CCD光電式測厚儀及其系統(tǒng)的研究
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《燕山大學(xué)》 2003年
CCD光電式測厚儀及其系統(tǒng)的研究
趙世強(qiáng)
【摘要】: CCD (電荷耦合器件)是一種性能獨(dú)特的半導(dǎo)體光電器件,近年來在攝像、工業(yè)檢測等科技領(lǐng)域里得到了廣泛的應(yīng)用。將CCD技術(shù)應(yīng)用于厚度等幾何量測量可以實(shí)現(xiàn)高精度、在線動態(tài)檢測和非接觸測量等要求,尤其對微小厚度變化量的測量具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。 本文首先介紹了光學(xué)三角法測量原理,并對線陣CCD的工作原理進(jìn)行了研究,以此為基礎(chǔ)采用氦氖激光器為光源,設(shè)計(jì)了光學(xué)聚焦及成像系統(tǒng),對線陣CCD外圍電路的設(shè)計(jì)進(jìn)行了理論設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)研究,最后設(shè)計(jì)了以CCD為光電轉(zhuǎn)換元件,以微處理器為控制核心的非接觸式厚度測量儀及其系統(tǒng)。 測量系統(tǒng)以斜射式光學(xué)三角法為測量原理,采用CCD作為光電轉(zhuǎn)換元件。采用CPLD(復(fù)雜可編程邏輯器件)設(shè)計(jì)調(diào)試了CCD時序驅(qū)動電路,使整個驅(qū)動電路體積小,,縮短了周期,可隨時修改設(shè)計(jì),提高了電路的可靠性和靈活性。CPLD設(shè)計(jì)采用了MAX+PLUS II開發(fā)環(huán)境完成器件的全部工作,使得硬件的設(shè)計(jì)可以如同軟件設(shè)計(jì)那樣方便快捷。視頻信號處理電路完成了原始信號的初級捕捉、濾波、視頻放大等處理,設(shè)計(jì)了浮動閾值二值化處理電路,采用兩路計(jì)數(shù)器對輸出脈沖信號采樣計(jì)數(shù),最后送入微處理器進(jìn)行運(yùn)算處理,可實(shí)現(xiàn)測量值的儲存、顯示等,并設(shè)計(jì)了與上位機(jī)的通訊接口。 對CCD驅(qū)動及視頻處理電路進(jìn)行了試驗(yàn),結(jié)果表明驅(qū)動電路能很好地與CCD配合,充分發(fā)揮CCD光電轉(zhuǎn)換特性,輸出穩(wěn)定可靠的電信號。視頻處理電路對影響CCD“像質(zhì)”的主要噪聲均有明顯的抑制效果,提高了信噪比,為進(jìn)一步的信號處理提供了高質(zhì)量的信號。對微處理器控制部分進(jìn)行了硬件設(shè)計(jì)和編程調(diào)試,并進(jìn)行了系統(tǒng)整體誤差分析。理論分析及實(shí)驗(yàn)表明,采用CCD為光電轉(zhuǎn)換元件的非接觸測量厚度法是可行的。
【關(guān)鍵詞】:
【學(xué)位授予單位】:燕山大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2003
【分類號】:TH821
【目錄】:
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