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CCD光電式測(cè)厚儀及其系統(tǒng)的研究

發(fā)布時(shí)間:2016-11-23 04:12

  本文關(guān)鍵詞:CCD光電式測(cè)厚儀及其系統(tǒng)的研究,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。


《燕山大學(xué)》 2003年

CCD光電式測(cè)厚儀及其系統(tǒng)的研究

趙世強(qiáng)  

【摘要】: CCD (電荷耦合器件)是一種性能獨(dú)特的半導(dǎo)體光電器件,近年來(lái)在攝像、工業(yè)檢測(cè)等科技領(lǐng)域里得到了廣泛的應(yīng)用。將CCD技術(shù)應(yīng)用于厚度等幾何量測(cè)量可以實(shí)現(xiàn)高精度、在線動(dòng)態(tài)檢測(cè)和非接觸測(cè)量等要求,尤其對(duì)微小厚度變化量的測(cè)量具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。 本文首先介紹了光學(xué)三角法測(cè)量原理,并對(duì)線陣CCD的工作原理進(jìn)行了研究,以此為基礎(chǔ)采用氦氖激光器為光源,設(shè)計(jì)了光學(xué)聚焦及成像系統(tǒng),對(duì)線陣CCD外圍電路的設(shè)計(jì)進(jìn)行了理論設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)研究,最后設(shè)計(jì)了以CCD為光電轉(zhuǎn)換元件,以微處理器為控制核心的非接觸式厚度測(cè)量?jī)x及其系統(tǒng)。 測(cè)量系統(tǒng)以斜射式光學(xué)三角法為測(cè)量原理,采用CCD作為光電轉(zhuǎn)換元件。采用CPLD(復(fù)雜可編程邏輯器件)設(shè)計(jì)調(diào)試了CCD時(shí)序驅(qū)動(dòng)電路,使整個(gè)驅(qū)動(dòng)電路體積小,,縮短了周期,可隨時(shí)修改設(shè)計(jì),提高了電路的可靠性和靈活性。CPLD設(shè)計(jì)采用了MAX+PLUS II開(kāi)發(fā)環(huán)境完成器件的全部工作,使得硬件的設(shè)計(jì)可以如同軟件設(shè)計(jì)那樣方便快捷。視頻信號(hào)處理電路完成了原始信號(hào)的初級(jí)捕捉、濾波、視頻放大等處理,設(shè)計(jì)了浮動(dòng)閾值二值化處理電路,采用兩路計(jì)數(shù)器對(duì)輸出脈沖信號(hào)采樣計(jì)數(shù),最后送入微處理器進(jìn)行運(yùn)算處理,可實(shí)現(xiàn)測(cè)量值的儲(chǔ)存、顯示等,并設(shè)計(jì)了與上位機(jī)的通訊接口。 對(duì)CCD驅(qū)動(dòng)及視頻處理電路進(jìn)行了試驗(yàn),結(jié)果表明驅(qū)動(dòng)電路能很好地與CCD配合,充分發(fā)揮CCD光電轉(zhuǎn)換特性,輸出穩(wěn)定可靠的電信號(hào)。視頻處理電路對(duì)影響CCD“像質(zhì)”的主要噪聲均有明顯的抑制效果,提高了信噪比,為進(jìn)一步的信號(hào)處理提供了高質(zhì)量的信號(hào)。對(duì)微處理器控制部分進(jìn)行了硬件設(shè)計(jì)和編程調(diào)試,并進(jìn)行了系統(tǒng)整體誤差分析。理論分析及實(shí)驗(yàn)表明,采用CCD為光電轉(zhuǎn)換元件的非接觸測(cè)量厚度法是可行的。

【關(guān)鍵詞】:
【學(xué)位授予單位】:燕山大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2003
【分類(lèi)號(hào)】:TH821
【目錄】:

  • 中文摘要4-5
  • 英文摘要5-10
  • 第1章 緒論10-16
  • 1.1 選題的意義和應(yīng)用前景10-11
  • 1.2 厚度測(cè)量的一般方法11-12
  • 1.3 電荷耦合器件的發(fā)展?fàn)顩r12-13
  • 1.4 光電式測(cè)厚儀的國(guó)內(nèi)外發(fā)展?fàn)顩r13-14
  • 1.5 選題的理論依據(jù)14-15
  • 1.6 本文的主要研究?jī)?nèi)容15-16
  • 第2章 測(cè)量系統(tǒng)的原理16-36
  • 2.1 概述16-17
  • 2.2 光學(xué)三角法基本原理17-20
  • 2.2.1 直射式三角法原理17-19
  • 2.2.2 斜射式三角法原理19-20
  • 2.3 CCD的基本結(jié)構(gòu)和工作原理20-34
  • 2.3.1 CCD概述20
  • 2.3.2 電荷存儲(chǔ)20-23
  • 2.3.3 電荷耦合23-25
  • 2.3.4 電荷的注入和檢測(cè)25-28
  • 2.3.5 CCD的基本特性參數(shù)28-34
  • 2.4 CCD應(yīng)用34
  • 2.5 本章小結(jié)34-36
  • 第3章 光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)36-44
  • 3.1 光源的選擇36-38
  • 3.1.1 氦氖激光器的結(jié)構(gòu)36
  • 3.1.2 氦氖激光器的特點(diǎn)36-38
  • 3.2 精度和放大倍數(shù)的設(shè)定38-39
  • 3.3 CCD的選用39-40
  • 3.4 聚焦及成像系統(tǒng)的設(shè)計(jì)40-43
  • 3.4.1 光路結(jié)構(gòu)40-41
  • 3.4.2 透鏡的選擇41-42
  • 3.4.3 成像物鏡的焦距和數(shù)值孔徑42
  • 3.4.4 孔徑光闌的口徑42-43
  • 3.5 本章小結(jié)43-44
  • 第4章 CCD驅(qū)動(dòng)及視頻信號(hào)處理電路的設(shè)計(jì)44-68
  • 4.1 線陣CCD時(shí)序脈沖電路產(chǎn)生的方法44-46
  • 4.1.1 通用數(shù)字電路驅(qū)動(dòng)方法44
  • 4.1.2 EPROM驅(qū)動(dòng)方法44-45
  • 4.1.3 單片機(jī)驅(qū)動(dòng)方法45
  • 4.1.4 專(zhuān)用IC驅(qū)動(dòng)方法45-46
  • 4.2 CPLD技術(shù)的特點(diǎn)46-48
  • 4.2.1 可編程邏輯器件(PLD)概述46-47
  • 4.2.2 MAX+PLUSII的設(shè)計(jì)流程47-48
  • 4.3 TCD1501C的時(shí)序脈沖驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)48-55
  • 4.3.1 驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì)原則48-49
  • 4.3.2 TCD1501C工作參數(shù)的設(shè)計(jì)49-50
  • 4.3.3 TCD1501C脈沖產(chǎn)生電路設(shè)計(jì)50-54
  • 4.3.4 可調(diào)光積分電路的設(shè)計(jì)54
  • 4.3.5 TCD1501C的驅(qū)動(dòng)接口電路54-55
  • 4.4 CCD視頻信號(hào)處理電路的設(shè)計(jì)55-67
  • 4.4.1 前置放大電路57-58
  • 4.4.2 視頻放大電路58-59
  • 4.4.3 低通濾波電路59-62
  • 4.4.4 二值化處理電路62-64
  • 4.4.5 計(jì)數(shù)電路64-67
  • 4.5 本章小結(jié)67-68
  • 第5章 單片機(jī)電路及系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)68-81
  • 5.1 硬件電路68-73
  • 5.1.1 計(jì)數(shù)電路70-71
  • 5.1.2 監(jiān)控電路71
  • 5.1.3 數(shù)碼管顯示71-72
  • 5.1.4 數(shù)據(jù)通信接口72-73
  • 5.2 軟件設(shè)計(jì)73-80
  • 5.2.1 主程序73-75
  • 5.2.2 計(jì)數(shù)75
  • 5.2.3 數(shù)據(jù)運(yùn)算75-77
  • 5.2.4 數(shù)據(jù)顯示77-78
  • 5.2.5 鍵盤(pán)控制78
  • 5.2.6 數(shù)據(jù)傳輸78-80
  • 5.3 本章小結(jié)80-81
  • 第6章 實(shí)驗(yàn)及誤差分析81-89
  • 6.1 TCD1501C時(shí)序脈沖驅(qū)動(dòng)電路調(diào)試81-85
  • 6.1.1 TCD1501C時(shí)序脈沖產(chǎn)生電路的軟件實(shí)現(xiàn)81-83
  • 6.1.2 驅(qū)動(dòng)接口電路調(diào)試83-84
  • 6.1.3 延遲分析84-85
  • 6.2 TCD1501C視頻信號(hào)處理電路85-86
  • 6.2.1 前置放大電路85
  • 6.2.2 視頻放大電路85
  • 6.2.3 低通濾波電路85-86
  • 6.3 系統(tǒng)的誤差分析86-88
  • 6.3.1 原理誤差86-87
  • 6.3.2 光源的影響87
  • 6.3.3 光電轉(zhuǎn)換器件(CCD)的影響87-88
  • 6.3.4 外界環(huán)境條件的影響88
  • 6.4 本章小結(jié)88-89
  • 結(jié)論89-91
  • 參考文獻(xiàn)91-95
  • 攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文95-96
  • 致謝96-97
  • 作者簡(jiǎn)介97
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