本文關(guān)鍵詞： 微掃描光柵 SOI工藝 衍射光譜 掃描角度　出處：《應(yīng)用光學(xué)》2014年04期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為實現(xiàn)微型光譜儀在工程領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,研究了其核心器件——扭轉(zhuǎn)式微機械掃描光柵的結(jié)構(gòu)與制作方法。利用SOI工藝,設(shè)計一種無需啟動電極的靜電梳齒驅(qū)動結(jié)構(gòu),可以使扭轉(zhuǎn)式微機械掃描光柵具有低頻驅(qū)動、制作工藝簡單、掃描范圍廣等優(yōu)點。通過設(shè)計的制作工藝方法,研制出了能夠初步滿足性能要求的扭轉(zhuǎn)式微機械掃描光柵樣件。測試結(jié)果表明:該微掃描光柵在驅(qū)動電壓為25V時最大轉(zhuǎn)角可達到±4.8°,對應(yīng)的光學(xué)掃描角為19.2°。
[Abstract]:In order to realize the wide application of microspectrometer in engineering field, the structure and fabrication method of torsional micro-mechanical scanning grating, its core device, are studied. The SOI process is used. A kind of electrostatic comb drive structure without starting electrode is designed, which can make the torsional micro-mechanical scanning grating have the advantages of low frequency drive, simple fabrication process, wide scanning range and so on. A torsional micro-mechanical scanning grating sample has been developed, which can meet the performance requirements. The test results show that the maximum rotation angle of the micro-scanning grating can reach 鹵4.8 擄when the driving voltage is 25V. The corresponding optical scanning angle is 19.2 擄.
【作者單位】： 中國空空導(dǎo)彈研究院;
【分類號】：TH744.1

【參考文獻】

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本文編號：1493814