本文關(guān)鍵詞：激光干涉二等量塊自動(dòng)測(cè)量裝置　出處：《中國(guó)測(cè)試》2015年09期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 量塊 激光干涉 柔性定位 不確定度

【摘要】：該文利用激光干涉測(cè)長(zhǎng)原理研發(fā)二等量塊自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng),該裝置采用633 nm碘飽和吸收穩(wěn)頻He-Ne激光器作為標(biāo)準(zhǔn)。硬件方面設(shè)計(jì)、開發(fā)機(jī)械本體,搭建激光光路和信號(hào)處理模塊,研發(fā)精密定位的柔性傳感器,選配相關(guān)電機(jī)驅(qū)動(dòng)和環(huán)境參數(shù)監(jiān)控系統(tǒng);軟件方面研發(fā)數(shù)據(jù)采集和監(jiān)控處理程序、測(cè)量結(jié)果判定及環(huán)境參數(shù)補(bǔ)償軟件。本裝置測(cè)量范圍上限達(dá)100 mm,測(cè)量量塊的擴(kuò)展不確定度為U=0.04~0.08μm(k=3),其復(fù)現(xiàn)量值指標(biāo)達(dá)到JJG 146——2011《量塊》的技術(shù)要求。
[Abstract]:Based on the principle of laser interferometry, an automatic measuring system for second-class measuring blocks is developed in this paper. The device adopts a 633nm iodine saturated absorption stabilized frequency He-Ne laser as the standard. Hardware design and development of the mechanical body are carried out. Build laser optical path and signal processing module, research and develop precision positioning flexible sensor, select the relevant motor drive and environmental parameters monitoring system; Software for data acquisition and monitoring and processing, measurement results and environmental parameters compensation software. The upper limit of this device is 100 mm. The extended uncertainty of the measuring block is U ~ (0.04) ~ (0.08) 渭 m ~ (-1), and its reproducibility value is up to the technical requirement of JJG 146-2011.
【作者單位】： 廣東省現(xiàn)代幾何與力學(xué)計(jì)量技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;廣東省計(jì)量科學(xué)研究院;中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院;
【基金】：質(zhì)檢公益科研專項(xiàng)(201110043)
【分類號(hào)】：TH711
【正文快照】： 0引言根據(jù)JJG 146——2011《量塊》計(jì)量檢定規(guī)程,從制造角度來(lái)看由量塊的實(shí)際長(zhǎng)度對(duì)標(biāo)稱長(zhǎng)度的偏差值,準(zhǔn)確度等級(jí)為K、0、1、2、3共5個(gè)等級(jí)[1];從使用角度來(lái)看由量塊實(shí)際中心長(zhǎng)度的測(cè)量不確定度,其等級(jí)分為1、2、3、4、5共5個(gè)等級(jí)。量塊計(jì)量檢定是保證精密制造的基礎(chǔ)。隨著我

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前6條

1 許春蘭;柯氏干涉儀的技術(shù)改造[J];工具技術(shù);2002年07期

2 藺小軍;史耀耀;汪文虎;劉維偉;;光柵信號(hào)軟件細(xì)分技術(shù)及其誤差分析[J];工具技術(shù);2006年10期

3 嚴(yán)歆,趙靜,王飛;接觸定位式量塊干涉儀測(cè)量不確定度的分析[J];航空計(jì)測(cè)技術(shù);2000年04期

4 趙靜,王承鋼,楊自本,汪德寶,牛立新,崔巖梅;滿足一等量塊檢定要求的接觸式激光量塊干涉儀[J];航空計(jì)測(cè)技術(shù);2002年05期

5 李懷瓊,陳錢,王鈺;新型光柵信號(hào)數(shù)字細(xì)分技術(shù)及其誤差分析[J];計(jì)量學(xué)報(bào);2001年04期

6 何曉延;馮斐;劉清衛(wèi);;二等量塊檢定溫控量化分析[J];計(jì)量與測(cè)試技術(shù);2009年08期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 施亮星;計(jì)量型測(cè)量系統(tǒng)能力及其評(píng)價(jià)方法研究[D];天津大學(xué);2008年

