辨力和精度的進(jìn)一步提高受到嚴(yán)重制約。光學(xué)非線性誤差的檢測(cè)技術(shù)是光學(xué)非線性誤差補(bǔ)償或消除的關(guān)鍵前提，對(duì)于實(shí)現(xiàn)納米量級(jí)的測(cè)量精度具有重要實(shí)際應(yīng)用意義，也是當(dāng)前雙頻激光干涉測(cè)量技術(shù)研究的熱點(diǎn)和難點(diǎn)之一。 本文深入分析了國(guó)內(nèi)外雙頻激光干涉儀光學(xué)非線性誤差檢測(cè)技術(shù)的研究現(xiàn)狀，闡述了現(xiàn)有研究方法的測(cè)量原理和技術(shù)特點(diǎn)，總結(jié)了其存在的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)，并針對(duì)現(xiàn)有方法存在的測(cè)量裝置龐大、成本過高、只能進(jìn)行靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)的不足，研究了一種基于雙光電探測(cè)和IQ解調(diào)相位檢測(cè)的光學(xué)非線性誤差測(cè)量方法，并建立了相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量平臺(tái)，進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。本課題主要完成的工作如下： 闡述了外差激光干涉測(cè)量中光學(xué)非線性誤差的數(shù)學(xué)模型[26]及其計(jì)算公式，該模型從雙頻激光干涉儀測(cè)量光路和參考光路中的光學(xué)頻率混疊現(xiàn)象出發(fā)，推導(dǎo)了光學(xué)頻率混疊情形下雙頻激光干涉儀測(cè)量信號(hào)與頻率混疊參數(shù)的函數(shù)關(guān)系，并與標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)相比較，進(jìn)一步導(dǎo)出了光學(xué)非線性誤差的計(jì)算公式，揭示了光學(xué)非線性誤差的變化規(guī)律，為本文光學(xué)非線性誤差實(shí)時(shí)檢測(cè)方法的提出奠定了理論基礎(chǔ)； 研究了基于雙光電探測(cè)技術(shù)的外差干涉光學(xué)非線性誤差實(shí)時(shí)檢測(cè)的原理模型[19-22]，該模型利用偏振分光鏡將雙頻激光干涉儀的輸出光信號(hào)分離成兩部分，并采用兩個(gè)對(duì)稱的光電探測(cè)器分別進(jìn)行信號(hào)檢測(cè)而獲得兩路同頻率的測(cè)量信號(hào)，根據(jù)本文建立的光學(xué)非線性誤差模型和公式對(duì)兩路測(cè)量信號(hào)進(jìn)行分析，其非線性相位大小相等且符號(hào)相反，則可通過對(duì)二者相位求差而獲得測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)非線性誤差，從而建立了基于雙光電探測(cè)的外差干涉光學(xué)非線性誤差實(shí)時(shí)檢測(cè)原理模型，據(jù)此本文還構(gòu)建了光學(xué)非線性誤差實(shí)時(shí)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的光學(xué)系統(tǒng)； 研究了基于IQ解調(diào)測(cè)相原理的光學(xué)非線性誤差實(shí)時(shí)檢測(cè)數(shù)據(jù)處理技術(shù)，該技術(shù)將兩個(gè)光電探測(cè)器的輸出信號(hào)分別輸入IQ調(diào)制電路，將每一路測(cè)量信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)閮陕氛坏牡皖l正弦信號(hào)，并由高速AD采集電路對(duì)正交信號(hào)進(jìn)行采樣，進(jìn)而通過反正切運(yùn)算而分別獲得兩路測(cè)量信號(hào)與IQ調(diào)制電路本振信號(hào)的相位差值，二者之差即為兩測(cè)量信號(hào)的相位差，亦即外差干涉測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)非線性相位誤差，根據(jù)該技術(shù)本文研制了光學(xué)非線性誤差實(shí)時(shí)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的電學(xué)系統(tǒng)及上位機(jī)用戶軟件程序； 在上述理論分析和技術(shù)研究的基礎(chǔ)上，本文設(shè)計(jì)和研制了外差激光干涉測(cè)量光學(xué)非線性誤差檢測(cè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，，并進(jìn)行了試驗(yàn)測(cè)試和驗(yàn)證。試驗(yàn)表明，相位檢測(cè)單元的相位差測(cè)量不確定度為0.07°，非線性誤差測(cè)量不確定度為0.15°。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2012
【分類號(hào)】：TH744.3;TP274
【目錄】：

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 孫志猛;雙頻激光干涉儀非線性誤差測(cè)量技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

2 楊偉平;五軸數(shù)控加工中非線性誤差研究及控制[D];江蘇大學(xué);2010年

3 李蕾;電阻式變送器非線性誤差的補(bǔ)償[D];西安理工大學(xué);2008年

4 吳大中;五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控加工非線性誤差控制及后置處理[D];上海交通大學(xué);2007年

5 朱黎文;精密電位計(jì)線性度自動(dòng)修刻臺(tái)的研制[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2006年

6 趙薇;多過程數(shù)控系統(tǒng)解釋器及RTCP功能的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（沈陽計(jì)算技術(shù)研究所）;2008年

7 魯娟娟;神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)在開關(guān)磁阻電機(jī)智能測(cè)試分析系統(tǒng)中的應(yīng)用[D];河海大學(xué);2006年

8 李剛;復(fù)雜曲面數(shù)控加工仿真及誤差分析[D];沈陽工業(yè)大學(xué);2008年

9 孟獻(xiàn)軍;五軸數(shù)控加工技術(shù)研究與應(yīng)用[D];天津大學(xué);2008年

10 孫巧妍;海產(chǎn)品定量稱量的方法研究[D];遼寧工程技術(shù)大學(xué);2008年

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本文編號(hào)：188416