本文關(guān)鍵詞：基于氣體潤滑靜壓工作臺(tái)的若干關(guān)鍵技術(shù)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

天津大學(xué) 碩士學(xué)位論文 基于氣體潤滑靜壓工作臺(tái)的若干關(guān)鍵技術(shù) 姓名：王占彬 申請學(xué)位級別：碩士 專業(yè)：機(jī)械制造及其自動(dòng)化 指導(dǎo)教師：林彬 座機(jī)電話號碼 中文摘要 超精密微位移工作臺(tái)系統(tǒng)在現(xiàn)代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為 重要的地位。高精度和高分辨率的精密微位移工作臺(tái)系統(tǒng)的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國 高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。本實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)針對工作臺(tái)在先進(jìn)結(jié)構(gòu)材料、多孔質(zhì) 氣體潤滑技術(shù)以及直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)方面進(jìn)行了較為深入的研究，為研制 出性能均衡，適合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用的大行程超精密工作臺(tái)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。本次課 題的研究目的是實(shí)現(xiàn)空氣靜壓工作臺(tái)關(guān)鍵技術(shù)的實(shí)用化。通過對工作臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 方面的調(diào)研和論證，對氣體靜壓支承的數(shù)值計(jì)算分析、對導(dǎo)軌的精度設(shè)計(jì)進(jìn)行的 討論，旨在為掌握空氣靜壓工作臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)，具備研制工作臺(tái)的能力做些前期 的準(zhǔn)備工作。 本文的研究重點(diǎn)放在空氣靜壓工作臺(tái)的實(shí)用化設(shè)計(jì)方面，并為掌握其加工生 產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)做了許多認(rèn)證，為今后早日實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)批量生產(chǎn)做了大量實(shí)質(zhì)性的 工作。本文結(jié)合實(shí)驗(yàn)室前面的工作及課題的實(shí)際情況，主要進(jìn)行空氣靜壓工作臺(tái) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面的調(diào)研和論證，空氣靜壓氣浮支承的理論計(jì)算，以及導(dǎo)軌精度分析。 文中初步完成了工作臺(tái)整體結(jié)構(gòu)布局方面的設(shè)計(jì)：工作臺(tái)整體采用二維形 式，水平布置；工作臺(tái)上層采用一個(gè)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，下層采用兩側(cè)雙直線電機(jī)驅(qū) 動(dòng)；工作臺(tái)靜導(dǎo)軌采用花崗巖大理石材料，動(dòng)導(dǎo)軌采用鋁合金材料；工作臺(tái)的氣 體支撐技術(shù)采用真空負(fù)壓吸附式設(shè)計(jì)，可以獲得高剛度。另外還針對工作臺(tái)的實(shí) 用化總結(jié)了若干需要注意的

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