本文選題：帶通濾光片　切入點(diǎn)：膜系設(shè)計(jì)　出處：《光子學(xué)報(bào)》2015年03期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：研究了一種用于紅外線治療儀的新型濾光片.該濾光片通過對紅外線治療儀光源所發(fā)出的光進(jìn)行選擇性濾波,能夠降低部分波段光的承載能量,提高治療儀的安全使用性能.針對紅外線治療儀對濾光片的使用要求,選擇Ti3O5和SiO2作為高低折射率材料,采用電子束加熱蒸發(fā)方式,配合離子輔助淀積技術(shù),利用石英晶控控制法對膜層厚度進(jìn)行監(jiān)控,通過反復(fù)優(yōu)化各項(xiàng)工藝參量,制備出在600~1 200nm波段平均透過率高于92%,300~550nm、1 270~2 000nm波段平均透過率低于2%的寬波段帶通濾光片.研究中運(yùn)用"拆分技術(shù)要求"的設(shè)計(jì)思想,對顏色片進(jìn)行雙面鍍制,解決了單面膜層過厚難以制備的問題,降低了制備難度,易于批量生產(chǎn).測試結(jié)果表明,該濾光片滿足使用要求.
[Abstract]:In this paper, a new filter used in infrared therapeutic instrument is studied. The filter can reduce the carrying energy of partial band light by selectively filtering the light emitted from the light source of the infrared therapeutic instrument. Aiming at the application requirement of infrared therapeutic apparatus, Ti3O5 and SiO2 are selected as high and low refractive index materials, which are heated by electron beam and evaporated with ion assisted deposition technology. The thickness of the film is monitored by quartz crystal control method, and the process parameters are optimized repeatedly. A wide band band-pass filter with an average transmittance of more than 92000nm and a mean transmittance of less than 2% at 1 270 nm was prepared. The design idea of "split technique requirement" was used in the study, and the color film was coated on both sides. It solves the problem that the mono-planar film is too thick and difficult to prepare, and it is easy to be produced in batch. The test results show that the filter meets the requirements of application.
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：紅外技術(shù)預(yù)研項(xiàng)目(No.5131xxxx103)資助
【分類號】：TH773

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號：1558289