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 劉清;用DSP實(shí)現(xiàn)光柵高準(zhǔn)確度細(xì)分技術(shù)[J];傳感器技術(shù);2003年07期

2 陳瑞芬;劉清;;減小光柵測(cè)量系統(tǒng)隨機(jī)誤差的研究[J];傳感器與微系統(tǒng);2006年10期

3 王振業(yè);郭曉松;周召發(fā);;正切細(xì)分在捷聯(lián)尋北方位角解算中的應(yīng)用[J];電光與控制;2012年05期

4 周召發(fā);王振業(yè);郭曉松;魏皖寧;;一種基于快速正切算法的捷聯(lián)尋北解算方法[J];彈箭與制導(dǎo)學(xué)報(bào);2012年03期

5 賀傳敏;楊健武;;一種新型實(shí)現(xiàn)高倍編碼器細(xì)分的軟件設(shè)計(jì)[J];電子測(cè)量技術(shù);2008年08期

6 呂孟軍;張純良;郭琪;;莫爾條紋信號(hào)正切法細(xì)分精度分析[J];電子測(cè)量技術(shù);2010年01期

7 李春霞;鄢積分;;編碼器定距采樣電路設(shè)計(jì)[J];電子器件;2008年05期

8 張彩霞;吳瑕;段玉培;;量塊測(cè)量中易忽略的幾個(gè)問題[J];硅谷;2011年06期

9 王顯軍;;光電編碼器的應(yīng)用——光電掃描技術(shù)和測(cè)角系統(tǒng)組成[J];光機(jī)電信息;2010年12期

10 藺小軍;史耀耀;汪文虎;劉維偉;;光柵信號(hào)軟件細(xì)分技術(shù)及其誤差分析[J];工具技術(shù);2006年10期

相關(guān)會(huì)議論文 前1條

1 楊玉潔;姜國(guó)雁;劉濤;;0.5～100mm二等量塊檢定裝置的研制[A];2010航空試驗(yàn)測(cè)試技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2010年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前7條

1 楊雷;激光微加工系統(tǒng)中若干關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];鄭州大學(xué);2003年

2 劉清;人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法的改進(jìn)及其在水利測(cè)量技術(shù)中的應(yīng)用[D];河海大學(xué);2005年

3 蘇俊宏;基于干涉法的量塊長(zhǎng)度測(cè)量技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2006年

4 郭雨梅;莫爾條紋細(xì)分理論及其在磨床測(cè)控系統(tǒng)中的應(yīng)用研究[D];沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué);2009年

5 李淑清;光柵諧振子檢測(cè)地震波的理論和方法研究[D];天津大學(xué);2009年

6 蘇東風(fēng);高精度標(biāo)定轉(zhuǎn)臺(tái)光柵測(cè)角系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

7 常麗;莫爾條紋納米級(jí)細(xì)分關(guān)鍵技術(shù)研究[D];沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué);2013年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 張志剛;光電編碼器細(xì)分誤差分析及補(bǔ)償研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

2 高順民;點(diǎn)對(duì)點(diǎn)量塊自動(dòng)化檢定系統(tǒng)的研究[D];天津大學(xué);2010年

3 秦峰;回轉(zhuǎn)式壓電微角度執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)控制及檢測(cè)系統(tǒng)的研究[D];天津大學(xué);2010年

4 閆曉軍;光電編碼器的信號(hào)誤差補(bǔ)償和故障診斷研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

5 何章宏;雙光柵干涉位移傳感器及其電路系統(tǒng)研究[D];華中科技大學(xué);2011年

6 王國(guó)華;X—Y精密工作臺(tái)電控系統(tǒng)的研制[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2002年

7 佘琳;編碼器光電信號(hào)參數(shù)測(cè)量及細(xì)分誤差評(píng)估[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2004年

8 徐淑芳;某型電子經(jīng)緯儀光電信號(hào)數(shù)字處理系統(tǒng)研制[D];南京航空航天大學(xué);2005年

9 陳智超;基于雙光柵尺的高速高精度跨尺度位移測(cè)量方法的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2006年

10 劉漢平;用圖形仿真方法評(píng)估編碼器細(xì)分誤差[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2006年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前8條

