本文關鍵詞：納米三坐標測量機的精度設計與誤差修正，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

網(wǎng)友Horange近日為您收集整理了關于納米三坐標測量機的精度設計與誤差修正的文檔，，希望對您的工作和學習有所幫助。以下是文檔介紹：uracyDesignAndErrorCorrectionOfNanoCoordinateMeasuringMachines作者姓名王墮學位類型堂壓亟±學科、專業(yè)揎蜜戧墨星扭越2006年6月納米三坐標標測量機的精度設計與誤差修正摘要三坐標測量機是近三十年來發(fā)展起來的一種高效率的新型精密測量儀器。隨著科學技術的發(fā)展,對三坐標測量機的精度提出了越來越高的要求,特別是隨著電子工業(yè)的發(fā)展,精度參數(shù)多為微納米數(shù)量級的微型器件不斷出現(xiàn)。對于這些微小的測量對象,現(xiàn)有的工業(yè)級三坐標測量機不僅體積上如同龐然大物,同時還存在很多缺點。因此,近年來精度達到納米級且體積微型化的三坐標測量機的研制受到世界各國的重視。但是要完全通過提高制造精度,嚴格控制環(huán)境條件與使用條件來實現(xiàn)更高的測量精度是十分困難的。而誤差修正技術是一項能以較低成本,大幅度地提高三坐標測量機測量精度的先進技術手段。本文分析了影響納米三坐標測量機測量精度的誤差源,建立了納米三坐標測量機的誤差模型,并針對不同的誤差源提出了相應的誤差分離方法。根據(jù)納米三坐標測量機的總體精度要求及其機械結構,提出了納米三坐標測量機的精度設計方案,并且根據(jù)該精度設計方案對納米三坐標測量機的結構設計提出了一些建議。根據(jù)三坐標測量機誤差修正的需要,編寫了誤差修正數(shù)據(jù)擬合軟件。在完成上述工作的基礎上,對正在研制的一臺納米三坐標測量機進行了部分誤差源的誤差修正,得到較滿意的結果。關鍵詞:uracyDesignAndErrorCorrectionOfNanoCoordinateMeasuringMachinesAbstractCoordinatemeasuringmachines(CMM)isanewtypeofprecisionmeasuringequipmentdevelopedinrecentthreedecades.WeneedmoreandmorehigherprecisionCMMwiththedevelopmentofscienceandtechnology,especiallywiththedevelopmentoftheelectronicsindustry,moreandmoremicrodevicesappearance.ExistingindustriallevelCMMistoobigforthesemicrodevices’measure,andhassomeshortage.Therefore,thedevelopmentofsmallsizeNano—CMMisregardedbytheworldinrecentyears.Butit’uracy,andcontroltheenvironmentalconditions.uracyofCMMandonlyneedlowerCOsts.ThispaperanalysestheinfluencesofeveryerrorsourceoftheprecisionofCMMEstablishtheerrormodelofCMM,anddesigndifferentmethodoferrorcalibrationfordifferenterrorsource.uracytargetandmechanicalstructures,andguidethestructuraldesignofNano—uracydesign.WriteasoftwareforerrorcorrectionofCMM.FinallycorrecttheerrorofadevelopingCMM,andgetasatisfactoryresult.Keywords:uracydesignerrorcalibrationerrorcorrection插圖清單圖2一l三坐標測量機誤差源分解示意圖?????????????..9圖2—2測頭探測過程示意圖???????????????????12圖2—3測量時測頭的位移時間關系??????????????..12圖2—4三坐標測量機機體動態(tài)誤差源簡單分類??????????12圖2-5三坐標測量機動態(tài)誤差全系統(tǒng)傳遞圖???????????13圖2—6拱形Nano—CMM????????????????????.14圖2—7四面對稱形Nano—CMM?????????????????14圖2—8矩形橋架結構圖???????????????????.15圖2-9拱形橋架結構圖???????????????????一15圖2—10傳統(tǒng)XY平臺????????????????????.16圖2一ll共平面XY平臺???????????????????.16圖2一12共平面原理圖????????????????????17圖2-13探頭結構原理圖????????????????????..18圖2—14四象限光斑形狀變化與FES曲線????????????.19圖2—15測頭測量系統(tǒng)原理圖?????????????????????19圖2—16探頭系統(tǒng)控制回路原理圖???????????????19圖2-17自動聚焦原理????????????????????20圖2—18LDGI系統(tǒng)原理圖???????????????????????.2l圖4-1誤差修正軟件圖形界面?????????????????35圖4-2光柵示值誤差測量??????????????????.36圖4—3偏擺角、俯仰角測量?????????????????..36圖4—4誤差修正位置????????????????????.37圖4—5光柵示值誤差????????????????????.38圖4-6工作臺俯仰角????????????????????.38圖4-7工作臺偏擺角????????????????????????39圖4-8工作臺誤差修正前后比對???????????????..39圖5-1光柵誤差分離示意圖?..圖5—2雙頻激光干涉儀軟件界面圖5—3阿貝誤差分離示意圖???圖5—4利用直角棱鏡轉折測量光路圖圖5—5X軸修正前后誤差曲線圖?????~圖5-6Y軸修正前后誤差曲線圖?????..43.43..44.45..48—48表5一lx軸修正前后誤差值表5—2Y軸修正前后誤差值表格清單4951獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學位論文是本人在導師指導下進行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知,除了文中特別加以標志和致謝的地方外,論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果,也不包含為獲得金壁王些盍堂或其他教育機構的學位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。學位論文作者簽字:簽字日期:年月學位論文版權使用授權書本學位論文作者完全了解盒目B王些盔堂有關保留、使用學位論文的規(guī)定,有權保留并向國家有關部門或機構送交論文的復印件和磁盤,允許論文被查閱或借閱。本人授權盒月B』些左!L可以將學位論文的全部或部分論文內(nèi)容編入有關數(shù)據(jù)庫進行檢索,

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