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硅微諧振式加速度計驅(qū)動電路參數(shù)優(yōu)化

發(fā)布時間:2018-05-02 03:22

  本文選題:硅微諧振式加速度計 + 閉環(huán)驅(qū)動; 參考:《光學精密工程》2014年06期


【摘要】:將遺傳算法與低頻模型相結(jié)合,提出了一種快捷的驅(qū)動電路設(shè)計方法,用于提高低功耗硅微諧振式加速度計模擬驅(qū)動電路的瞬態(tài)性能,并縮短設(shè)計周期。該方法通過對閉環(huán)驅(qū)動電路模型進行高低頻解耦,提取閉環(huán)驅(qū)動電路的低頻模型;將提取的低頻模型與遺傳算法相結(jié)合,給出完整的優(yōu)化方法,得到了滿足各項實際約束的最優(yōu)電路參數(shù)。針對某型硅微諧振式加速度計,建立了SIMULINK低頻仿真模型,根據(jù)實際情況制定了約束條件。應(yīng)用該方法求出了系統(tǒng)啟動速度最快的PI控制器的參數(shù),并對其進行了實驗驗證。起振實驗結(jié)果表明,采用優(yōu)化參數(shù)可使超調(diào)量小于50%,相位誤差小于5°,1%調(diào)節(jié)時間從優(yōu)化前的0.42s減少到優(yōu)化后的0.19s,實驗與仿真誤差小于5%。得到的結(jié)果證明提出的方法正確有效,具有可實施性。
[Abstract]:Combining genetic algorithm with low frequency model, a fast driving circuit design method is proposed to improve the transient performance of the analog drive circuit of low power silicon microresonant accelerometer and shorten the design period. By decoupling the closed-loop driving circuit model with high and low frequency, the low-frequency model of the closed-loop driving circuit is extracted, and a complete optimization method is given by combining the extracted low-frequency model with genetic algorithm. The optimal circuit parameters satisfying the practical constraints are obtained. The SIMULINK low frequency simulation model is established for a silicon micro resonant accelerometer and the constraint conditions are established according to the actual conditions. The parameters of Pi controller with the fastest startup speed are obtained by using this method and verified by experiments. The experimental results show that the overshoot is less than 50, the phase error is less than 5 擄and the adjusting time is reduced from 0.42s before optimization to 0.19s after optimization, and the error between experiment and simulation is less than 5s. The results show that the proposed method is correct and effective.
【作者單位】: 南京理工大學MEMS慣性技術(shù)研究中心;
【基金】:國家863高技術(shù)研究發(fā)展計劃資助項目(No.2011AA040402)
【分類號】:TH824.4

【參考文獻】

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3 夏國明;楊波;王壽榮;;硅微機械陀螺自激驅(qū)動數(shù)字化技術(shù)[J];光學精密工程;2011年03期

4 賈方秀;裘安萍;施芹;蘇巖;;硅微振動陀螺儀設(shè)計與性能測試[J];光學精密工程;2013年05期

【共引文獻】

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8 李玉欣;陳德勇;王軍波;焦海龍;羅振宇;;基于自停止腐蝕技術(shù)的H型諧振式微機械壓力傳感器[J];光學精密工程;2011年12期

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【二級參考文獻】

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6 賈方秀;丁振良;;激光測距儀的脈沖電流供電溫度控制系統(tǒng)[J];光學精密工程;2009年09期

7 夏國明;楊波;王壽榮;;硅微機械陀螺自激驅(qū)動數(shù)字化技術(shù)[J];光學精密工程;2011年03期

8 周浩;蘇偉;劉顯學;唐海林;;解耦z軸微機械陀螺的研制[J];光學精密工程;2011年09期

9 楊波;王壽榮;李宏生;黃麗斌;李坤宇;殷勇;;解耦硅微陀螺儀的結(jié)構(gòu)誤差分析和系統(tǒng)性能測試(英文)[J];納米技術(shù)與精密工程;2010年06期

10 周文聞;張嶸;周斌;陳志勇;;基于SOPC的單軸陀螺驅(qū)動環(huán)路設(shè)計[J];中國慣性技術(shù)學報;2009年01期

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1 徐濤,羅武勝,呂海寶,董文娟;微硅加速度計在定向鉆進角度測量中的應(yīng)用[J];國防科技大學學報;2004年02期

2 熊V,

本文編號:1832168


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