1 崔驥,李懷瓊,陳錢;光柵莫爾條紋信號(hào)的細(xì)分與辯向新技術(shù)[J];光學(xué)技術(shù);2000年04期

2 陳西園;光柵信號(hào)非正弦性引起的細(xì)分誤差[J];計(jì)量技術(shù);1994年10期

3 李懷瓊,陳錢,王鈺;新型光柵信號(hào)數(shù)字細(xì)分技術(shù)及其誤差分析[J];計(jì)量學(xué)報(bào);2001年04期

4 朱應(yīng)時(shí)，楊進(jìn)堂;圓光柵的高精度高質(zhì)量莫爾條紋信號(hào)的研究[J];計(jì)量學(xué)報(bào);1995年04期

5 孫士兵;趙歡;;一種異常數(shù)據(jù)診斷應(yīng)用的穩(wěn)健回歸算法[J];科學(xué)技術(shù)與工程;2007年15期

6 曹國(guó)榮，李英飛，，陳家璧;光柵信號(hào)振幅合成的軟件細(xì)分及誤差分析[J];南京師大學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1996年01期

7 何曉群;劉文卿;;淺談加權(quán)最小二乘法及其殘差圖——兼答孫小素副教授[J];統(tǒng)計(jì)研究;2006年04期

8 袁小濱,李懷瓊;光柵莫爾條紋數(shù)字細(xì)分技術(shù)及其誤差分析[J];西安公路交通大學(xué)學(xué)報(bào);2001年01期

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 彭其先;劉喬;劉俊;陳光華;鄧向陽(yáng);李澤仁;;測(cè)量角度對(duì)激光干涉測(cè)速的影響分析[J];光子學(xué)報(bào);2008年04期

2 彭其先;李澤仁;王德田;劉俊;陳光華;劉壽先;鄧向陽(yáng);;時(shí)分復(fù)用激光干涉測(cè)速技術(shù)研究[J];光子學(xué)報(bào);2012年02期

3 李茂山;;用激光干涉原理測(cè)量地殼傾斜角的變化[J];計(jì)量技術(shù);1978年01期

4 李茂山;;用激光干涉原理調(diào)校三面直角反射鏡的三個(gè)互成90°的二面角[J];計(jì)量技術(shù);1979年06期

5 賀安之;華東工學(xué)院用激光干涉技術(shù)在國(guó)內(nèi)首次獲得火箭發(fā)動(dòng)機(jī)真實(shí)燃射流的清晰流譜圖[J];南京理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1985年03期

6 施涌潮;一種廉價(jià)的機(jī)床用激光干涉系統(tǒng)[J];工具技術(shù);1985年01期

7 譚顯祥;激光干涉連續(xù)測(cè)速技術(shù)[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1995年04期

8 苗瑞,鄧曉旭,申洪斌;激光干涉實(shí)時(shí)大角度測(cè)量方法研究[J];森林工程;2001年04期

9 孟宗;基于雙頻激光干涉技術(shù)的軸徑測(cè)量原理的研究[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2005年S1期

10 劉壽先;李澤仁;彭其先;陳光華;劉俊;袁樹云;;一種新的線成像激光干涉測(cè)速系統(tǒng)[J];強(qiáng)激光與粒子束;2009年02期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 彭其先;李澤仁;王德田;劉俊;陳光華;劉壽先;鄧向陽(yáng);;分時(shí)激光干涉測(cè)速技術(shù)研究[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2011年學(xué)術(shù)大會(huì)摘要集[C];2011年

2 高宏堂;葉孝佑;高思田;;實(shí)現(xiàn)激光干涉信號(hào)均勻分布取樣方法的研究[A];2007'中國(guó)儀器儀表與測(cè)控技術(shù)交流大會(huì)論文集（二）[C];2007年

3 李澤仁;;多點(diǎn)激光干涉速度測(cè)量技術(shù)[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（1998）[C];1998年

4 孟宗;;基于雙頻激光干涉技術(shù)的軸徑測(cè)量原理的研究[A];第三屆全國(guó)信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

5 李程;張力;張立U

本文編號(hào)：1393655