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硅微諧振式加速度計(jì)驅(qū)動(dòng)電路參數(shù)優(yōu)化

發(fā)布時(shí)間:2018-05-02 03:22

  本文選題:硅微諧振式加速度計(jì) + 閉環(huán)驅(qū)動(dòng); 參考:《光學(xué)精密工程》2014年06期


【摘要】:將遺傳算法與低頻模型相結(jié)合,提出了一種快捷的驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)方法,用于提高低功耗硅微諧振式加速度計(jì)模擬驅(qū)動(dòng)電路的瞬態(tài)性能,并縮短設(shè)計(jì)周期。該方法通過(guò)對(duì)閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路模型進(jìn)行高低頻解耦,提取閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路的低頻模型;將提取的低頻模型與遺傳算法相結(jié)合,給出完整的優(yōu)化方法,得到了滿(mǎn)足各項(xiàng)實(shí)際約束的最優(yōu)電路參數(shù)。針對(duì)某型硅微諧振式加速度計(jì),建立了SIMULINK低頻仿真模型,根據(jù)實(shí)際情況制定了約束條件。應(yīng)用該方法求出了系統(tǒng)啟動(dòng)速度最快的PI控制器的參數(shù),并對(duì)其進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。起振實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,采用優(yōu)化參數(shù)可使超調(diào)量小于50%,相位誤差小于5°,1%調(diào)節(jié)時(shí)間從優(yōu)化前的0.42s減少到優(yōu)化后的0.19s,實(shí)驗(yàn)與仿真誤差小于5%。得到的結(jié)果證明提出的方法正確有效,具有可實(shí)施性。
[Abstract]:Combining genetic algorithm with low frequency model, a fast driving circuit design method is proposed to improve the transient performance of the analog drive circuit of low power silicon microresonant accelerometer and shorten the design period. By decoupling the closed-loop driving circuit model with high and low frequency, the low-frequency model of the closed-loop driving circuit is extracted, and a complete optimization method is given by combining the extracted low-frequency model with genetic algorithm. The optimal circuit parameters satisfying the practical constraints are obtained. The SIMULINK low frequency simulation model is established for a silicon micro resonant accelerometer and the constraint conditions are established according to the actual conditions. The parameters of Pi controller with the fastest startup speed are obtained by using this method and verified by experiments. The experimental results show that the overshoot is less than 50, the phase error is less than 5 擄and the adjusting time is reduced from 0.42s before optimization to 0.19s after optimization, and the error between experiment and simulation is less than 5s. The results show that the proposed method is correct and effective.
【作者單位】: 南京理工大學(xué)MEMS慣性技術(shù)研究中心;
【基金】:國(guó)家863高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2011AA040402)
【分類(lèi)號(hào)】:TH824.4

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前4條

1 王展飛;魯文高;李峰;李志宏;;MEMS振動(dòng)陀螺閉環(huán)自激驅(qū)動(dòng)的理論分析及數(shù)值仿真[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年08期

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3 夏國(guó)明;楊波;王壽榮;;硅微機(jī)械陀螺自激驅(qū)動(dòng)數(shù)字化技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2011年03期

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【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 蘭靖;苑偉政;常洪龍;周志廣;崔金強(qiáng);;Si微陀螺結(jié)構(gòu)與接口電路的混合仿真[J];微納電子技術(shù);2009年08期

2 王展飛;魯文高;李峰;李志宏;;MEMS振動(dòng)陀螺閉環(huán)自激驅(qū)動(dòng)的理論分析及數(shù)值仿真[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年08期

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5 譚曉昀;雷龍剛;劉曉為;;電容式微陀螺自適應(yīng)閉環(huán)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的研究[J];傳感器與微系統(tǒng);2009年10期

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7 夏國(guó)明;楊波;王壽榮;;硅微機(jī)械陀螺自激驅(qū)動(dòng)數(shù)字化技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2011年03期

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10 劉雙杰;郝永平;;S型折疊式微懸臂梁剛度計(jì)算[J];光學(xué)精密工程;2013年02期

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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1 王展飛;魯文高;李峰;李志宏;;MEMS振動(dòng)陀螺閉環(huán)自激驅(qū)動(dòng)的理論分析及數(shù)值仿真[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年08期

2 劉危,解旭輝,李圣怡;微機(jī)械慣性傳感器的技術(shù)現(xiàn)狀及展望[J];光學(xué)精密工程;2003年05期

3 李建利;房建成;盛蔚;董海峰;;雙質(zhì)量塊調(diào)諧輸出式硅MEMS陀螺儀的理論計(jì)算及仿真[J];光學(xué)精密工程;2008年03期

4 施芹;裘安萍;蘇巖;朱欣華;;硅微陀螺儀的機(jī)械耦合誤差分析[J];光學(xué)精密工程;2008年05期

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6 賈方秀;丁振良;;激光測(cè)距儀的脈沖電流供電溫度控制系統(tǒng)[J];光學(xué)精密工程;2009年09期

7 夏國(guó)明;楊波;王壽榮;;硅微機(jī)械陀螺自激驅(qū)動(dòng)數(shù)字化技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2011年03期

8 周浩;蘇偉;劉顯學(xué);唐海林;;解耦z軸微機(jī)械陀螺的研制[J];光學(xué)精密工程;2011年09期

9 楊波;王壽榮;李宏生;黃麗斌;李坤宇;殷勇;;解耦硅微陀螺儀的結(jié)構(gòu)誤差分析和系統(tǒng)性能測(cè)試(英文)[J];納米技術(shù)與精密工程;2010年06期

10 周文聞;張嶸;周斌;陳志勇;;基于SOPC的單軸陀螺驅(qū)動(dòng)環(huán)路設(shè)計(jì)[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2009年01期

【相似文獻(xiàn)】

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1 徐濤,羅武勝,呂海寶,董文娟;微硅加速度計(jì)在定向鉆進(jìn)角度測(cè)量中的應(yīng)用[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2004年02期

2 熊V,

本文編號(hào):1832168


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