本文關鍵詞：體視顯微鏡與CCD成像系統(tǒng)在高階貝塞爾光束光斑測量中的應用　出處：《強激光與粒子束》2014年11期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：主要對光學測量儀器體視顯微鏡與CCD成像系統(tǒng)在高階貝塞爾光束光斑測量中的應用進行分析,通過以非相干LED綠光經(jīng)過螺旋相位板和軸棱錐產(chǎn)生的高階貝塞爾(Bessel)光束為例,模擬出沿軸向不同距離處的截面光強分布圖,并與相應的實驗參數(shù)(如:最大無衍射距離、中心暗斑直徑等)進行比較。實驗結果表明,體視顯微鏡與CCD成像系統(tǒng)的測量結果相吻合,但是體視顯微鏡測量誤差較大會影響測量結果的準確度。
[Abstract]:The application of stereoscopic microscope and CCD imaging system in high-order Bezier beam spot measurement is analyzed. By taking the high order Bessel beam produced by incoherent LED green light passing through the spiral phase plate and the pyramid as an example, the intensity distribution of the cross section along different distances along the axis is simulated. The experimental results are compared with the corresponding experimental parameters (such as the maximum diffraction distance, the diameter of the center dark spot, etc.). The experimental results show that the stereoscopic microscope is consistent with the measurement results of CCD imaging system. However, the measurement error of stereoscopic microscope will affect the accuracy of measurement results.
【作者單位】： 華僑大學信息科學與工程學院 福建省光傳輸與變換重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金項目(61178015) 福建省自然科學基金項目(2012J01278) 泉州市科技重點項目資助課題(2014Z12)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 傳統(tǒng)的對微尺寸的測量方法有游標卡尺、千分尺等,然而這些方法精確度低,而且測量信息無系統(tǒng)性。為了滿足信息化、高效化的要求,光電器件和光學儀器被大量應用于測量中。目前在國內的研究中測量光束光斑的方法主要有利用體視顯微鏡測量光斑的中心暗斑直徑、利用CCD成像系統(tǒng)采集

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1411842