發(fā)布時間：2018-04-14 05:02

  本文選題：測量 + 瑞奇-康芒��； 參考：《光學學報》2014年01期

【摘要】：為實現(xiàn)高精度瑞奇-康芒法檢測,利用檢測系統(tǒng)光瞳面與被測平面鏡二者間的坐標轉換關系,結合最小二乘法直接對測得的系統(tǒng)波像差進行恢復,通過兩角度檢測分離由光路調整引入的離焦誤差,得到更為精準的平面鏡面形。分析光路中測試距離對坐標轉換關系以及瑞奇角求解精度的影響,根據(jù)仿真分析結果確定實驗方案。實驗中采用兩角度檢測,對測試波前進行恢復并分離系統(tǒng)調整誤差后,最終得到被檢平面鏡面形,結果峰谷(PV)值為0.182λ、均方根(RMS)值為0.0101λ,對比干涉儀直接檢測結果 PV值為0.229λ、RMS值為0.013λ,PV檢測精度優(yōu)于λ/20,RMS檢測精度優(yōu)于λ/100,實驗結果證明了此種面形恢復方法的有效性以及測試距離精度分析理論的正確性,從而實現(xiàn)了瑞奇-康芒法高精度檢測。
[Abstract]:In order to realize the high precision Raychi-Conmao method, the system wavefront aberration was recovered directly by using the coordinate transformation relationship between the pupil surface and the plane mirror, and the least square method was used to directly recover the measured wavefront aberration.A more accurate plane mirror can be obtained by detecting the defocus error caused by adjusting the optical path in two angles.The influence of measuring distance in optical path on coordinate conversion relation and precision of Ricky angle solution is analyzed. The experimental scheme is determined according to the simulation results.In the experiment, the two angle detection is used to recover the test wavefront and to separate the system adjustment error, and finally the plane mirror shape is obtained.Results the VV value of peak-valley is 0.182 位, the RMS value of root mean square is 0.0101 位, the PV value of direct detection by contrast interferometer is 0.229 位 / L RMS value 0.013 位 / L PV detection precision is better than 位 / 20 RMS detection precision is better than 位 / 100. The experimental results show the effectiveness of this method and the measurement accuracy.The correctness of the theory of precision analysis of trial distance,Thus, the high precision detection of Rich-Conmao method is realized.
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;中國科學院大學;
【基金】：國家863計劃(2012AA040503) 國家自然科學基金重點項目(11034007)
【分類號】：TH741

【參考文獻】

相關期刊論文 前10條

1 崔天剛;王永剛;馬冬梅;馬文生;陳波;;Wolter Ⅰ型反射鏡面形在線檢測裝置設計[J];光學精密工程;2010年08期

2 邵晶;馬冬梅;聶真威;;光學成像系統(tǒng)光學波前的高精度測試[J];光學精密工程;2011年11期

3 張金平;張學軍;張忠玉;鄭立功;;Shack-Hartmann波前傳感器檢測大口徑圓對稱非球面反射鏡[J];光學精密工程;2012年03期

4 楊曉洪,高必烈,崔向群;檢測大口徑光學平面鏡時干涉條紋的子孔徑拼接方法[J];光學技術;2005年04期

5 李直,趙洋,李達成,肖體喬,夏紹建;衍射型長程大型非球面輪廓測量儀[J];光學學報;2002年10期

6 王孝坤;鄭立功;張學軍;;子孔徑拼接干涉檢測凸非球面的研究[J];光學學報;2010年07期

7 王汝冬;田偉;王平;王立朋;;振動對面形測量誤差的影響分析[J];光學學報;2012年11期

8 朱碩;張曉輝;;Ritchey角精度對平面鏡檢測的影響的分析與驗證[J];光學學報;2013年06期

9 王孝坤;;大口徑離軸碳化硅非球面反射鏡加工與檢測技術研究[J];激光與光電子學進展;2012年01期

10 徐洋;唐鋒;王向朝;徐靜浩;范李立;程欣;;平面面形絕對檢驗技術測量誤差分析[J];中國激光;2011年10期

【共引文獻】

相關期刊論文 前10條

1 郎治國;譚久彬;;大口徑非球面的超精密回轉掃描測量技術研究[J];光電子.激光;2010年06期

2 滿玉春;張學軍;;子區(qū)域拼接數(shù)字莫爾條紋非球面檢測的理論分析[J];光學精密工程;2008年03期

3 崔天剛;王永剛;馬冬梅;馬文生;陳波;;Wolter Ⅰ型反射鏡面形在線檢測裝置設計[J];光學精密工程;2010年08期

4 張峰;;高精度離軸凸非球面反射鏡的加工及檢測[J];光學精密工程;2010年12期

5 王永剛;崔天剛;馬文生;陳斌;陳波;;彈性球狀小磨頭加工WolterⅠ型掠入射反射鏡的去除函數(shù)[J];光學精密工程;2011年01期

6 王永剛;崔天剛;馬文生;陳斌;陳波;;Wolter-Ⅰ型掠入射反射鏡的加工[J];光學精密工程;2011年04期

7 楊李茗;葉海仙;;大口徑大曲率半徑光學元件的高精度檢測[J];光學精密工程;2011年06期

8 何勇;王青;尚博;陳磊;朱日宏;;子孔徑拼接技術在長平晶計量中的應用研究[J];光學技術;2006年S1期

9 劉東;楊甬英;田超;翁俊淼;卓永模;楊李茗;;非球面非零位檢測中的回程誤差分析與校正[J];光學學報;2009年03期

10 崔天剛;張宏吉;馬文生;陳波;;Wolter Ⅰ型反射鏡面形檢測裝置的改進[J];光學學報;2011年04期

相關博士學位論文 前10條

1 劉東;通用數(shù)字化高精度非球面干涉檢測技術與系統(tǒng)研究[D];浙江大學;2010年

2 王小鵬;大口徑非球面數(shù)字刀口儀測試技術研究[D];南京理工大學;2010年

3 崔天剛;WolterⅠ型反射鏡面形檢測及成像性能檢測研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

4 劉斌;變曲率光柵的成像特性研究及相關測試技術[D];中國科學技術大學;2006年

5 黃大剛;非球面測量技術與數(shù)據(jù)處理方法研究[D];天津大學;2007年

6 王永剛;Wolter-I型反射鏡的加工及表面粗糙度檢測[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2010年

7 郎治國;基于超精密回轉掃描的大口徑非球面測量技術研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2010年

8 李順;軟X射線掠入射成像光學系統(tǒng)設計與檢測技術研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

9 張金平;夏克—哈特曼波前傳感器檢測大口徑非球面應用研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

10 王道檔;高精度點衍射球面干涉檢測技術及系統(tǒng)研究[D];浙江大學;2012年

相關碩士學位論文 前10條

1 駱永潔;非球面部分補償干涉檢測方法的誤差分析及系統(tǒng)優(yōu)化研究[D];浙江大學;2011年

2 張宗;φ1.1m平面鏡的瑞奇—康芒檢驗方法研究[D];南京理工大學;2012年

3 鄭顯鋒;基于相移干涉的大平面測量關鍵技術研究[D];西安工業(yè)大學;2012年

4 郝晶晶;波長移相干涉測量技術研究[D];南京理工大學;2007年

5 王朝暄;大口徑光學平面干涉檢測的子孔徑拼接研究[D];南京理工大學;2007年

6 鄭婉U，

本文編號：1747801