本文選題：角度不敏感顏色濾光片　切入點：Fabry-Perot諧振腔　出處：《浙江大學》2016年碩士論文　論文類型：學位論文

【摘要】：角度不敏感顏色濾光片在顯示、大角度探測、無油墨印刷等領域具有重要的應用前景,其中金屬-介質(zhì)-金屬型角度不敏感濾光片具有透過率高,穩(wěn)定性好,易于制備等優(yōu)點,受到了廣泛的研究與關注。本文通過光在金屬-介質(zhì)界面的色散分析和相移理論分析,得出了金屬-介質(zhì)-金屬型角度不敏感濾光片的設計思路,但受薄膜材料光學參數(shù)限制,金屬-介質(zhì)-金屬型角度不敏感濾光片僅被應用于特定的中心波長。為了打破介質(zhì)材料光學參數(shù)的限制,提出了以折射率可調(diào)的富硅氧化硅作為中間層介質(zhì)材料以滿足光學參數(shù)匹配要求的設計方案,然后通過對反應磁控濺射技術的研究和制備參數(shù)的優(yōu)化,制備了一系列折射率不同的SiOx單層薄膜和厚度不同的單層金屬銀膜。最終利用以上材料,通過軟件仿真,設計并制備了基于金屬-介質(zhì)-金屬結構的透射式與反射式角度不敏感濾光片,并對濾光片的透反射特性,角度不敏感特性進行了測試分析,實現(xiàn)了入射光由0°變化至60°而透射峰與反射吸收峰的位置基本保持不變,透射式濾光片透過率在各諧振波段均達到32%以上,反射式濾光片反射率在非吸收波段達到60%以上。
[Abstract]:Angle insensitive color filters have important application prospects in the fields of display, large angle detection, printing without ink, etc. Among them, metal-dielectric-metal type angle-insensitive filters have the advantages of high transmittance, good stability and easy preparation. In this paper, through the dispersion analysis and phase shift theory analysis of the metal-dielectric interface, the design idea of the metal-dielectric-metal-molded angle-insensitive filter is obtained, but it is limited by the optical parameters of the thin film material. The metal-dielectric-metal type angle-insensitive filter is used only for specific central wavelengths. In order to break the limits of optical parameters of dielectric materials, In order to meet the requirements of optical parameter matching, a design scheme is proposed in which silicon oxide with adjustable refractive index is used as interlayer dielectric material to meet the requirements of optical parameter matching. Then the reactive magnetron sputtering technology and the optimization of fabrication parameters are studied. A series of SiOx monolayer films with different refractive index and monolayer silver films with different thickness were prepared. The transmission and reflection angle-insensitive filters based on metal-dielectric-metal structure are designed and fabricated, and the transmittance and angle-insensitive characteristics of the filters are tested and analyzed. The incident light changed from 0 擄to 60 擄, and the position of transmission peak and absorption peak remained unchanged. The transmittance of transmission filter was above 32% in each resonant band, and the reflectivity of reflective filter was over 60% in non-absorption band.
【學位授予單位】：浙江大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TH74

【參考文獻】

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1 汪敏;凌安海;萬異;谷至華;;TFT-LCD彩色濾光片技術及其產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀[J];現(xiàn)代顯示;2009年11期

2 俞侃;劉文;黃德修;常進;;基于薄膜濾光片的新型可重構光分插復用器[J];光學學報;2008年07期

3 陳燕平;余飛鴻;;薄膜厚度和光學常數(shù)的主要測試方法[J];光學儀器;2006年06期

4 賴發(fā)春,李明,王海千,姜友松,宋亦周;Effect of oxygen flow rate on the properties of SiO_x films deposited by reactive magnetron sputtering[J];Chinese Optics Letters;2005年08期

5 顧培夫,白勝元,李海峰,章岳光,劉旭,唐晉發(fā);密集型波分復用薄膜干涉濾光片的設計[J];光學學報;2002年07期

6 徐靜江,唐晉發(fā);極薄銀膜光學常數(shù)的研究[J];光學學報;1988年10期

7 楊秀文;利用橢圓偏振法測定金屬薄膜光學常數(shù)的初步研究[J];河北大學學報(自然科學版);1986年01期

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1 章睿榮;通過全光譜擬合法確定薄膜光學常數(shù)和厚度[D];浙江大學;2007年

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本文編號：1569033