本文關(guān)鍵詞：基于氣體潤滑靜壓工作臺的若干關(guān)鍵技術(shù)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

天津大學(xué) 碩士學(xué)位論文 基于氣體潤滑靜壓工作臺的若干關(guān)鍵技術(shù) 姓名：王占彬 申請學(xué)位級別：碩士 專業(yè)：機械制造及其自動化 指導(dǎo)教師：林彬 座機電話號碼 中文摘要 超精密微位移工作臺系統(tǒng)在現(xiàn)代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為 重要的地位。高精度和高分辨率的精密微位移工作臺系統(tǒng)的各項技術(shù)指標(biāo)是各國 高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。本實驗室已經(jīng)針對工作臺在先進結(jié)構(gòu)材料、多孔質(zhì) 氣體潤滑技術(shù)以及直接驅(qū)動技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)方面進行了較為深入的研究，為研制 出性能均衡，適合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用的大行程超精密工作臺打下堅實的基礎(chǔ)。本次課 題的研究目的是實現(xiàn)空氣靜壓工作臺關(guān)鍵技術(shù)的實用化。通過對工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計 方面的調(diào)研和論證，對氣體靜壓支承的數(shù)值計算分析、對導(dǎo)軌的精度設(shè)計進行的 討論，旨在為掌握空氣靜壓工作臺的關(guān)鍵技術(shù)，具備研制工作臺的能力做些前期 的準備工作。 本文的研究重點放在空氣靜壓工作臺的實用化設(shè)計方面，并為掌握其加工生 產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)做了許多認證，為今后早日實現(xiàn)工作臺批量生產(chǎn)做了大量實質(zhì)性的 工作。本文結(jié)合實驗室前面的工作及課題的實際情況，主要進行空氣靜壓工作臺 結(jié)構(gòu)設(shè)計方面的調(diào)研和論證，空氣靜壓氣浮支承的理論計算，以及導(dǎo)軌精度分析。 文中初步完成了工作臺整體結(jié)構(gòu)布局方面的設(shè)計：工作臺整體采用二維形 式，水平布置；工作臺上層采用一個直線電機驅(qū)動，下層采用兩側(cè)雙直線電機驅(qū) 動；工作臺靜導(dǎo)軌采用花崗巖大理石材料，動導(dǎo)軌采用鋁合金材料；工作臺的氣 體支撐技術(shù)采用真空負壓吸附式設(shè)計，可以獲得高剛度。另外還針對工作臺的實 用化總結(jié)了若干需要注意的

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