本文選題：移相干涉術(shù)　切入點：確定性加工　出處：《光學(xué)精密工程》2015年01期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對移相干涉測量中振動引起的移相誤差和對比度變化,提出了一種從空間載波干涉圖頻譜中提取移相和對比度信息的方法。該方法通過分析載波干涉圖頻譜,從基帶和邊帶中提取移相和對比度信息,運用最小二乘法補償對比度變化并復(fù)原波前位相。最后采用構(gòu)造平滑孔徑函數(shù)對帶有孔徑的干涉圖進行處理。數(shù)值仿真證明:提出的方法可以高精度檢測移相量和對比度變化,能夠有效補償因?qū)Ρ榷茸兓鸬奈幌鄰?fù)原誤差。在頻率為9Hz、幅度為0.5μm的簡諧振動條件下實驗驗證了本文方法的實用性。結(jié)果顯示:從受振動干擾的干涉圖中復(fù)原平晶表面時,其復(fù)原誤差PV值小于0.015波長。該方法無需硬件改動,有望為移相干涉測量應(yīng)用于現(xiàn)場測量提供一種低成本的解決方法。
[Abstract]:In view of the phase shift error and contrast change caused by vibration in phase shift interferometry, a method of extracting phase shift and contrast information from the spectrum of spatial carrier interferogram is proposed, which is based on the analysis of the frequency spectrum of carrier interferogram. Phase shift and contrast information is extracted from the baseband and sideband, The contrast change is compensated by the least square method and the wavefront phase is restored. Finally, the interferogram with aperture is processed by constructing the smoothing aperture function. The numerical simulation shows that the proposed method can detect the phase shift and contrast change with high precision. The phase recovery error caused by contrast change can be compensated effectively. The practicability of this method is verified by experiments under the condition of simple harmonic vibration with frequency of 9 Hz and amplitude of 0.5 渭 m. The results show that when the flat crystal surface is restored from the interferogram disturbed by vibration, The recovery error PV value is less than 0.015 wavelength. This method does not need to be changed in hardware, and it is expected to provide a low-cost solution for the application of phase-shift interferometry in field measurement.
【作者單位】： 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所;
【基金】：國家科技重大專項資助項目(No.2013ZX04006011)
【分類號】：TH744.3

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：1596330